そこで,以下においては,被告製品を使用する加工方法における構成要件エないしカの充足の有無について判断する。本件明細書(甲2)の「発明の詳細な説明」には,次のような記載がある。「本発明は,特許請求の範囲第1項の上位概念に記載された装置に関する。断,穴あけ,溶接,マーキング及び材料切除-のために利用される。要な強度を発生するために,例えばレンズのような光学要素によって加工すべき材料上に収束される。この強制的なビーム収束に基づいて,作業は,焦点の場所又はそのすぐ近くの周囲においてしか可能ではない。3643284号明細書によれば,レーザービームにより材料を切断する方法が公知であり,ここではこのレーザービームは,切断すべき材料に向けられた水ビーム内に結合され,かつこの中において案内されている。ビームの供給は,ビームガイド(ファイバ)を介して行なわれ,このビームガイドの一方の端部は,ノズル内において発生される水ビーム内に突出している。水ビームの直径は,ビームガイドのものより大きい。公知の装置は,水ビームの直径が,決してビームガイドのものより小さくてはいけないという欠点を有する。加工場所における大きな強度を維持するために,できるだけ小さなビーム直径が必要である。ビーム直径が小さくなるほど,レーザービーム源のわずかな出力で加工を行なうことができる。3643284号明細書の装置のその他の欠点は,水ビーム内に突出したビームガイド端部によって明らかである。害を形成し,これら妨害は,水ビームの長さにわたって指数状に増大し,かつ最終的に水ビームの分離水滴を生じる。それ故にこの装置によって,30mmを越す層状のコンパクトなビーム長さを得ることは不可能である。「この時,ヨーロッパ特許出願公開第0515983号明細書において,もはやビームガイドを直接含まない水ノズルを構成することによって,前記の欠点を解消することが試みられている。成するノズルの前に,水入口とノズル入口に対して空間を閉じるフォーカスレンズとを有する水空間がある。学系の一部であり,それによりビームガイドから出たビームは,ノズルのノズル通路内に収束することができる。態にあるように構成されている。この時,水ビーム内に結合されたレーザービームのこの第2の構成変形は,ノズル通路入口の周範囲におけるノズルの壁に管理できない損傷を引起こすことがわかった。体ビーム内に光学的に結合することができる装置を提供することにある。「本発明は,フォーカス光学系によってノズルの範囲に収束したレーザービームが,液体における強度の分布に応じてこの液体を多かれ少なかれ強力に加熱することができるという知識に基づいている。度分布を有するだけでなく,空間的な屈折率分布も有する。空間的な温度勾配を有する液体は,光学的にレンズとして反応し,かつ収束したレーザービームのフォーカス円錐内において,通常発散レンズとして反応する。」,「この時,ヨーロッパ特許出願公開第0515983号明細書の図2に示されたように,ノズル通路内において形成される液体(水)ビーム内へのレーザービーム“製図的に最適な”結合は,残念ながら推測したようには作用しない。ヨーロッパ特許出願公開第0515983号明細書に示された装置において,ノズル通路入口の上のフォーカス円錐先端の範囲に,熱レンズが生じ,この熱レンズは,ここに示された焦点の場所を上方へずらし,かつ焦点直径を大幅に増加する。それによりフォーカス円錐内のレーザービームの一部は,ノズル壁に,とくにここにおいて利用された液体せき止め空間の方に向いたノズル表面に当たる。この時一方において材料加工のために必要な高い強度によって,この時ノズルの壁が損傷する。「ヨーロッパ特許出願公開第0515983号明細書により公知の構造において,さらに液体として水を利用し,かつレーザービームとして,1.064μmのND:YAGのものを利用することは,不利に作用する。この時,このビームは,ちょうど水中において無視できない吸収を有する。局液体ビームを形成するノズルの破壊を引起こす。」(4頁13行~20行),「水の使用だけが,結合効率を悪化するのではなく,ノズル入口前の液体空間の全構造的構成も悪化する。...