(1/2)今回から、リソグラフィ技術のセッションの概要を紹介する。半導体露光技術の進化について解説したい。前半では主に、「コンタクト露光」から始まる等倍露光技術の発展の流れを見てみよう。Center)で開催された。12日には「FORUM」(フォーラム)と称する併設の講演会があり、専門テーマに関する解説や展望などを数多くの研究者や技術者、経営者などが発表した。5」の概要をご紹介したい。このセッションでは主に、7nm世代と5nm世代のリソグラフィ技術に関する展望が発表された。Renwick氏の講演概要をご報告する。Continues」である。Renwick氏は講演の開始部分で、過去のリソグラフィ技術の歴史を簡単に振り返った。リソグラフィ技術の基幹技術である露光技術の変遷を、過去に研究開発が進められたものの、商用化されずに埋もれていった技術を含めて紹介した。Renwick氏は個々の露光技術についてほとんど説明しなかった。現在の最先端の露光技術の成り立ちを知る上ではそれなりに重要な情報であることから、本コラムでは筆者が個々の露光技術について簡単に説明していこう。LLC.ITmediaはアイティメディア株式会社の登録商標です。