当社は化学メーカーとして長年にわたり蓄積した合成・分析技術を生かし、半導体製造工程などで排出されるガス問題に取り組み、より安全でクリーンなガスを排出できる排ガス処理装置を提供してまいりました。クリ-ンエスZシリーズは、塩素(Cl2)、臭化水素(HBr)などのドライエッチング廃ガスを乾式充填剤によって処理します。充填剤には物理吸着剤(活性炭等)、化学反応吸着剤を使用し、その組み合わせにより、プロセスガス種に応じて下表の様な多種の型式を揃えています。実績1985年に業界で初めて開発・販売し、除害筒7000台、収納装置1000台以上の実績があります。:044-520-1366この製品について問い合わせるこのページおよび添付ファイルに記載されているデータは代表値であり保証値ではありません。