Magnetics・米国)のRFフィルターは、半導体製造装置で使用されるプラズマ発生時に起こる高周波ノイズ(13.56MHz等)をカットします。コイルとコンデンサを使用したLCフィルターと比べて非常にコンパクトです。単体で多チャンネルをフィルタリング可能です。DC電源、ヒーター電源、静電チャック(ESC)、熱電対等の信号ラインなどに混入した高周波のノイズを効果的に除去し、装置の安全を守ります。メーカーにて採用されている製品です。●最大200°C耐熱、温度変化によるインピーダンス変化が少ない仕様に合わせたカスタム製品WCM社のRFフィルターに標準品は無く、お客様の仕様に合わせた特注設計での提案となります。チャンネル数、装置への固定方法等をご連絡ください。銅箔をコイルに利用した独自構造LC(コイル・コンデンサ)並列フィルターとは違いコイルにはワイヤーではなく銅箔を使用しています。銅箔を巻くことで生まれる寄生効果によりキャパシタ成分を発生させているためコンデンサ自体は使用していません。コンパクト設計コンデンサを使用しないため非常にコンパクトな設計が可能です。使用しているコイルはワイヤーではなく断面積の大きい銅箔のため、小型でも大電流を効率的に通電可能です。銅箔のコイルを並列的に巻いて製作することにより、一つのRFフィルターで複数チャンネルをフィルタリングすることが可能です。そのような使用方法ではさらに省スペースを実現可能です。同一チャンネルで複数の帯域を連続フィルタリング銅箔のコイルを直列に並べて製作することにより、同一チャンネル内での複数の帯域をフィルタリングすることが可能です。1MHz~50MHzの帯域内でフィルタしたい帯域を指定可能カットしたい周波数帯で高いインピーダンスを発生させ、それ以外の帯域ではインピーダンスを低く抑えた特性です。狭帯域で効率的なフィルター性能を実現しています。大電流通電時でも少ない発熱コイルに使用する銅箔はワイヤーに比べて断面積が大きく大電流の通電に向いています。最大200°C耐熱、温度変化によるインピーダンス変化が少ない最大200°Cの温度にも耐える材質を選定可能です。フェライトコアを使用していないため温度変化によるインピーダンスの変化を最小限に抑えた特性です。