製作して、お客様のご要望に沿った特注システム製品をご提案します。精密加工による機械精度を追求し、各取付部を精密研磨で仕上げ、ガイド、ボールネジにも最高級品を採用することにより長期にわたって安定した精度と剛性を保証した自動位置決めステージです。ピエゾ素子を使わずボールネジのみで10nm分解能を達成しました。フルクローズドループ制御でバックラッシュを無くし、高精度な繰り返し位置決めが可能です。高精度なエアースライダ、セラミックステージに比べて安価です。本製品はアルミ製ですが、スチール製(鉄製)で剛性を寄り高めた製作もありますので別途お問い合わせ下さい。SK120-50XLASK120-100XLASK120-150XLA図面・CADデータをダウンロード各製品の図面をPDF形式とDXF形式でご提供しています。※DXFファイルはZIP形式で圧縮しております。FC-502構成図レーザ測長器による測定データを標準添付いたします。測定データは国際規格(ISO230-2)に準拠した測定方法となります。※注1)内蔵スケール(PS-100)の読取値に対する繰返し位置決め精度です。※注2)無荷重での値です。ご使用条件により異なる場合があります。