ページもしくは巻、ページを入力してください。検索条件と一致する記事が見つかりませんでした。検索結果に複数のレコードがあります。号を指定してください。ページもしくは巻、ページを入力してください。検索条件と一致する記事が見つかりませんでした。検索結果に複数のレコードがあります。号を指定してください。巻、号、ページもしくは巻、ページを入力してください。検索条件と一致する記事が見つかりませんでした。検索結果に複数のレコードがあります。号を指定してください。抄録を表示する抄録を非表示にするDVDレコーダー,薄型テレビ,デジタルカメラ,携帯電話等のデジタル機器に使用される先端半導体LSIデバイスでは,微細化,高機能化,高性能化が進み,現在90nmプロセスルールのデバイスが量産段階にあり,65nmプロセスデバイスも量産が開始されている。