ノズル入口前においてできるだけ液体の静止状態を達成する努力が試みられた。この液体静止状態は,熱レンズの構成を可能にし,又は強化する。力に加熱されることがなく,それによりレンズ効果を減少するようにするため,できるだけ早く運び去るのではなく,逆に進行する加熱によってなお生じる熱レンズの屈折力の増強が行なわれる。「しかし本発明は,別の方法をとる。ここではすべてのことは,できるだけ熱レンズを生じることがなく,又はその作用を大幅に小さくすることにかけている。」,「本発明において,利用したレーザービームにおいてできるだけ小さな吸収を有する液体が使用され,すなわちND:YAGレーザーのビームにおいてシリコンオイルが利用される。」,「さらにノズル装置及びフォーカスユニットを含む加工モジュールの構造的構成は,無視できない小さなビーム吸収の場合にも,熱レンズの効果が,そもそも生じるかぎり,最小に,したがって無視できる程度に維持されるように選択されている。「本発明は,次のことを提案する。加熱時間をそもそもできるだけ短く維持するために,液体が,レーザービームのフォーカス円錐の範囲から,とくにその先端範囲からできるだけ迅速に運び出される。明らかに最善の結果は,わずかな吸収を有するフォーカス円錐における液体の短い滞在時間の際に達成される。「前記の条件を達成するために,ヨーロッパ特許出願公開第0515983号明細書において利用された。液体を静止状態に維持するここに普及された液体せき止め空間を有する液体空間は,完全に回避される。ノズルへの液体供給の高さは,流れの渦形成を減少するために,ほぼノズル通路の直径を有し,又はそれよりわずかだけ大きい。出願公開第0515983号明細書におけるようなフォーカスレンズも組込まれず,レーザービームを損失なく伝達する窓が組込まれるだけである。ノズル入口のほぼ真上にあるこの窓だけによって,フォーカス円錐の先端における液体容量をそもそもできるだけ少なく,かつ流速をそもそもできるだけ高く維持することが可能である。「提案された装置は,...ノズル通路への入口における支障ない流れが保証されるならば,液体圧力を上昇することができ,かつコンパクトな液体ビーム長さは,とりわけ利用した液体とノズル直径に依存する最大値にまで増加する。水及び150μmのノズル通路直径に対して,80バールの液体圧力の際に150mmの最大のコンパクトなビーム長さが得られる。離水滴”の始まる前の長さのことである。表面張力によって引起こされる不可避の渦形成に基づいている。「レーザービームの最適な結合は,焦点が,ノズル開口の平面内に置かれたときに達成される。レーザービームを伝達する窓の,ノズル開口の方に向いた下側は,100μmのノズル直径の際に200μmないし500μmの距離のところにあるようにする。それにより熱レンズの形成を助長する液体せき止め空間が避けられる。「次に本発明による装置の例を図面により詳細に説明する。」(7頁7行),「図1に示された材料加工装置は,ビーム源としてND:YAGレーザー1を有し,このレーザーは,1.064μmの波長を有するレーザービーム3を送出する。ここではレーザー1は,100Wの出力を有する。このレーザービーム3は,フォーカスユニット5によって...ビームガイド6に結合される。...加工モジュール7の下に,加工すべき,ここでは切断すべき加工片9が配置されている。」(7頁15行~25行),「加工モジュール7は,ビームガイド6によって近くに案内されるレーザービームを平行化するコリメータ21,加工片9上の加工位置24に向けられた液体ビーム12を形成するノズル通路23を有するノズルブロック43,及び図3に拡大して示すように,ノズルブロック43のノズル通路23のノズル軸線31の場所における入口開口30の平面29に平行化されたレーザービーム27を収束するフォーカスレンズ25を有する。体供給空間35がある。液体供給空間35は,ノズル入口開口30の周囲にせき止め空間として作用する液体空間を持たない。路23の横断面の半分を有するだけでよい。摩擦損失を減少するため及び渦形成を避けるために,それよりいくらか大きく選定されている。