Japanese)容量型の湿度センサは、水分の吸着によって誘電率が変化する感湿膜(感応膜)の静電容量を計測することにより湿度を検知するものである。容量型の湿度センサには、感湿膜上にくし歯状に電極を配置し、電極間の容量を計測する構成としたもの(引用文献1)や、感湿膜を厚さ方向に挟む電極を配置して感湿膜の容量を計測する構成としたものがある(特許文献2、3)。本発明者は、感応膜の外表面に設ける電極層をナノカーボン材により形成することにより、感応膜へのガス透過性を向上させ、1秒以下の応答特性が得られる容量型ガスセンサを提案している(特許文献4)。Japanese)本発明は、湿度等の計測に用いられる容量型ガスセンサに関する。前記第2の電極層が、前記感応膜に用いられている樹脂と同一の樹脂と前記ナノカーボン材とからなる複合電極として形成され、前記ナノカーボン材が互いに絡み合った網目状に形成されることにより導電性と通気性を備え、かつ、前記感応膜と一体的に形成されていることを特徴とする容量型ガスセンサ。前記感応膜として、前記感光性樹脂にかえてフッ素化ポリイミドが用いられていることを特徴とする請求項1記載の容量型ガスセンサ。前記ナノカーボン材として、SWCNT、MWCNT、DWCNT、グラフェンから選ばれる一種、もしくは複数種が用いられていることを特徴とする請求項1または2記載の容量型ガスセンサ。前記第2の電極層が、前記感応膜の厚さの数倍程度の厚さに設けられていることを特徴とする請求項1~3のいずれか一項記載の容量型ガスセンサ。前記感応膜の厚さが0.4~1.5μm、前記第2の電極層の厚さが0.75~13μmであることを特徴とする請求項1~3のいずれか一項記載の容量型ガスセンサ。