マテリアルサイエンス系には200台を超える共用実験装置が整備されており、学生は、所属研究室の実験装置に加え、これら共用設備の最先端研究装置を日常的に用いて研究活動を行っております。収差補正された電子プローブは、通常の透過電子顕微鏡に比べて、1桁以上高い電流密度を得ることが可能です。この鋭く細い、大電流密度の電子プローブを用いることで、原子レベルの分析が可能になっています。エネルギー分散型X線分析装置が装備されており、元素分析を行うことができます。電子線を用いて、材料の微細な構造の観察や分析を行うために用いられる装置です。して位置づけられ、ナノマテリアルテクノロジーセンターで集中管理されています。観察対象となる材料や観察・分析の目的などに応じて、各種の透過電子顕微鏡が設置されており、多くの研究室が利用しています。SEM走査型電子顕微鏡は、試料の表面構造の観察や組成分析を行うために用いられる装置です。観察対象となる材料や観察・分析の目的などに応じて、各種の走査型電子顕微鏡が設置されており、多くの研究室が利用しています。核磁気共鳴スペクトル測定装置群・NMRプロトン(1H)共鳴周波数が800MHzに相当する磁場強度18.8テスラの大変強力な超電導磁石を持つNMR装置です。この検出器は信号の検出系を低温に冷やすことで熱によるノイズを減らしてシグナルとノイズの比を従来の4~5倍に向上させています。Resonance)は、物質中に存在する不対電子にに連続的に強度を変えた静磁場を印加してそのエネルギー準位をZeeman分裂させた上で、一定の周波数のマイクロ波の共鳴吸収スペクトルを観測する方法である。非晶質シリコンなどの解析に広く利用されている。→X線回折装置・XRD本装置は、あらゆる薄膜材料の統合的な解析が可能な高性能X線回折装置です。非破壊で薄膜と基板の同時解析が可能であり、様々な薄膜材料の構造情報を簡便かつ精密に得ることができます。MSは、イオンを高磁場のかかったセルに導入し、イオンサイクロトロン運動の周回周期を検出します。それにより得られたFIDデータをフーリエ変換することでイオンの質量電荷比に応じたスペクトルを得ることができます。MSは、極めて高分解能であるためミリマス測定が可能です。RBS本装置によって、試料元素の「種類、数、及びそれらの深さ分布情報」が分かります。密度がわかる薄膜の場合は、これを元にして膜厚が分かり、逆に膜厚が分かるとその膜の密-度が分かります。Fe,Wなどの重元素の絶対量測定が得意です。C(炭素)より軽い元素の定量測定は難しくなりますが、軽元素でも、例えば、SiO2やSi3N4のO/SiやN/Siの組成比は、誤差10%程度での測定が可能です。XPSXPSは、試料の表面近傍に存在する構成元素と電子状態を精密に分析する装置です。本装置は、微小領域の観察と微量元素の高感度測定が可能な世界最高水準の高性能XPSです。電子プローブマイクロアナライザー・EPMA電子プローブマイクロアナライザ(EPMA)は、試料に電子線を照射して含有元素の定性・定量分析を行う装置であり、ナノマテリアルテクノロジーセンターで集中管理されています。固体や液体の試料にレーザー光を照射し、放射されるラマン散乱光を観測することにより、物質の化学組成の同定や分子構造の解析を行います。T64000は、有機化合物、ナノカーボン、半導体結晶、ナノ粒子など、様々な機能性材料の超高分解能ラマン分光測定が可能です。物理特性を、広範な温度領域で測定することができる装置です。本装置にはサーマル・トランスポート・オプションが付いており、材料の熱電能や熱伝導率の測定も可能となっています。(SQUID)と呼びます。リングを貫く磁束が変化すると、ジョセフソン接合を流れるトンネル電流は磁束量子の整数倍で変化するため、SQUIDは高感度の磁束計として働きます。これらの装置はSQUIDを搭載した磁束計(5Tと7Tの2台体制)で、物質の微小な磁束の変化を検出することができる装置です。さまざまな有機・無機化合物の磁気的性質を調べるために使用されています。SMI3050は、世界最高水準の性能を持つ高性能集束イオンビーム(FIB)加工装置です。断面加工、TEM試料作製、ナノスケールの微細パターニング、3次元ナノ構造体の作製などが可能です。(代表)0761-51-1111。