装置詳細MA法による測定の迅速化MA法は、水蒸気やガスのQMSにつながる空間と測定試料の間に支持体の層を設けたところに特徴があります。支持体はQMS側空間へのガスの流入を遅延させる効果があるため、試料交換時の検出器側空間の汚染を防ぐことができます。省略することができます。104g/m2/dayレベルの水蒸気透過度をもつバリアフィルムの測定において、測定時間を従来比で1/5になった例もあります。(評価事例1参照)試料室を約90秒間大気開放したのち、約24時間測定しました。大気成分である水、窒素、酸素は検出されなかったことから、QMS側空間はクリーンな環境が維持されている事がわかります。右図は測定後の試料写真です。支持体が緩衝となるため、従来法の差圧法の課題であった測定時の試料へのダメージも低減できます。試料ダメージの低減QMSは様々なガスを高感度に定量できる検出器ですが、ガス種によって感度が大きく異なります。感度が変化することもあり、定期的な校正が必要です。当装置は、SIトレーサブルが可能な標準コンダクタンスエレメント(SCE)を使用した校正機構を内蔵しているため、簡単に校正が可能です。供給側の圧力変化に対する、QMSの出力をプロットすることで、検量線を取得できます。