センサーは、高速で形状及び厚さを計測するのにいくつかの独特な技術が採用されています。色収差及び干渉波による手法は、ほとんど全ての面を測定するのに使用されます。様々な白色光と赤外光源による計測によって、材料の測定範囲を広げるのに有効です。下記、弊社の様々な計測方法を紹介致します。白色光源は、表面を照射するのに使用されます。コントロールユニットから光学プローブまでのファイバーを経由した光の焦点域は、左記グラフのように可視光の全使用波長域に拡がります。回/秒のサンプリングレートで取得可能です。光学プローブは、測定レンジまたはスペクトラムの焦点深度を決定します。プローブの高い開口数及びセンサのダイナミックレンジの為、ほとんどの材料を測定できます。つの距離を測定します。材料の光学的な性質に基づき、測定サンプルの厚さは決定します。この測定方法は光で行われますので、機械的な振動や外部的な条件で左右されにくいです。白色光源を使用しており光を透過することで安定します。光学プローブは広い角度(45°)まで対応しており、光の反射条件がよくない粗い表面でも測定が可能です。つの距離からその差分で厚みを測定するため、同時に複合的なパラメータを取得することが可能です。これらの値のいくつかは、表面の形状(粗さなど)を測定可能です。色収差と同じ白色光を使用しますが、薄膜フィルム計測用に分光計が最適化しております。250μm)の表面に光があたると、干渉波が反射してきます。サンプリングレートで多層厚さを測定する事が可能です。この測定技術は、濡れていても乾燥している物質でも適用でき、流体でも薄膜フィルムでも、エアーギャップ(空気層)も測定可能です。赤外の光源及び分光計を使用すると、シリコンウェハーのように視覚的に不透明な材料が測定されることが可能です。以上の表面から反射する光から干渉波によって、測定サンプルの厚さを測定できます。様に、それぞれ各層の膜の厚さも測定できます。光学プローブは、電子部品や駆動部品を搭載していないので、環境が悪い(酸や高湿度)インラインの用途でも安定して測定可能です。多用途に使用できる色収差方式は、ほぼ全ての形状を測定することが可能です。つのプローブを同期させて、鉄または不透明ウェハーのような、ほぼ不透明な材質の厚さを測定する事が可能です。