ディスプレイ、多様のOLED、その他フラットパネルディスプレイ技術では、インジウムスズ酸化物(ITO)のような透明酸化物導電膜(TCO)で電気を伝え、各発光素子のアノードとして機能する事に依存しています。他の薄膜プロセス同様、ディスプレイを構成する各層の膜厚を把握することは重要な利点となります。複数の層からなる積層構造の測定には、分光反射率やエリプソメトリーなど光学的な手法を使って、各層の厚みと光学定数(屈折率と消衰係数)を測定するか、正確にモデリングをする必要があります。アプリケーションカタログをリクエストする層がITOを含む場合、他の層の測定やモデリングはより困難になります。これはITOがユニークなスペクトルシグナルを持ち、通常他の層を支配するからです。ITO層の屈折率はその他の材料の層の厚さを決定するために正確に測定されなければなりません。ITO層の正確な屈折率測定は使用されている化合物が正しいレベルの伝導性を伝え、ディスプレイガラスに組み込まれたITO膜の厚さを確認するためにも重要です。フィルメトリクスのITO測定ソリューションフィルメトリクスは、正確なITO測定のために、分光反射率を用いた簡単で経済的なF20-EXRを開発しました。この方法は、新しいITO分散モデルと測定波長の広い400-1700nmを組み合わせて得られたもので、ITOの膜厚の解析が測定ボタン一つで可能です。ITO層の解析後、その他の層の解析を行います。ディスプレイの基礎研究から製造まで、フィルメトリクスは必要な手段を提供いたします。バッファー層、封入層パターンのないサンプルにはF20シリーズが、パターン済のサンプルにはF40シリーズが適しています。フィルメトリクスはITOとTCO膜サンプルの無料お試し測定を行っています。結果は通常1~2日です。お問い合わせフォームで貴社のディスプレイ材料やTCO測定用用途への活用を当社の技術者へご相談下さい。測定例このサンプルでは、サファイアとホウケイ酸ガラス(BSG)の2つの基板上のITO膜が測定されました。この延長波長範囲は様々な基板上に覆われたITO膜に見られる稀な分散のために必要となりました。アモルファスとポリシリコンの屈折率と消衰係数APPLICATIONS_amorphous-poly-silicon_FilterKeywordsCMPF80膜厚測定システムは、酸化物、STI、金属CMPプロセスの測定に使用されています。APPLICATIONS_cmp_FilterKeywords誘電体フィルメトリクスは産業界で使用される数千もの誘導体膜の測定システムを取り揃えています。APPLICATIONS_dielectrics_FilterKeywordsハードコート厚フィルメトリクスのシステムはハードコートやプライマー厚を測定する自動車業界で幅広く使用されています。APPLICATIONS_hardcoat-thickness_FilterKeywordsIC故障解析F3-s1550はシリコンの裏面シニング測定をするチップ産業で使用されています。測定が測定ボタン一つで可能です。APPLICATIONS_ito_FilterKeywords医療デバイス血管形成バルーン、ステント、インプラントコーティング、その他多数の膜厚を測定します。50nmまで測定します。Teflons等の膜厚と屈折率を測定します。ハードコート層厚の測定が可能です。APPLICATIONS_ophthalmic_FilterKeywordsParyleneコーティングParyleneコーティングサンプルをF3-CSのステージ上に置くだけで膜厚の測定が可能です。APPLICATIONS_parylene_FilterKeywordsフォトレジスト当社は数十もの異なるレジストを測定しており、屈折率ファイルもお使いのレジストに応じて作成できます。APPLICATIONS_porous-silicon_FilterKeywordsプロセス膜フィルメトリクスは半導体プロセス膜の測定用に完全なシステムを取り揃えています。APPLICATIONS_process-films_FilterKeywords屈折率と消衰係数190-1700nm範囲の屈折率と消衰係数を測定APPLICATIONS_refractive-index_FilterKeywordsシリコンウエハーと膜フィルメトリクスはシリコンを2mm厚まで測定する為の卓上、マッピング、製造システムを取り揃えています。APPLICATIONS_si-wafers_FilterKeywordsソーラーアプリケーションCdTe、CdS、CIGS、アモルファスシリコン、TCO、反射防止層、その他の膜厚を測定します。50台以上のF20が大学機関研究所で使用されています。APPLICATIONS_teaching-labs_FilterKeywordsウェブコーティングフィルメトリクスのシステムはインラインのポリマー膜厚測定用に幅広く使用されています。無断複写・転載を禁じます。(月-金まで24時間営業)当サイトをご利用されることにより、当社の最新のプライバシーポリシーとクッキーポリシーに同意することになります。