半角を有する円錐状に製造してもよく,その際,角頂点(円錐先端)は,この時ノズル入口開口の上方にあるようにする。「液体供給空間35の壁内に,ノズル入口開口30の上においてなるべく反射防止コーティングされた窓36が挿入されており,これを通ってレーザービームは,フォーカスレンズ25によってノズル通路23の入口開口30の平面内の収束することができる。素47において液体ビーム12のための中心貫通穴45を有するノズルブロック保持体46内に保持されている。...窓36は,挿入体53の中心切り欠き51内に配置されている。液体供給空間35の高さは,挿入体53のねじ込み深さによって調節される。成要件エないしカの構成)を一体的に採用した点に技術的意義があることが開示されていることが認められる。間」を意味し,構成要件エの「せき止め空間のない」とは,液体が淀まないこと,あるいは流体の流速がほぼ0になっている空間がないことを意味する旨主張する。倍程度の低い高さしか有しない構成」と解すべきである旨主張するので,以下において検討する。本件発明1の特許請求の範囲(請求項1)には,「せき止め空間」あるいは「せき止め空間のない」の用語を規定する記載はない。分野に係る流体力学の分野における学術用語ではなく,通常使用されている用語でもない(甲21の3頁,乙14の12頁~13頁)。方で,「せきとめる」には,一般に,「さえぎりとめる。合」を意味するが(甲21の資料8(「改訂版流体の力学」)の64頁),これらの意味から直ちに「せき止め空間」あるいは「せき止め空間のない」の用語の意義を見出すことはできない。そこで,本件明細書の記載事項を参酌するに,本件明細書には,「せき止め空間」あるいは「せき止め空間のない」に関し,1従来技術である「ヨーロッパ特許出願公開第0515983号明細書」に示された装置においては,「空間」(水入口とノズル入口に対して空間を閉じるフォーカスレンズとを有する水空間)は,「水ビームのためにその中にある水が,擬似的に静止状態に・・・構成されている。起こすことがわかった。c),2上記装置においては,「ノズル通路入口の上のフォーカス円錐先端の範囲に,熱レンズが生じ,・・・それによりフォーカス円錐内のレーザービームの一部は,・・・とくにここにおいて利用された液体せき止め空間の方に向いたノズル表面に当たる。e),3「ヨーロッパ特許出願公開第0515983号明細書において利用された。発明」による装置においては,「加熱時間をそもそもできるだけ短く維持するために,液体が,レーザービームのフォーカス円錐の範囲から,とくにその先端範囲からできるだけ迅速に運び出される。明らかに最善の結果は,わずかな吸収を有するフォーカス円錐における液体の短い滞在時間の際に達成される。h),「熱レンズの形成を助長する液体せき止め空間が避けられる。液体供給空間35は,ノズル入口開口30の周囲にせき止め空間として作用する液体空間を持たない。」(同m)との記載がある。囲におけるノズルの壁に管理できない損傷を引起こす」作用を有するものとして用いられていることを理解できる。止状態」あるいは「擬似的に静止状態」にないことをいうものと解される。成が抑圧される」程度に流速が高いことを意味するものと解される。間のないように導かれ」る構成によってもたらされることによれば,被告製品を使用する加工方法における構成要件エないしカの充足性を判断するに当たっては,各構成要件を個別に検討するのではなく,これらを一体的なものとして判断するのが妥当である。認定した本件明細書に開示されている本件発明1の技術的意義からみても合理性があるというべきである。原告は,構成要件エの「せき止め空間」とは,液体静止状態の空間,すなわち,「液体の流速がほぼ0の空間」,言い換えれば,「液体が淀んでいる空間」を意味し,構成要件エの「せき止め空間のない」とは,液体が淀まないこと,あるいは流体の流速がほぼ0になっている空間がないことを意味する旨主張する。