-製品概要MEMaterial(R)は、MEMS用薄膜材料データベースです。製造パラメータの関数として求めることができます。ガスのトール流量、シランガス濃度、アンモニアガス濃度、アルゴンガス濃度の8つのパラメーターに依存します。その8つのパラメーターのうち、他のパラメーターを固定し温度と圧力の関数として内部応力の三次元のグラフを求めることができます。MEMaterial(R)のデータは、文献、及び権威ある機関から収集された信用あるデータです。