浦中克己)は、2019年3月より世界最大出力クラスのKrFレーザーG45Kの出荷を開始し、最先端メモリチップのさらなる生産効率化に貢献すると発表しました。近年のIoTやAIの普及に伴い、世界中の情報データ量はここ数年で10倍になったといわれています。それに対応するため、チップメーカーは高集積な最先端メモリチップの生産性向上に取り組んでいます。リソグラフィ工程においては、光源となるKrFレーザーの出力パワーが生産性向上に直接的に寄与するため、その高出力化の実現が期待されていました。ギガフォトンのKrFレーザーG45Kは、それに応えるべく、従来機種より25%以上高めた50Wの出力パワーを実現し、最先端メモリチップのより高効率な生産を可能にします。装置内の主要モジュールの寿命を20%延長し、メンテナンスのためのダウンタイムを大幅に低減したことも、生産性向上に寄与しています。ヘリウムフリー”は標準搭載、“hTGM(ネオンガスリサイクルシステム)”は対応可能となっており、オペレーションコスト削減にも効果的です。ギガフォトン代表取締役社長兼CEOの浦中克己氏は、こう述べています。「IoTやAIが急速に普及する中、我々のお客様であるチップメーカーにとって、最先端メモリチップの生産性向上は急務となっています。ギガフォトンのKrFレーザーG45Kが実現した、世界最大クラスの出力パワーとモジュールの寿命延長によるダウンタイム低減は、お客様の効率的な生産に貢献できると確信しています。」ギガフォトンについて2000年設立以来、ギガフォトンはレーザーサプライヤーとして、価値あるソリューションを世界の半導体メーカーに提供し続けています。ギガフォトンは、研究開発から製造・販売・保守サービスまで、常にユーザー目線に立った業界最高水準のサポートをお約束します。詳細についてはwww.gigaphoton.comをご覧ください。