2018年12月号(11/26発売)では、マスフローのゼロシフトに対するゼロ調整に関して解説しています。本ブログと併せてお読み頂けましたら、幸いです。本物語のラスボスの一つがやっと現れたのですが、CFというものがどれくらい厄介で一筋縄ではいかないのか?をご理解いただくのに、何個か例を挙げて解説しましょう。以下はおなじみの熱式流量センサーの一般例と流量式です。熱式流量計の流量式にはCp=流体の定圧比熱というファクターが含まれています。気体を測定対象とする場合、圧力条件のよるエンタルピーの変化量が大きい為に定圧比熱を用います。何度もお話ししてきましたが、熱式流量計を質量流量計として機能させるためには、流体種を固定する必要があります。それは定圧比熱を正確に求めないといけないからなのです。窒素の定圧比熱は1気圧=1013hPa(A)条件の場合、0°Cで1043J/kg°Cであり、50°Cでも同値です。J/kg°C)このように大きなもので5%を超えるガスもあります。Net”(以下FLUIDAT)を使って、二酸化炭素の0°Cと50°C条件でのCF計算を行い、結果を比較してみよう。to”で窒素=N2を選択し、各々の条件を入れます。F-111B-100を選定します。1013hPa(A)の体積流量に換算し表記しています。CFは0°Cで0.7685@100%FSですが、50°Cでは0.7301@100%FSまで変化しています。窒素、FS100SCCM仕様のMFMで二酸化炭素を流して測定する際に、指示値が100SCCMであっても、流体温度が0°Cなら76.85SCCM、50°Cなら73.01SCCM、実際は流れているということになるのです。FS100SCCMに対して3.84SCCMの差は大きいですね?「マスフローメーカーのカタログ仕様を比較して、繰り返し性や精度に関しての議論をしている場合ではない!」と思えてきます。このようなガスは、流量センサーでの温度差ΔT/定圧比熱Cpという流量式に対し、更に流体温度による補正が必要になります。FLUIDATではデータ不足か?CF計算ができなかったのですが、温度でCFが劇的に変化するガスの代表はフッ酸(HF)です。筆者の経験では常温から100°Cの間で、なんと!0.33から1.00まで変化します。「ちょっと待ってよ!」と言いたくなる差ですね。その腐食性の強さがクローズアップされるフッ酸ですが、それ以上に熱式流量センサーを搭載するマスフローの天敵といってもいい流体な理由はこれです。2014年6月開業です。流体制御機器マスフローコントローラーを中心に”流体制御関連の万(よろず)屋”として情報発信しています。”マスフロー千夜一夜物語”の連載中です。