製作して、お客様のご要望に沿った特注システム製品をご提案します。LU-SX200φ100、φ150の透過用穴付き自動XY軸ステージです。研削仕上げをした高精度で薄型仕様になっています。顕微鏡の型式を御指示いただければ取付アダプタ及びサンプル台(ウェハチャック)など検討し製作させていただきます。(注)物理的に取付かない顕微鏡もございますので御相談ください。図面・CADデータをダウンロード各製品の図面をPDF形式とDXF形式でご提供しています。※DXFファイルはZIP形式で圧縮しております。※注1)ドライバの駆動ステップ設定で分解能が変わります。※注2)無荷重での値です。ご使用条件により異なる場合があります。