傾斜計/振動計:産業用途向けの傾斜/振動計、分解能0.001度で価格は14万円エプソンが発表した傾斜計/振動計は、機械サーボ方式並みの分解能と安定度を備えつつ、シリコンMEMS並みの小型化を実現した。価格についても、サンプル価格が14万7000円と、機械サーボ方式の50〜70万円に比べて大幅に低価格化している。});セイコーエプソン(以下、エプソン)は2012年11月、産業分野向けに傾斜計と振動計を発表した。具体的な用途としては、高層建築物や大型構造物の水平/垂直の監視、船舶などの歪みの測定、パイプラインなど大型構造物の保全、地震による振動の計測などを想定している。Network)インタフェースを実装した「CANユニット」の2品種がある。−組み込みユニットとCANユニットの仕様を下記に示す。−左が組み込みユニット、右がCANユニット傾斜計/振動計には、高精度に計測できるが価格が高い機械サーボ方式を用いた製品と、小型で低価格だが性能面で劣るシリコンMEMS製品がある。機械サーボ方式の製品は、5〜10cm角で価格が50〜70万円の場合もあるという。一方のシリコンMEMS製品は、2万円前後と安価だが、産業分野向けには性能が足りない。今回エプソンが発表した新製品には、独自の水晶加工技術であるQMEMSを用いて新たに開発した水晶加速度センサーを搭載しており、このような技術によって、機械サーボ方式並みの精度と、シリコンMEMS並みの小型化/低価格化を実現したとしている。サンプル価格は1個当たり14万7000円。2013年1月よりサンプル出荷を開始し、2013年内には量産を開始する予定である。傾斜計を用いて2カ月間、傾斜0度(静置状態)を測定した結果を青色のグラフで示している。0度が正確に出力されており、安定度が高いことが分かる。高層ビル(29階)の振動を計測した結果を示している。産業/工業機器に向けた競合他社の既存品に比べて、体積と消費電力がともに1/6程度と大幅に低く、重量も約1/3と軽いという。従来はサイズや消費電力が障壁になってIMUを組み込めなかった機器にも応用が広がると見込む。いった用途を問わず、電子回路では、クロック信号が重要な役割を果たしている。その信号源として用いられるのが水晶振動子や、同振動子を用いて構成した水晶発振器である。本稿では、この水晶発振器の仕様や使い方について4回にわたって解説する。今回はその第1回目として、水晶発振器のベースとなる水晶振動子について詳しく解説する。LLC.ITmediaはアイティメディア株式会社の登録商標です。