成の抑圧」がされることを一体的なものとして,作用的,機能的に捉えていることに鑑みれば,「せき止め空間」あるいは「せき止め空間のない」の意義を単に液体の流速との関係だけを捉えて解釈する原告の上記主張は,採用することができない。用語がいずれも技術的に不明瞭であることを出発点として,構成要件エの「せき止め空間のない」とは,「液体供給空間の高さが,ノズルの直径の半分ないし数倍程度の低い高さしか有しない構成」と限定的に解すべきである旨主張する。,「せき止め空間」及び「せき止め空間のない」という語を液体供給空間の高さに関する数値的な限定を加える語と理解することは,請求項1の文理に照らし,明らかに不自然である。記限定がされたことから直ちに被告主張の限定解釈の正当性が裏付けられるものではない。したがって,被告の上記主張は,採用することはできない。原告は,被告製品を使用する加工方法は本件発明1の構成要件エないしカをいずれも充足する旨主張するので,原告が挙げる上記主張の根拠について,以下において順次検討する。告製品を使用する場合,その液体貯留室へ供給される「液体が,ノズル入口開口の周りにおいてせき止め空間のないように導かれ」ているものといえるから,被告製品を使用する加工方法は,構成要件エを充足する旨主張する。告の主張は,その前提において誤りがあるといわざるを得ない。間(液体貯留室)における液体の流速分布ひいては原告主張のせき止め空間の有無を判断することはできない。果と甲15のシミュレーションの結果との対比により,原告主張のせき止め空間の有無を判断することもできない。乙14の資料7の図1(乙7に記載されている装置のモデルの液体供給空間のシミュレーションの結果を示したもの)においては,フォーカス円錐先端範囲における液体の流速が0.0~2.5cm/s(0~0.025m/s)となっている空間があることが示されており,これは,乙7に記載された装置においても原告主張のせき止め空間が存在することをうかがわせるものといえる。この点に関し,甲31(B教授作成の平成23年3月31日付け陳述書)中には,乙14の資料7の図1について,「シミュレーションによって得られた速度の大きさが色分けされておりますが,ベクトルプロットが示されていないため,どのような流れになっているか具体的に分かりません。」(3頁末行~4頁2行)との記載があり,これは,乙A1記載の装置のシミュレーションについては,甲15のようにベクトルプロットを示した図から,液体供給空間の上部に再循環領域があることが見て取れるものの,乙14の資料7の図1では,再循環領域の有無を確認できないことを問題視する趣旨の指摘であるものと解される。他方で,原告において乙14の資料7に開示された当該装置の寸法を基にシミュレーションを行い,ベクトルプロットを示した図を示すなどして反証を行うことも必ずしも困難なことではないにもかかわらず,そのような反証を行っていないことに照らすならば,甲31記載の上記指摘を勘案しても,乙14の資料7が示すシミュレーション結果についての上記評価が左右されるものではないというべきである。したがって,原告の上記1及び2の主張は,採用することができない。生するような構造になっていないから,「せき止め空間」が発生しない旨主張する。,「はく離域」や「再循環領域」という概念自体は,流体力学の分野では慣用されており,そのような「域」においては,流速が遅くなる点が生じるものといえるが(甲21,乙14,弁論の全趣旨),逆に,「はく離域」や「再循環領域」が存在しない空間においては流速が遅くなる点が存在しないことが技術常識であることを認めるに足りる証拠はない。端範囲(の領域)において,ノズル壁の損傷に至る原因となる熱レンズの形成を抑圧する程度に液体の流速を十分に高くし,当該液体が「静止状態」あるいは「擬似的に静止状態」にないように導かれていることを認めることはできない。したがって,原告の上記3の主張は,採用することができない。品においては,ノズル壁を損傷する程度の熱レンズが形成されることはない旨主張するので,以下において検討する。Laser-Microjet」(訳文・「レーザ・マイクロジェットにおける熱レンズ効果」)と題する書面(甲32)は,グリンレーザー(532nm波長)と熱レンズの実験結果を記載した実験結果報告書であり,同書面には,次のような記載がある。