トータル加工をプロデュース。共同研究お問い合わせ《イオンハード(アモルファス)クロムめっきとは》イオンハードクロムめっきとは従来のクロムめっきとは異なり、クラックのないアモルファス(非晶質)な皮膜で、耐食性に優れている。炭化物を共析しているので熱処理により硬度が上がり、高硬度な皮膜になります。めっき液中のクロムのほとんどが3価であるため、環境に優しいめっきです。従来のクロムめっきイオンハードクロムめっき特徴1.高耐食性の皮膜イオンハードクロムめっきは、Crめっきに比べ下地に対する防食性に優れる《フェロキシル試験の結果》0.15μm0.5μm1μm2μmCr-CCrピンホールテストの結果、従来のクロムめっきでは、素材に貫通するクラックがあり、膜厚が増えてもピンホールが無くならない。イオンハードクロムめっきでは、わずか0.5μmの膜厚で貫通欠陥は劇的に減少する。57×75mm)[試験時間2時間]キャス試験の結果、従来のクロムめっきでは、クラックから下地の錆が浮き出してくる。イオンハードクロムめっきでは、ノーピンホールであるため、錆の発生が無い。従来のクロムめっきと比較して耐薬品性(特塩化物)に優れています。電気化学測定による検証データ腐食電位をかけることで、不導体化膜が破壊される。ニッケルでは約0.3V、従来のクロムめっきでは、0.4Vで腐食が進んだが、イオンハードクロムめっきでは、0.8Vまで腐食がおきない事がわかった。開発された「イオンハード」は、アモルファスのクロム炭化物めっき皮膜です。業界標準CMPパッドコンディショナ-を酸性タイプスラリ-に対し耐摩耗性と耐食性を大きく改善させる新しいめっき皮膜を完成させました。ドレツィング劣化試験】W2000スラリ-を掛け流しでパッド(IC1010)を連続ドレッシングを行い、CPMパッドコンディショナ-の評価を行う。各条件で連続ドレッシング試験したCMPパッドコンディショナ-の(計7枚をW2000スラリ-によるin-Situプロセスでウエハ-研磨試験を行いそれぞれの研磨性能の評価を行う。