研究概要:透明で導電性を示すSn添加酸化インジウム(ITO)の低比抵抗化を目的として,その電気伝導や結晶成長のメカニズムを調べる。最近ドーパントとして酸化インジウム母体中にドーピングされているSnの濃度および化学状態がITO膜の電気伝導,結晶成長や薄膜の配向に及ぼす影響が観測されており,SnのITO母相に及ぼす影響,および適正なドーピングを再検討する必要があると考えられる。関係をメスバウアー分光法を用いて調べる。ReservedTOP。