浦中克己)は、2020年、新技術を採用した最新半導体製造リソグラフィ用光源、ArF液浸用レーザー「GT66A」とKrFレーザー「G60K」の2機種を、新製品としてラインナップすると発表しました。近年のIoTの普及やAIの実用化による半導体用途拡大に伴い、半導体チップには通信速度のさらなる高速化とより大量のデータ処理が求められています。ロジックICや、爆発的に増加するデータを保存する大容量メモリチップが必要となります。新型ArF液浸用レーザー「GT66A」は、新開発の光学モジュールを搭載することで空間的なコヒーレンスを低減し、露光面でのビーム均一性を改善することに成功しました。02月19日(水)16:0019日の国内の有感地震(震度1以上)は4回。