卓上プラズマエッチング装置】LSIの局所的な配線露出、Si基板の局所薄片加工が可能な卓上型のプラズマエッチング装置の実機を展示します。Si、SiC、SiO2、ポリイミドなどの実績がございます。可能な部分研磨装置を展示します。ナノマニピュレーションステージ】PZT素子のインパクト駆動によりミリストロークとナノ分解能を両立した直交3軸のマニピュレータの実機を展示します。ミニマルマイクロプラズマエッチング装置】ミニマルファブ用のマイクロプラズマエッチャーの実機を展示します。