VMRシリーズの使いやすさと画像処理能力を継承しながら、小型・軽量・省スペースを実現しました。さや段差のある部品の測定が余裕を持って行えます。10倍ズーム光学系を標準搭載。すべての照明系に高輝度白色LED光源を採用したことにより、カラー観察時の測定精度が安定し、スループットが大幅に向上します。小型、省スペースで、重さはわずか72kgVMA-2520は設置寸法2000×1000mmの省スペース(測定台、タワーPCおよびラックを含む)。200mmものZ軸ストロークを有しながら最小高さを750mmに抑えたコンパクト設計。ベース、ステージ、コラムをはじめ、構造材はすべてアルミ合金化したことにより、本体が72kgという軽量化を実現しています。200mmと大きい、測定対象高さ測定ヘッドが上下するユニークな構造を採用したVMA-2520のZ軸ストロークは、なんと200mm。サンプルの測定に威力を発揮します。8分割LEDリング照明のすべての照明系に白色LED光源を採用しました。高輝度白色LED照明は色温度が一定でちらつきが少ないため、特にカラー観察時の測定精度が安定します。調光反応が速く、スループット向上が可能です。(約20,000時間使用可能)なので電球交換の手間が省けるのも魅力です。十分な精度を得るための高倍率と、ティーチングやサーチのための低倍率・広視野という、どちらのニーズにも対応する5段階/10倍ズーム光学系を標準搭載しました。測定用途専用に開発したバックラッシュの少ないズーム機構で、変倍にともなう倍率、像移動の精度劣化をきわめて低レベルに抑えています。標準装備の高速画像AF測定物の表面およびエッジにかけることができる画像AF(オートフォーカス)は、最適アルゴリズムとプログレッシブスキャンタイプのカメラの採用により、高速・高精度を実現しています。高速・高精度なピント合わせ/高さ測定が行えるレーザAFを選択できます。三次元測定をより早く行うことが出来ます。機械部品、モールド部品から高密度プリント基板まで多種多彩な測定ニーズに応えます。大型化データ処理システムの連係など、これからの測定顕微鏡に求められるポイントを全て強化した、ニコンならではの自信作。採用(ユニバーサルタイプ)。パターンが鮮明で正確なピント合わせが行える新フォーカスエイド機構を搭載。高精度な高さ測定が容易に行えます。