(0791)64-8200LSIを塵から守るクリーンルームLSIや超LSIなどの半導体集積回路の製造には、さまざまな高性能機械装置が使われています。これらの装置のすべての操作は、塵が全くないと言っていいほどの清浄な部屋(クリーンルーム)の中で行われています。超LSIでは、ほんの小指の爪ほどのシリコン基板のうえに何十万個もの小さい素子を焼き付けます。そのため素子や素子と素子の間隔のサイズは、実にミクロン(1ミリの1000分の1)程度の極微になります。超LSIの製造工程にとっては数ミクロンの塵でさえも巨大な障害物です。極小の塵でも基板のうえに落ちたら、その超LSIは欠陥品になってしまいます。そのために、クリーンルームがあるのです。クリーンルームを守るクリーンルームに入る時、ナイロン製の服を着て、深々と帽子をかぶり、その上、ゴミ落としの空気シャワーを通り抜けるという様子を、写真などで目にすることがありますか。それは不良品発生の原因となる超微細な塵をシャットアウトするための対策の一つです。した対策の中に、移載ロボットのネジカバー装備があります。ジャバラは、現在この分野で大いに活躍しています。クリーン度の要求を満たす材料、環境にやさしい材料を使用しています。ウレタンシート、オレフインシート等)特殊オレフインシートは焼却時に二酸化炭素(CO2)の発生を押えています。ダイオキシンの発生要因である塩化水素ガスの発生もありません。高伸縮比率設計により無理のない山数を設定できすぐれた耐久性を確保などがあげられます。