起源:パワードマグネトロンスパッタは普通は2種類:支流スパッタリングと週波数スパッタリング、その支流スパッタリング装置の原理に簡単ですが、スパッタ金属時、そのスピードも速い。カーバイドなどの化合物の材料。無線の週波数を高めになるマイクロ波プラズマスパッタリング、現在常用の電子サイクロトロン共鳴(ECR)型マイクロ波プラズマスパッタリング。今マグネトロンスパッタコーティングは比較的成熟し、主に応用して、以下の分野における:装飾薄膜ターゲット、建築ガラス、自動車ガラス、低い輻射ガラス、グラフィックディスプレイ、光通信/光学工業、光データストレージ工業、光データストレージ工業、磁気データストレージ工業。