コアレスリニアモータはコギングがありません。溶接は時間、力およびパスによって制御されます。高速ロード/アンロードシステム半導体検査および露光エアベアリング付高精度ガントリステージは平面モニタおよびマスク製造において必要不可欠です。これを用いることにより、電子、チップ、および平面パネル産業のウエハ製造において、微小な欠陥を検出し、精密マスクを製造することが可能になります。マイクロシステム技術およびウエハ処理マイクロシステム技術およびウエハ処理用の位置決めにおいて、絶対精度およびクリーンルーム条件に対する適合性は不可欠です。リニアモータクロスステージはこの要求に合っています。レーザスキャナレーザスキャナのような光学検査システムでは、滑らかな運動と長寿命は不可欠です。エアベアリングを用いたリニアモータステージはこの要求に合致します。シリーズのリニアモータステージは次の機能を持ちます。../index.html#627このブックを見る。