电极100包括从电极100的主体部分延伸的4个腿102。100的中心部分和/或延伸出所有腿102的部分。所示电极100的实施方式包括5个齿104。106,用于结合作用器,例如图4中所不。108,便于腿102的均匀弯曲。3、2.5、2、1.5或lcm。1000、900、800、700、600或500微米。20、25、30或35度和/或小于或等于大约60、55、50、45或40度。/或微激光制造エ艺进行制造。