はじめにこのレポートは水ジェット誘導レーザーシステム(レーザー・マイクロジェット,あるいはLMJ)における熱レンズの影響を評価したものである。部でのレーザースポットが大きくなり,このことによるノズルの寿命が短くなる。本報告はこの現象が1064nmより水の吸収が少ない532nm波長のレーザーにも成り立っていることを示す。淀み空間のノズル寿命に対する影響を確認するために,以下の二つのチャンバーを用いて実験を行った。a)高さ(H)25mm,直径25mm,流入口は直径1.5mmで一箇所だけ側壁についている。b)Synovaの水チャンバー,高さ0.5mm,直径10mm,側方24箇所から均等に直径1mmの流入口を持つ。以下の実験では全て波長532nm,平均レーザー出力100W,パルス繰り返し周波数10kHzを用いた。100μmの光ファイバーにカップリングさせた。ファイバー端でのレーザービーム発散の半角θは0.088radである。)は下記の式で計算される。=...=41.7μmチャンバーでのビーム拡がり半角は0.16radである。100気圧の超純水を二種類のチャンバーに供給した。...ビームウェストが正確にノズルオリフィスにアライメントされるように,チャンバーをビームに対して垂直,水平に動かして水ジェットに伝達されるレーザー強度を最適化した。上記の実験構成で大きなチャンバーとSYNOVAチャンバーでノズル寿命を測定した。著な違いが認められた。a)大きなチャンバーでは5個の異なる測定したノズルの寿命は最大で240秒であったが,b)SYNOVAチャンバーではノズル破壊は認められなかった(600秒後に実験終了)。文献値によると532nm波長では1064nmより相当小さな吸収しか起きない。このことは決まった距離に対してより小さな強度減少(即ちパワー密度)しかもたらさないことを意味する。熱効果による焦点ずれは,吸収されるエネルギーに依るものであり減少したエネルギー強度によるものではない。...このことにより水は非常に局所的に加熱され,レーザービーム中に大きな熱勾配を発生する。収による大きな熱勾配が存在することがわかる。レーザーのエネルギーは吸収係数だけではなく,照射の時間にも依存する。吸収されるエネルギーは,連続波であれ,パルスであれ時間と伴に増加する。領域では強度が増加する。決注・「ノズルよりはるかに」の誤記と認める。)小さくても,ノズルエッジにもたらされる。熱によりビームウェストでビームが拡がり平坦化するので,ビームの周辺にはよりパワーがもたらされる。増加した光学パワーがノズルエッジで吸収され,応力が増加する。これらの応力があるパワー以上でパルス的に周期的に負荷されるとノズルを劣化させると同時に水ジェットを不安定にする。破壊が起こるまでの時間はノズルオリフィスに対するビームウェストのアライメント(中心あわせ)の正確さに依存する。本報告書の第2節にある実験により,80μmノズルの寿命はチャンバーの構造に大きく依存して変わることがわかった。大きなチャンバーを使うとノズル寿命が短くなり,SYNOVA特許の淀みのないチャンバーだと長いノズル寿命が得られる。解析的な結果では,大きなチャンバーでは532nmにおいても熱レズ効果(判決注・「熱レンズ効果」の誤記と認める。)が発生しうることを示した。この効果によりノズル開口部でレーザースポットが大きくなりノズル破壊に至る。寿命化が起こることは疑いがない。果報告書であり,同書面には,次のような記載がある。実験条件Picture1は,今回の実験に用いた光学系の配置を示すが,これは,前回(判決注・甲32の実験)と同じものである。選択された80μmノズル口径に対してノズルオリフィスでのビームスポットサイズが50μmになるようにした。この光学系で異なるレーザー出力レベルで2つの実験を行った。以下のノズルの写真は,実験前後に撮影され,比較結果を示すものである。効果による焦点ボケのノズルへの影響した損傷を,Picture3のオリフィス境界の左下に明瞭に目視することができる。実験前の整った境界...