会社概要アクセス方法お問いわせ(GDL見積PW取得)環境分析レポート●目的クリーンルーム内・外の雰囲気ガスをインピンジャー法で捕集して金属・イオン性不純物分析を行い、ケミカルフィルターの性能を確認する。インピンジャー法・・・インピンジャーと呼ばれる容器内に純水を入れ、吸引ポンプで一定時間雰囲気ガスを吸引し、純水に雰囲気中の不純物をバブリング水捕集させます。捕集液を、イオンクロマトグラフ(IC)などで測定します。クリーンルーム内・外にインピンジャーを設置する。インピンジャーと吸引ポンプを接続する。毎分2.0Lの条件で120分間雰囲気ガスを吸引する。インピンジャーから吸引ポンプを取り外し、密栓する。捕集水をイオンクロ分析器を用いて測定する。イオンクロ分析器カチオン用・アニオン用ともに濃縮カラム・オートサンプラーを付属しており、環境分析などの微量分析に適した装置です。弊社では、輸送中のインピンジャー破損防止のため、樹脂製容器を使用しております。分析精度によっては、石英ガラス製容器を使用する場合もあります。