UH130シリーズ使い易さにこだわり、より高品質なウェハ拡張を可能にしたエアシリンダー駆動タイプのエキスパンダーです。テープに合わせたトルクにより一層正確な拡張を実現。セミオートフィルムカッター(オプション)により拡張後の仕上がりもきれいです。常に均一な拡張を得ることができますセミオートフィルムカッターにより、余分なフィルムを残さずきれいな仕上がり最大12インチまでのフィルムフレームに対応ステージの温度調節が可能(常温〜約90°C)ステージ上昇時のチップ飛びからオペレーターを守る安全カバーやステージ下降時の両手押しスイッチなどを標準で装備。