岡山県Japanhttp://www.quark-tec.com/小間番号3361UV光源専門メーカとして高付加価値なUV光をご提供いたします。水銀を使用しない、高付加価値なUV光源を提供しております。エキシマUV照射装置...マスクやウエハの有機物、レジスト残渣を172nmの光で取り除きます。UV-LED照射装置...265nm~405nmまでの波長を実装可能。照射エリアもカスタマイズできます。UVレーザー...266nm・355nmのUVレーザーを、光学系とセットで提供します。弊社独自技術により歩留まり低減、タクトタイム短縮、品質向上に貢献いたします。