0.1μm±20nmを実現スケール等のフィードバックを掛けずにサブミクロンでのステップを綺麗に刻みます。Aligner最大の特徴である駆動ユニットの配置。置がアライメントに必須の高精度な微少駆動を可能にします。制御に必要な計算式は無償提供いたします。Aligner用に専用設計した駆動ユニット。モンブランシリーズで培った技術の粋を集約。サイズに制約をもたらすベアリングを使用していない為、大口径の透過穴を設けることが可能です。駆動部をユニット化したことにより、搭載ワークに応じて、テーブルサイズ、形状を自由に設計できます。貼り合わせ用途などで必要とされるZ機構追加のご提案も可能です。仕様等、お気軽にご相談ください。