料表面に生じる帯電量が変化する。このとき、探針とその近傍の試料表面とが電子的な相互作用をすることで、この帯電量と分布が決まる。料上の探針の位置に依存する。通常の測定法では、トンネル電流が生じないような条件で計測する。この帯電により探針-試料間に静電気力が生じるが、印加電圧を徐々に変化させて、探針-試料間の力が最小になる電圧を計測すると、これが探針位置における局所的な接触電位差に対応する[27],[28]。Difference)を探針位置に対する像として出力する。この方法の原理は次のようなものである。