Making旭硝子、「C12A7エレクトライド」のスパッタリングターゲット材を量産開始マイナビニュース旭硝子、「C12A7エレクトライド」のスパッタリングターゲット材を量産開始C12A7(12CaO・7Al2O3)結晶AGC旭硝子(旭硝子)は、東京工業大学の細野秀雄教授らの研究グループが開発した「C12A7エレクトライド」を用いた均一な非晶質薄膜を開発し、量産に必要なスパッタリングターゲット材の工業化と商業生産を開始したと発表しています。C12A7(12CaO・7Al2O3)はアルミナセメントの構成成分のひとつで、内径0.4nm程度のかご状の骨格が面を共有して繋がった構造をしています。化学的・熱的に安定であるため、取り扱いが容易であるとのこと。細野教授らは、この特徴的な性質を保持したアモルファス非晶質C12A7エレクトライドも作製できることを示しています。現在、有機ELディスプレイの電子注入材料には、フッ化リチウム(LiF)や、アルカリ金属をドーピングされた有機材料が用いられていますが、これらは不安定な物質あるいは状態で使われているため、今回、細野教授らと旭硝子の研究グループは、より安定した「非晶質C12A7エレクトライド薄膜」を開発したとしています。非晶質C12A7エレクトライド薄膜は、旭硝子の研究グループが開発したターゲット材を用いた室温のスパッタリング工程から得ることができるとのこと。(TAOS)を用いたn-チャンネルのTFT素子を組み合わせることで、デバイス構造として有利な逆構造型でも、駆動電圧の低い電子輸送層を高い歩留りで製造することができるようになるとのことです。酸化物TFTで駆動する有機ELパネルの製造が大幅に改善できることが期待できるとしています。NEXT≫プロフィールAuthor:miyabi2013/1よりディスプレイ周りの技術情報を掲載。