1Fの330m2からなるクリーンルーム(クラス10,000)では、化合物半導体やシリコン、カーボンナノ材料など様々な材料・機能を持つ融合デバイスを試作でき、窒化物半導体LEDやトランジスタ、センサなど単体デバイスの他、MEMSチップを作製できます。ミニマルファブを活用した先端センサの開発など、独自のデバイス開発・応用にむけた研究を展開しています。観察評価装置が設置されており、クリーンルーム等で製作したデバイスの評価が可能です。S-3000N)EIIRISバイオ実験室バイオ実験室はP1レベル実験室として設計されており、細胞培養等の処理操作が可能です。共焦点顕微鏡やイオンイメージセンサシステムなどのバイオ実験向けの観察装置も設置されています。φ4インチウェハまでの半導体(LSI,センサ,MEMS,化合物半導体)デバイスについて設計・製作・評価までを一貫して行うことが可能で、他の大学では類を見ない施設となっています。CR内の全設備は学内外問わず所定の利用講習を受講することで利用者自ら操作し使用することが可能です。評価するための設備が設置されています。EIIRISで開発されたデバイスは生理学実験に応用され、結果は速やかにデバイス開発にフィードバックされます。取り組むことができます。