用途エスペイサー®は、導電性高分子を主な成分とするチャージアップ防止膜形成材料です。その塗膜は高い電子伝導性を示し、電子線リソグラフィーをはじめとする荷電粒子線照射プロセスにおいて、チャージアップによって生じる諸問題の解決が期待できます。[シリーズ]ESPACER®300シリーズ、ESPACER®100シリーズ[特性・物性]非化学増幅系レジストおよび化学増幅系レジストのトップコートに使えます。エスペイサー®100は酸性の保護膜としての効果が期待できます。水溶性の導電性高分子でスピンコートが可能です。:03-3435-1034この製品について問い合わせるこのページおよび添付ファイルに記載されているデータは代表値であり保証値ではありません。