2】工程Aと、工程Bと、工程Cを備える半導体装置の製造方法。上記のような請求項の場合、請求項2を請求項1に従属させるかどうか、悩ましいところです。権利範囲を考えると、請求項2が請求項1以外の構成を半導体装置を製造できる余地がある場合(つまり、請求項2の権利範囲が請求項1とは完全に重複していない場合)、請求項1に従属させる余地はありませんので、迷わず請求項2を独立項にします。明確性の観点からは、請求項2を請求項1に従属させた方が発明の概念が明確になりますので、記載不備の観点からは請求項2を請求項1に従属させた方いい場合があります。知られていないのが米国のRejoinderの観点ですが、請求項2を請求項1に従属させておくと、限定要求で装置クレームに限定された場合に、装置クレームが特許になれば、選択しなかった方法クレームを統合してくれることがあります。限定要求や意見書で”Rejoinderして下さいね”ってお願いしておいた方がいいです。