して、金属微粒子を薄膜中に分散させたグラニュラー膜が注目されています。富むことから、実デバイスへの応用が期待されています。製膜条件によっては特性の劣る不規則相(立方晶)が同時に生成するため、ナノ粒子・薄膜の状態でこれらを判別する技術が必要です。薄膜試料の表面すれすれにX線を照射し、表面面内方向の規則構造(結晶構造)を調べるインプレーン回折法を用いれば、厚さわずか数nmという極薄膜でも結晶相の同定が可能です。試料表面へのX線の入射角度を変えることで、深さ方向に解析を行うこともできます。