用い、非破壊且つ非接触で部材のTBCシステムにおける劣化、例えば、TGOの生成・成長の程度を定量的に測定し、把握することを可能にする。生成した酸化皮膜の定量的評価に関し、1G〜100GHzの高周波を用い、非接触かつ非破壊で評価する非破壊評価システムである。この技術による計測システムにおいては、試験対象物(例えば、試験片なども含む)に対する高周波信号の印加および計測にネットワークアナライザを用いることができる。一般的に、ネットワークアナライザとは、線形回路の伝送特性および反射特性を、正弦波を用いて測定する装置である。ネットワークアナライザのうちの一つのものにつきその構成図を図1に示す。電気信号は基本的にその振幅比(レベル)、位相、周波数の3つを測定すれば決定することが可能であるが、ネットワークアナライザはそのうち振幅および位相を同時に計測することが可能である。実際には反射信号および伝送信号と入力信号との振幅比および位相差をSパラメータを用いて評価する。反射特性S↓1↓1を計測する。