業務経験にもとづく半導体装置制御ソリューション、装置通信ソリューションなど、半導体装置の制御を対象としたITソリューションを展示いたします。ManufacturingやIndustrie4.0をにらみ、製造工程から保守までのトータルソリューションを提供します。キーワードは「Connect(繋ぐ)」、「Analyze(分析する)」、「Optimize(最適化する)」の3つです。装置の詳細データをリアルタイムに送信するEIB®を使用してデータを収集し、クラウドベースのセキュアな装置遠隔監視ソリューションであるRemicusTMにて「Connect(繋ぐ)」します。EIB®が収集したデータを「Analyze(分析)」し、データ分析結果をRemicusTMにて遠隔地から「Optimize(最適化)」することでよりスマートな設備稼働を実現することができます。半導体製造装置の保守コスト削減や、タイムリーな装置保守によるCS向上を目指す装置サプライヤー様、また自社工場に導入された装置のトータルソリューションをお探しのICメーカ様にぜひご覧いただきたいソリューションです。ソリューションも展示いたします。PTO:装置機器の自動制御とオンライン機能の融合装置構成機器の自動制御と、オンライン機能のプラグインで開発期間を短縮し装置の安定稼働に寄与するソリューションです。装置組込型の通信接続・装置オンラインソフトウェアです。200mm/300mm向けSEMI規格群の標準的なシナリオのテストや、工場固有のオンラインシナリオの適合性テスト、装置内部の動作を総合的に評価できるテストソフトウェアです。Pro+も展示いたします。Infoセキュアなクラウド型遠隔保守ソリューション。リアルタイムな遠隔保守により保守時間とコストを削減。正確な障害対応による顧客満足度の向上。InfoSEMIスタンダード準拠の為のシンプルなHSMS通信から200mm工場自動化対応GEM通信、300mmや450mm工場向けGEM300スタンダード群に対応したパッケージソフトウェアで装置オンライン実装期間の短縮と導入後のメンテナンス性を両立。Infoロードポートやウェハハンドリングアームなど、装置を構成する様々な機器をプラグインで接続し装置を統合制御。ウェハ搬送や処理のスケジューリングからレシピの管理まで対応し、装置の製作期間を短縮。装置システムの開発、デバッグ時に必要なSECS通信対応ホストシミュレータ。業界トップシェアのシミュレータが出力するログ情報はICメーカからの信頼もあり、装置オンラインの開発・デバッグ・テスト工数削減と品質向上に寄与。装置I/Fのテスト工数を削減し装置オンライン品質を向上するためのI/Fテスト専用パッケージソフトウェアを用意。SEMIスタンダード準拠テストから運用シナリオのテストまで幅広くカバーし、リグレッションの防止にも効果を発揮。