おいて、窒素を作動ガスとして、これにホウ素、水素および/または希ガスを含有させて窒素プラズマジェットを生成し、この窒素プラズマジェットをダイヤモンド薄膜の表面に照射してホウ素と窒素をドープするとともに表面積を増大させることを特徴とするダイヤモンド電極の製造方法。ダイヤモンド薄膜は、予めホウ素をドープされていてもよい。優れるが、電流を流せない難点がある。特徴を持ち、貴金属や炭素などの電極材料に比べ、電気化学分析や電気分解に有効な機能性電極材料として注目されている。ガスセンサの検出電極などへの応用が期待されている。BDD電極は、電位窓が広く、バックグラウンド電流が小さいといった電気化学的特性を有することから、高感度な電気化学センサや高効率な電解用電極(例えば、水処理などで使用する電解用電極)としての利用が期待されている。この電極は、平滑な結晶面が表面に露出し、表面積が小さく、さらなる用途開発には表面積を増大させる技術が必要とされている。ダイヤモンドの機械的強度は極めて高いため、物理的処理が困難であり、化学的処理が主に用いられる。従来、ダイヤモンド電極の表面処理方法には、気相法(特許文献1)、溶液法、および低圧プラズマ処理が知られている(特許文献2)。組み合わせ)において、有意義な電気化学測定が可能な電位領域)や安定性が大きく損なわれること;そして低圧プラズマ処理においては、酸素プラズマの場合は含酸素官能基が生成するため、親水性は向上するが、ダイヤモンド電極の特長である電位窓や安定性が大きく損なわれること、水素、フッ素終端ダイヤモンドを作製できる特徴もあるが、一般的には処理コストが大きいことが問題となる。本発明は、導電性ダイヤモンド電極の製造方法および導電性ダイヤモンド電極に関する。ライセンスをご希望の方、特許の内容に興味を持たれた方は、下記「問合せ先」まで直接お問い合わせください。同じキーワードでJ-STORE内を検索することが出来ます。