高輝度な電子ビームを生成することが可能な装置として広く用いられている。1ps(rms)を切るような時間幅の電子ビームを生成することは非常に有用性が認められており、例えばテラヘルツ電磁波発生装置への利用が期待されている(例えば特許文献1)。上記時間幅はテラヘルツ光の周期よりも電子ビーム幅が短いため、生成された光がコヒーレントに重なりあい、強めあうためである。その生成方法としては、軌道放射光のみならず、遷移放射光や回折放射光なども挙げられる。従来の電子銃は、陰極(カソード)と加速空胴が一体に形成されており、生成した電子を即座に加速することにより、高輝度な電子ビームを得ることができる。備えた電子線装置に関するものである。備えたことを特徴とする電子線装置。