(SAM)およびその末端重水素置換体で中性脱離種測定を行い、イオン脱離測定との対比からその内殻励起脱離反応のメカニズムを検討した。センターのビームラインBL13で行った。(TOF-MS)を用いることで直接脱離したイオン種や残留ガス成分と区別しながら効率良くまた高感度に測定することができた。PMMAの場合、イオン脱離に比べ様々な種類の中性種が脱離していることがわかった。酸素内殻励起によるイオン脱離反応の場合、特定の共鳴励起でCH_3^+やCH_2^+、OCH^+イオンが選択的に脱離するが、中性脱離の場合はどの脱離種も吸収スペクトルと一致する励起状態依存性を示すことがわかった。このことから、中性脱離反応ではサイト選択的な内殻励起の特徴は必ずしも反映されておらず、イオン性の結合解離過程がその特徴を明示するのに重要な役割を担っていることがわかった。メチルエステルSAMの場合もPMMAとほぼ同様の結果を示しており、試料が単分子膜であることや配向していることは脱離反応の大勢を左右していないことがわかった。PMMAでは水素付加して脱離していた中性種(例えばHCOOCH_3やCH_4など)がSAMの場合では観測されておらず、SAMではCOOCH_3やCH_3といった末端官能基由来の中性種が直接的に脱離していることが明らかになった。