表面形状、薄膜などの微小領域の機械的特性を定量的に測定するための技術です。ナノインデンテーション法では既知の形状の圧子(プローブ)を材料の表面に押し込む試験の間に、加えられた荷重および変位(押し込み深さ)を連続的に測定し、荷重-変位曲線を得ます。その曲線は材料特性により形状などが異なるため、解析することにより様々な材料の弾性率、硬さなどを定量的に算出できます。ブルカーはナノインデンテーションによりナノスケールの機械的特性を算出する装置を開発するワールドワイドのトップランナーです。ナノメートル精度で測定位置を制御し、測定中のデータ取得も安定的に行えるよう、独自の静電容量型トランスデューサー技術を開発しました。これにより、ナノスケールでの定量的かつ高精度な機械的特性評価が可能になりました。超薄膜から従来のバルク材料まで、非常に広範囲の材料でナノスケールからマイクロスケールまで評価し、材料特性の把握をお助けします。