メンテナンスを定期的に受託しております。材質、汚染程度から最適な洗浄メニューを選択し、独自の洗浄技術により安全で万全な方法による分解洗浄を行います。カーボン部品洗浄MOCVD装置チャンバー内に使用するカーボン部品を高温にてドライクリーニングを行い再生使用可能にし、コスト・廃棄物の削減に貢献しております。当社ではお客様のご要望により他社より先駆けてGaN系装置の部品のドライ洗浄技術を研究開発しておりました。実験により、ドライ洗浄技術を確立し、大型チャンバーの導入を行いました。大規模な設備でのドライ洗浄サービス行っております。地球環境の維持に貢献しております。ポンプ販売コラムお知らせ。