は,実験後には,荒れて,層流水ジェットを作り出すことはできない。このように水が淀んでいると,熱効果による焦点ボケを引き起こした。532nmにおける僅か40Wの出力でもノズルを損傷させた。この結果の後,同じ条件,但し,532nmのレーザーでレーザー出力のみ20Wに下げて実験を行った。実験前後の結果をPicture4と5にそれぞれ示す。果による焦点ボケによりノズルが損傷を受けている。「...高出力のレーザーを(訳注:水中の)ノズルに意図的にアライメントをずらせて照射した場合を視覚化するための実験を行った。これにより,アライメントをずらせた場合とレーザービームの熱効果による焦点ボケの場合との違いが示される。ここでは,標準的な装置(ここでは示さない)を用いノズルオリフィスに対して意図的にずらし,40Wのグリーンレーザーを照射した。明らかに,ノズルは直ぐに損傷を受けた。後における損傷の激しさを示すノズル写真をPicture6,7にそれぞれ示す。理論的分析...今回の実験で,レーザーの出力が小さくても,(訳注:水の流れの)淀みのない構造の光と水のカップリング・ユニットを使わない限り(訳注:ノズルに対して)損傷をもたらすことが示された。確かに,ある範囲では,より程度が大きいあるいは小さい淀み空間と都合のよいレーザー出力の組み合わせにより,ノズルの損傷を回避することは可能かもしれない。効果による焦点ボケを避けることは明確に利点がある。そのことにより如何なる種類のレーザー光に対しても,パラメーター条件を広くすることができるからである。果を記載した試験成績通知書であり,同通知書には,次のような記載がある。YAGレーザ1064nm(20kHz)...レーザ吸収試験は,各レーザを上記レーザ出力でガラスビーカー(50ml)中の水(50ml)に照射して,ガラス容器の表面温度を表面温度計(T型熱電対)で測定した。ガラス容器表面の温度は照射前(0分),3分後,10分後,30分後の温度をデータロガーに記録した。「1-2.試験結果...次に,各レーザ照射前(0分),3分,10分,30分後のガラスビーカーの表面温度の測定結果を表2に示す。51.6」(以上,2頁。上記2は,乙16の「表2」の罫線等を省略して表記している。被告従業員C作成の平成22年11月1日付け陳述書(乙17)には,乙16の試験結果に関し,次のような記載がある。「表2(判決注・乙16の「表2」)は,表面温度計によって測定された温度の時間に対する変化を示しています。大きく,YAGレーザーの基本波では水温が急激に上昇しているのに対し,グリーンレーザーでは水温が緩やかに上昇しています。あることが確認されました。「なお,本レーザー光の水に対する吸収試験では,グリーンレーザーを使用した場合にも水の温度は上昇していますが,実際の被告製品WbMでは,液体供給空間内の水の温度上昇は無視できる程度です。このため,実際の被告製品の液体供給空間内において,この試験で測定されたような温度上昇が発生することはありません。試験結果を記載した試験成績通知書であり,同通知書には,次のような記載がある。試験装置:レーザー・ウォータージェット複合加工機:(株)スギノマシン製WbM4032...試験条件:ウォータージェットノズル径:φ100μm水圧:10MPa使用液体:純水コリメートレンズ焦点距離:250mm集光レンズ焦点距離:50mm液体貯留室高さ:10,15,25mm試験時温度:室温レーザー波長(発振周波数):グリーンレーザー532nm(10kHz)レーザー入力設定値:40W(実測値39.6W)...試験は,液体貯留室(ウォータージェット噴射ノズルの手前で水を留める空間)の内部高さ(H)を10,15,25mmと変え,それぞれについて5分毎に30分間ウォータージェット透過後のレーザー出力(W)をレーザーパワーメータにより測定した。液体貯留室透過前のレーザー出力も測定した。加えて,試験開始時(0分経過)と試験終了時(30分経過)でステンレス板(厚さ0.1mm)の加工を行った。貯留室高さ(H)が10,15,25mmの場合のウォータージェット透過後のレーザー出力測定結果を表1に,グラフを図3に示す。」