比較で約45%の省スペース化を実現しました。多様な処理ウェーハに対応1台の装置で、50mmから200mmまで幅広いサイズに対応します。Drying)を新たにラインアップ。お客さまの使用条件に応じて選択が可能です。フレキシブルな拡張性お客さまの生産性と導入スペースに応じて、処理槽数を4・6・8槽と拡張可能です。生産性アップ従来比1.5倍の毎時150枚の生産を実現。半導体洗浄で従来から主流となっている、歩留まり向上に有効なRCA洗浄にも対応します。Reserved.サイトマッププライバシーポリシ。