»n-MOS領域、p-MOS領域それぞれに、ソースとドレインを形成します。通常のトランジスタの場合、左右対称であるため形状は同じです。電源の接続方向によって、どちらがソースでドレインなのかが規定されます。p-ソースドレイン:p-MOS領域にp型不純物(ボロンなど)を注入します。n-ソースドレイン:n-MOS領域にn型不純物(リン、ヒ素など)を注入します。ボロンなど)を注入します。注入後、レジストパターンは除去します。ヒ素など)を注入します。注入後、レジストパターンは除去します。