球面超音波モータは、球面体のロータとそれを取り囲むように配置された複数のステータから構成されます。ステータは基礎円環部をベースとし、この下面には空間的にSin成分とCos成分を持つように分極された円環状の圧電素子が、接着されています。この圧電素子に2相の超音波領域の高周波電圧を印加し、周波数をステータの固有振動数に合わせると共振し、振幅は大幅に増加。これによって、時間とともに位相が進む進行波が、ステータ円環状に励起されます。ステータの上面には、この原理を利用して振動を有効に拡大するための突起が設けられています。この突起をロータに押し付けると力が伝達され、ロータが回転します。各々のステータの協調により、軸回りに回転力を起こすと任意の方向に回転することができます。これらの特徴から、各ステータへの印如電圧を制御することで三次元多自由度を持たせたものが、弊社開発中の「球面超音波モータ」です。