Japanese)従来技術は、圧力差と油回転ポンプと圧縮機を用いて、装置容器と貯蔵容器の間を繰り返し、移送する方法が採られている。耐圧の高い油回転ポンプを用いて各容器の中にあるSF6ガスを残留量ができるだけ少なくなるように、低い圧力まで排気する。この油回転ポンプの背圧を圧縮機を用いて移送終点へ高い圧力にして移送する。このようにして高価なSF6ガスの消費量と排出量を低減する努力が行われている。時間がかかるために実際的ではなく、通常は適当な圧力で排気を打ち切る。この最終圧力は1mBar程度がやっとで最初の加圧充填量の0.02%程度は少なくとも外部放出される。おいて無視できる量ではない。温暖化係数が24000倍のSF6ガスは1台当たり年間数回の排気で無視できない影響が地球温暖化現象に出ていると考えられる。従来においては、温暖化ガスの外部放出を止めるために温暖化係数が1ケタから2ケタ小さい代替フロンガスを使用する方法も提案されている。絶縁性能はおおよそ下記表1に示す温暖化係数の逆の順番でSF6ガスが一番高い。このため、代替フロンでは、高い絶縁性能が確保されない。SF6ガス以外では可燃性や毒性など安全性確保が危惧される。その点はSF6ガスは結核等の気胸治療目的で使用された実績があり、毒性も可燃性も腐食性などの問題はない。ポンプであるターボ分子ポンプやメカニカルブースターや拡散ポンプやエジェクターポンプの使用も提案されているが、これらは大型では桁違いに高価となり、排気ポンプの付帯設備などで設置場所にも困難が伴う。SF6など凝縮性気体などに対する選択性がないために残留ガスの分圧が高くなり、SF6ガスの最終到達真空度は従来技術より1ケタ程度下回るだけとなる。選択性もないことからガスの純化もできない。従来においては、吸着材を利用してSF6ガスを選択分離して回収する技術も提案されているが(特許文献1~3参照)、これらは、正圧下においてSF6ガスの吸着回収を行う技術であるため、装置容器中に残るSF6ガスの残留量を著しく低減できるものではない。おいて使用される高電圧機器の圧力容器または密封容器中に、放電を消弧する或いは放電を防止するために封入されるSF6ガス(絶縁ガス)を、外界に放出することなく完全に回収して別容器に移送を行えるSF6ガス回収装置、及びその方法に関するものである。第三の段階および第四の段階において、吸着分子が異なる複数種の吸着材を収容した低温吸着ポンプ(5)を、温度調節機能を備えたヒーター装置(7)で昇温してSF6ガスに含まれている不純物ガスを分留除去することを特徴とする請求項7または8に記載のSF6ガス回収方法。