希土類六ホウ化物の適用を実現し、輝度や電子源の寿命が向上し、エネルギーの広がりも抑制できる電子源を提供する。効果この発明は、仕事関数が低い希土類六ホウ化物を電子放出が容易な単結晶ナノファイバとし、電子源に用い、さらに、希土類六ホウ化物の種類を特定した。タングステンが用いられている。これまでにタングステンや希土類六ホウ化物以外の電子源材料として、先鋭化させた針状電極にアルミニウムやハフニウムなどを単原子層吸着させたものが提案されている。これらの電子源材料は仕事関数が希土類六ホウ化物より高く、電子源特性が不安定であり、耐久性も問題があり実用化されていない。希土類六ホウ化物単結晶ナノファイバが電子源支持針の表面に取り付けたものである。希土類六ホウ化物単結晶ナノファイバは、六ホウ化ランタン、六ホウ化セリウム及び六ホウ化ガドリウムの少なくともいずれかの単結晶ナノファイバで、気相成長法により直径10〜300nmの形状に作成されたものである。