(3頁),「...すべての貯留室高さにおいて,ステンレス板(厚さ0.1mm)をφ10mmの円盤状に切り出した加工ワーク外観を写真2に示す。被告従業員C作成の平成23年6月1日付け陳述書(乙31)には,乙30の試験結果に関し,次のような記載がある。「試験結果は試験成績通知書の表1及び図3に示されています。実験終了後,ノズル壁の損傷も見られませんでした。「試験成績通知書の写真2は,透過試験の前後に加工したステンレス板の写真です。この加工は,厚さ0.1mmのステンレス板を直径10mmの円形に切り抜くもので,1つの円形の加工時間は約6.5秒でした。写真から明らかなように,ステンレス板の加工状態は30分の導光の前後で特に変化はなく,バリ等のない良好な切断面が得られています。このことからも,30分の導光によりノズル壁に損傷がないことは明らかです。体ビーム内に光学的に結合する装置において,レーザービームとしてグリーンレーザーを使用する場合に,液体ビームを形成するノズルの壁を損傷する程度の熱レンズが液体供給空間に形成されることがあり得るかどうかについて検討する。口は直径1.5mmで一箇所だけ側壁についている。)においては,グリーンレーザーを使用した場合であっても,ノズル壁を損傷する程度の熱レンズが形成されることがあり得るものと推認される。これらの記載は,グリーンレーザーを使用した乙30の試験においては,レーザービームの照射開始後30分経過時までにノズル壁の損傷が生じなかったことを示すものといえる。甲32及び35の各実験と乙30の試験を対比すると,甲32及び35の各実験では直径80μmのノズルが使用されているのに対し,乙30の試験では直径100μmのノズルが使用されていること,甲32及び35の各実験ではビームスポット径が明らかにされている(41.7μm,50μm)のに対し,乙30の試験ではこれが明らかにされていないことなどに照らすならば,甲32及び35の各実験と乙30の試験では,実施条件が同一であるとはいえないことがうかがわれ,両者の実験結果及び試験結果は必ずしも矛盾するものと断定することができるものではない。すると,乙30の試験結果をもって上記推認を妨げるものではないというべきである。以上によれば,レーザービームとしてグリーンレーザーを使用した場合であっても,液体供給空間内にノズル壁を損傷する程度の熱レンズが形成されることがあり得るものと認められる。告製品の液体貯留室内のフォーカス円錐先端範囲においては,レーザービームの一部がノズル壁を損傷しないところまで,熱レンズの形成が抑圧される程度に,流速が十分に高いものといえる旨主張する。件オの「液体の流速が,十分に高く」とは,上記「せき止め空間のない」構成を採用したことにより,「フォーカス円錐先端範囲において,レーザービームの一部がノズル壁を損傷しないところまで,熱レンズの形成が抑圧される」程度に流速が高いことを意味する。体を供給する圧力,液体供給空間の高さ等の諸条件にも依存するものと考えられる(甲2,32,35,甲A5,乙16,17,30ないし32,弁論の全趣旨)。囲において,レーザービームの一部がノズル壁を損傷しないところまで,熱レンズの形成が抑圧される」程度に流速が十分に高くされたことによってもたされたものであることを明らかにする必要があるというべきである。しかるところ,本件の全証拠によっても,そのような事実を認めるに足りない。この点に関し,被告従業員のCの平成22年11月1日付け陳述書(乙17)中には,「...WbMでは,液体供給空間内の水は常にノズルから噴射されているので,この試験において温度上昇を観測している時間よりも遙かに短い時間で新しく流入した水と入れ替わります。定されたような温度上昇が発生することはありません。間内において,この試験で測定されたような温度上昇が発生することはありません。端範囲において,レーザービームの一部がノズル壁を損傷しないところまで,熱レンズの形成が抑圧される」程度に流速が高いことによってもたされたものであることをうかがわせる事情となるものではない。他にこれを認めるに足りる証拠はない。