センサ(10)は、近傍にある被検査体の複層誘電率および複素透磁率に応じて発振周波数を変化させる発振器(24)と、発振器(24)を覆う被覆膜(5)と、を備える。被覆膜(5)に、上面視において発振器(24)と重なるように、微小窪み(6)が形成されており、発振器(24)は、微小窪み(6)の内部に存在する被検査体のみの物性に応じて発振周波数を変化させる。生体高分子などを検査する検査方法のための集積回路センサとして、発明者らは非特許文献1に示す、半導体基板上に作成した集積回路センサを開発した。発明者らが開発した集積回路センサは、複数の発振器を備え、それぞれの発振器が有する共振器を構成するインダクタを集積回路センサの表面近傍に配置している。集積回路センサの表面近傍にある被検査体の物性(複素誘電率および複素透磁率)の変化により共振器の共振周波数が変化することで、発振器の発振周波数が変化する。この発振周波数の変化を、集積回路の外部または内部に形成された周波数検出回路にて検出する。結果として、集積回路センサは、被検査体の物性の変化を検出することができる。被検査体の物性の変化を検出することにより、被検査体に含まれる検査対象を検査することができる。100GHz付近の周波数帯において、水分子の状態変化により、水の複素誘電率は大きく変化する。細菌および細胞などの生体は、水が主要成分であるため、水分子の状態を調べることにより、生体および生体高分子の状態を調べることができる。生体分子中の水は生体分子外の水に比べて束縛されるため、100GHz付近の周波数では誘電損が小さくなる。このため、生体または生体分子を含む培養液の下にある発振器の発振周波数は、生体も生体分子も含まない培養液のみの下にある発振器の発振周波数に比べて高くなる。非特許文献1では、120GHzと60GHzの2種類の発振器を複数並べた集積回路センサを用意し、寒天培地を集積回路センサに貼り付け、増殖させた大腸菌が存在する領域に存在する発振器の発振周波数が、寒天培地に比べて高いことを示した。他に、検査のための集積回路センサとして、蛍光を利用する集積回路センサも開発されている。有しており、発せられた蛍光の強度を測定することにより、被検査体のpHを検出する。上に、微小なウェル(井戸)が形成されている光不透過層を設けることにより、外光を遮断して、蛍光の測定の感度を向上させている。本発明は、被検査体(水および培地など)の物性の変化を検査するセンサ装置に関し、特に、被検査体に含まれる検査対象(細菌、細胞および生体分子など)を検査するセンサ装置に関する。前記発振器は、前記窪みの内部に存在する被検査体のみの物性に応じて発振周波数を変化させることを特徴とするセンサ装置。前記窪みは、上面視において、前記差動部と重なる位置に位置することを特徴とする請求項1に記載のセンサ装置。前記窪みの底の中心は、上面視において、前記差動部の中心と重なる位置に位置することを特徴とする請求項2に記載のセンサ装置。前記窪みの底の形状は、上面視において、円形または多角形であることを特徴とする請求項3に記載のセンサ装置。前記窪みの底と前記発振器との間には、第2保護膜が少なくとも存在することを特徴とする請求項1から4の何れか1項に記載のセンサ装置。前記第2保護膜は、パッシベーション膜を含むことを特徴とする請求項5に記載のセンサ装置。前記窪みは、開口側が底側よりも広くなっていることを特徴とする請求項1から6の何れか1項に記載のセンサ装置。複数の前記窪みが、複数の前記発振器のそれぞれに応じて形成されていることを特徴とする請求項1から7の何れか1項に記載のセンサ装置。前記第1保護膜は、前記容器の内側に位置することを特徴とする請求項1から8の何れか1項に記載のセンサ装置。前記窪みが少なくとも1つ含まれることを特徴とする請求項9に記載のセンサ装置。ライセンスをご希望の方、特許の内容に興味を持たれた方は、下記までご連絡ください。同じキーワードでJ-STORE内を検索することが出来ます。