アニーリングアニールとは、表面を加熱後、冷却して材料表面を改変させるもので、炉やランプでの加熱や、レーザーアニールなどの方法があります。レーザーアニーリングとはレーザーを用いて表面を加熱後、冷却して表面改質を行う技術です。レーザーアニーリングでは、アモルファス(非結晶)シリコン膜にレーザーを照射し、ポリシリコンに改質(融解・結晶化すること)が行われています。炉やランプでのアニーリングは高温加熱することで材料が熱の影響を受けたり、時間が掛かりすぎたりする等の課題があります。それに比べてレーザーアニールによる低温加熱は、材料表面を急加熱して自己冷却することができるため、昇温及び冷却の短時間で済みます。材料や結晶状態に対して使用するレーザー波長を選べば表面層だけでなく、深さ方向の必要部分のみを選択的に改質できるといった特徴があります。レイチャーシステムズではレーザーアニーリング用光源レーザーを取り揃えております。