ビジュアルメディアExpoOplusEOplusEは1979年の創刊以来,光エレクトロニクスと画像工学分野において高い評価を得ている技術情報誌です。Products※掲載1年を経過した記事につきましては,資料請求をすることはできません。(株)マグネスケールは2月21日,ピコメートルの分解能を持つ非接触変位計を開発したと発表した。販売開始時期は8月末を予定している。同変位計は,同社の高精度スケールである「レーザスケール」と同じ格子干渉計タイプで,検出信号波長は138nm,作動距離3mm,測定距離±1mmの範囲を8.4pm(ピコメートル)の分解能で測定できる。同社が開発済みの2次元レーザースケールと合わせて同製品を使用すると,半導体製造装置向けの高精度ステージなどで3次元計測が可能となる。半導体ウエハーの平面度計測や光学部品等の形状測定などにも使用できる。価格は標準仕様で30万円,高精度仕様で60万円となる。初年度の生産予定数は500個である。