ATR中赤外分光器は、IR領域の代表的な分析方法のひとつであるATR全反射測定法を採用した中赤外対応の分光器です。ディテクタ、光源およびサンプルインタフェースであるATRプレートを備えた一体型で小型な本分光器は、稼動部がなく、安定した測定を可能にします。代替機として、容易な中赤外分光が実現できます。MZ5は、光源、ATRプレート一体型のため、その他の試料ホルダやアクセサリを必要としません。MZ5はATRプレートにZnSe結晶を採用し、測定サンプルを結晶面に設置し密着させます。結晶内部を透過させた赤外光がサンプルに照射され、サンプル面で全反射が起こります。この全反射が生じるときに、サンプルへわずかに赤外光が潜り込んで反射されるため、全反射光を検出することで、サンプル表面から深さ数μm程度の位置の吸収スペクトルを取得することが可能です。