1社”に納入すると発表し、業界の観測筋の間でさまざまな臆測を呼んでいる。複数の情報筋が、この顧客企業がIntelではないかという見方を示している。Holdingsは、米国の顧客企業1社との間で、EUV(極端紫外線)リソグラフィ装置を15台納入する契約を締結したと発表した。アナリストたちはこの知らせに対し、さまざまな反応を示している。装置を購入した顧客企業はIntelではないかとする見方もあるが、契約の内容などについては明らかになっていない。EUVリソグラフィ装置の開発に向けた取り組みは、これまで数十年間にわたって進められてきた。それでもまだ、最先端の半導体チップの製造に必要とされるスループットを実現するには至っていない。光源の出力が、まだ不十分だからだ。ASMLはこれまでに、さまざまな性能の向上を達成したと発表してきたが、最も新しい成果をもってしても、まだ目標とする能力には達していない。2014)」において、「EUV装置に関しては、スループットや信頼性が不十分であるため、まだ準備が整っていない状況にある」と話している。2014の会場で、「Intelは、EUV装置を使わずに、高いコスト効率で7nmチップを製造可能な手法の開発にめどを付けることができた」と述べている。同氏はそれ以前にも、10nmチップに関して同じような内容を語っていたことがある。Intelは、7nm/10nmのいずれのプロセス技術についても、まだ詳細を明らかにしていない。複数の情報筋が、「ASMLが自社のプレスリリースの中で、今回のEUV装置の納入先として言及した“米国の既存の顧客企業”は、Intelではないか」とする見方に同意している。あるアナリストの推測によると、今回販売契約を締結した15台のうちの10台は、2017年以降に納入される予定だという。同アナリストは匿名を条件に「ASMLの15%の株式を保有しているIntelが、今回の販売契約によって、ASMLの株価を吊り上げようとしたのではないか」と指摘する。前向きな捉え方をするアナリストもいる。Kanter氏は、「Intelが10nmチップでEUV装置を使うと考えると、購入のタイミングが遅すぎる。7nmチップであれば、妥当だと言える」と述べている。Samsung、TSMCなども影響を受ける?Kanter氏は、「ASMLはこれまで、1〜2台のEUV装置を実験的な用途として受注する程度だった。今回の受注規模は、EUV装置が今後、量産体制へと移行していくことを示すため、ASMLにとっては強力な信任票を獲得することになる」と述べる。ElectronicsやGLOBALFOUNDRIES、TSMCなどの競合メーカーがこれに影響を受ける可能性がある」と付け加えた。TSMCは2015年初めに、ASMLのEUV露光装置「NXE:3300B」で1日当たり1000枚のウエハーを露光処理することに成功したと発表した。このNXE:3300Bは、80Wの光源を確保している。193nmリソグラフィ(波長が193nmのレーザーを使用したリソグラフィ技術)システムでマルチパターニングを行うという方法は、膨大なコストがかかる。EUV技術が、それに代わる技術の“第1候補”であることは間違いない。EUV装置では、光源の出力不足に加えて、レジスト、マスク検査、ペリクル(保護カバー)など、いくつもの課題に直面している。最新のEUV(極端紫外線)リソグラフィ装置の予備試験で、40Wの光源を用いて1日当たりウエハー100枚を処理することに成功した。リソグラフィ技術は、EUVでも液浸でも課題は山積している。今回の試験結果は、EUV技術では大きな進展だといえる。IBMのEUV試験結果に疑問の声、インテルは「EUVなしで7nm実現を模索」IBMが2014年7月に発表した、EUV(極端紫外線)リソグラフィスキャナーに関する最新テストの結果を、いぶかしむ業界関係者が少なくない。今回のIBMのテスト結果は、EUVの実用化に向けてどのような意味を持つのだろうか。ムーアの法則をできる限り進める——TSMCが7nmプロセス向けにEUV装置を発注TSMCが、ASMLにEUV(極端紫外線)露光装置2台を発注していたことが明らかになった。TSMCは、EUVリソグラフィによって7nmプロセスの実現を目指すとみられている。2015年末には7nmプロセスを適用したチップのリスク生産が開始される可能性がある。Bohr氏は、「CMOSのスケーリング(微細化)は少なくとも10年以上は続く」と分析している。EUVは本当に実用化できるのか?半導体製造技術のロードマップでは、193nmリソグラフィに限界が来たら、157nmフォトリソグラフィへと移行するはずだった。実際に普及したのは193nmの液浸リソグラフィであった。次の技術として名前が挙がるのはEUVだが、「この技術が実際に商業用途で利用されるかどうかは定かではない」と指摘する声がある。LLC.ITmediaはアイティメディア株式会社の登録商標です。