実機およびパネル展示を致します。(実機展示)・スピンコーターの変わる新たな塗布技術、大幅なコスト削減に貢献します。・微細パターンの塗布機能も有しています。キャッパー・ラベラーを100年超えるノウハウでお客様にご提供します。(実機展示)・装置1台に8種類の複数の検査センサーの搭載可能な統合検査装置です。・高タクトを実現します。(膜厚1000点:100WPHを実現)・量産に適した装置です。・ウェハ裏面の欠陥情報を元に、表面のチップIDのOK,NG情報とのマージ機能を有しています。・KRFファイルおよび各種チップデータとの取り込みが可能です。可視化が可能なセンサーです。・搬送ローダーとのドッキングが可能になります。・水銀ランプとの互換性がある、UV-LED光源。・平行光で高輝度の性能があります。3208)にお立ち寄り頂きますようよろしくお願い申し上げます。