製作して、お客様のご要望に沿った特注システム製品をご提案します。材質にスチール(鉄材)を使用して精密加工による機械精度を追求し、各取付部を精密研磨で仕上げ、ガイド、ボールネジにも最高級品を採用し、長期にわたって安定した精度と剛性を保証した自動位置決めステージです。ピエゾ素子を使わずボールネジのみで10nm分解能を達成しました。フルクローズドループ制御でバックラッシュを無くし、高精度な繰り返し位置決めが可能です。高精度なエアースライダ、セラミックステージに比べて安価です。SK120-50XLSSK120-100XLSSK120-150XLS図面・CADデータをダウンロード各製品の図面をPDF形式とDXF形式でご提供しています。※DXFファイルはZIP形式で圧縮しております。FC-502構成図レーザ測長器による測定データを標準添付いたします。測定データは国際規格(ISO230-2)に準拠した測定方法となります。※注1)内蔵スケール(PS-100)の読取値に対する繰返し位置決め精度です。※注2)無荷重での値です。ご使用条件により異なる場合があります。