したがって,原告の上記主張は,採用することができない。置の液体貯留室の構造を用いた実験を行うことは可能であるものとうかがわれる。記bの判断を左右する事情には当たらない。件発明1が従来技術と比較して技術的に意義を有するのは,熱レンズの形成をできるだけ抑圧することで,熱レンズによって発散されてノズル壁に当たるレーザービームの量を減少させて,層流から成るビームガイドとして機能する液体ビームが形成できなくなる程度の損傷に至るまでのノズル壁の寿命,すなわち時間的な耐久性を相対的に延ばしたことにあるというべきである。成要件エないしカを充足することの立証には,このような観点からの困難が伴うものといわざるを得ない。以上のとおり,被告製品を使用する加工方法は本件発明1の構成要件エないしカをいずれも充足するとの原告の主張を認めるに足りる証拠はない。足するものと認められないから,本件発明1の技術的範囲に属するものと認めることはできない。とおり,被告製品を使用する加工方法は構成要件エないしカを充足せず,本件発明1の技術的範囲に属するものと認めることはできないから,被告製品は,本件発明5の構成要件コないしシ(構成要件サ及びシは,それぞれ構成要件オ及びカと同内容である。)を充足するものとは認められない。したがって,被告製品は,本件発明5の技術的範囲に属するものと認めることはできない。前記アのとおり,被告製品は,本件発明5(請求項5)の技術的範囲に属するものと認めることはできないから,本件発明10の構成要件ソの「請求項5ないし9の1つに記載の装置」を充足するものとは認められない。したがって,被告製品は,本件発明10の技術的範囲に属するものと認めることはできない。まとめ以上のとおり,被告製品を使用する加工方法は,本件発明1の技術的範囲に属するものと認めることはできず,また,被告製品は,本件発明5及び10の技術的範囲に属するものと認めることはできない。的とする加工装置である。加工ヘッド部の構成(別添模式図2参照)略円筒形状に形成されたハウジング5と,ハウジング5内の上部に収容された光学装置2と,光学装置2の下方に配設された液体貯留空間と,下方に配設されたノズル7と,からなる。光レンズ13と,液体貯留空間の上方に隣接して配設されレーザー光11を導入するウインド14と,からなる。ノズル部の構成(別添模式図2-2参照)ノズル7は,いわゆるオリフィスノズルを使用している。ノズル径は40~200μmのものが使われる。液体貯留空間は,液体供給手段3から供給された噴流液体である高圧水を貯留してノズル7に供給する液体貯留室23を備えている。液体貯留室23は,ノズルの軸線G方向下流側が上流側よりも縮径された逆円錐台形状として形成されている。連絡流路22の外周面と液体貯留室23の外周面とは,段差がなく同一面上に連続するように延設されている。外周面に沿う方向は,ノズル7の軸線G方向に対して内側(ノズル7側)に傾斜している。かかる構成により,分配流路21に貯留された高圧水は連絡流路22から液体貯留室23の外周面の傾斜を伝わるように導入されることで,流体の流れが整えられ,液体貯留室23に貯留されノズル7に高圧水が供給される。ポンプ高圧水ポンプは,サーボ駆動式のポンプを採用し,ポンプの吐出圧力を検出して吐出圧力が一定となるようにフィードバック制御を行なうことで,サーボモータとボールねじにより一定の流速で水を押し出すように構成されている。このような構成により,安定した高圧水の流れを発生して液体貯留室23に送り出すことができる。高圧水ポンプの仕様としては(甲8)発生圧力2~50MPa,最大流量0.5L/minのタイプが使用され,高圧水ポンプで発生した高圧水は高圧ホースを通して加工ヘッド6に供給される。本装置で典型的に用いられているグリーンレーザー(532nm)を得るための通常のレーザー発振器1を使用している。レーザー発振器1は(甲8記載のとおり)LD励起パルスレーザーを使用。この場合,平均出力20~100W,パルス周波数5~20kHzの仕様となる。レーザー光11は,レーザー発振器1から光ファイバ10を通して加工ヘッド6に導かれる。