1ポート31及び第2ポート32を連通する主流路331が形成された本体部30と、本体部30に対して主流路331を流れる排気をニードル弁7により調整可能にするスピードコントローラ5を備える給排気調整装置3において、主流路331に対してバイパス流路332が形成されていること、バイパス流路332を流れる排気を調整可能にするリリーフ弁6を有する。前記複数の給排気調整装置が直列的又は並列的に配置されていること、を特徴とする給排気調整システム。半導体製造装置において、薬液を制御するエアオペレイトバルブ等のエアを給気供給加圧又は排気調整する装置として用いられている。エアシリンダ等のエアを給気供給加圧又は排気調整する装置として用いられる。エアオペレイトバルブ等については、エアを給気供給加圧又は排気することにより弁体を弁座に当接または離間させることができる。エアオペレイトバルブでは、一般に、弁閉時にウォータハンマ現象を引き起こすことがある。【0003】ここで、ウォータハンマ現象について簡単に説明する。エアオペレイトバルブにおいて、出力ポート側に向けて流路を流れている流体は、弁体を急激に弁閉させると、弁閉直後においても、流体の慣性力により、なおも弁体より出力ポート側の流体流路に流れようとする。すると、出力ポート側の流路では流体は負圧となり、正圧に戻るときに衝撃を発するウォータハンマ現象が生じる。ウォータハンマ現象が起きると、流体制御弁と接続する配管等が振動して、当該エアオペレイトバルブ自体や、この弁周辺の配管部材、配管上の計測機器類等に破損や不具合を引き起こす恐れがある。そこで、このようなウォータハンマ現象の発生を抑制または阻止するため、様々な工夫がなされたものが開示されている(例えば、特許文献1、2参照)。特許文献1に、操作圧力により動作する逆止弁と、ニードル弁が備えられたエアオペレイトバルブが記載されている。特許文献1のエアオペレイトバルブの主弁体を主弁座に当接されるため弁閉動作を開始した第1排気状態において、逆止弁は弁開状態にある。そのため、逆止弁を挿通したエアは、大気に開放される。その結果、エアオペレイトバルブの主弁体は主弁座方向へと下降する。続いて、エアオペレイトバルブの主弁体が主弁座に近づいた状態の第2排気状態において、逆止弁は弁閉状態となる。エアはニードル弁を介して少量ずつ排気される。したがって、特許文献1のエアオペレイトバルブによれば弁閉状態に近い第2排気状態になるとエアはニードル弁を介して少量ずつ排気される。そのため、主弁体は主弁座に対してゆっくりと当接する。したがって、ゆっくり当接することにより、ウォータハンマの発生を抑制することができる。特許文献2には、エアオペレイトバルブにリリーフ弁を形成することで、第2排気状態をリリーフ弁により排気する。【0007】しかしながら、従来技術には、以下の問題があった。特許文献1のエアオペレイトバルブは、逆止弁が一体に形成されている。逆止弁が一体に形成されていると、使用状況に応じて第1排気状態における排気を調整することができない。特許文献2のエアオペレイトバルブでは、第1排気状態における排気を調整することができない。そのため、エアオペレイトバルブの大きさが異なる場合や、使用状況あるいは仕様によって複数の空気圧を用いるような条件が異なる場合においては、その都度専用のエアオペレイトバルブを用意しなければならないため問題となる。エアオペレイトバルブを様々な仕様に合わせ個別に設計することはコストアップにつながり問題となる。エアシリンダについても、使用状況あるいは仕様によって排気を調整し開閉時間を調整することを希望する場合がある。び給排気調整システムを提供することを目的とする。び給排気調整システムは、以下の構成を有する。(1)第1ポート及び第2ポートを連通する主流路が形成された本体部と、前記本体部に対して前記主流路を流れる排気をニードル弁により調整可能にするスピードコントローラを備える給排気調整装置において、前記主流路に対してバイパス流路が形成されていること、前記バイパス流路を流れる排気を調整可能にするリリーフ弁を有すること、を特徴とする。【0010】(2)(1)に記載する給排気調整装置において、前記リリーフ弁及び前記ニードル弁を用いて排気する第1排気状態と、前記リリーフ弁を弁閉し、前記ニードル弁のみを用いて排気する第2排気状態と、を有すること、が好ましい。【0011】(3)(1)又は(2)に記載する給排気調整装置において、前記リリーフ弁及び前記ニードル弁の弁開度を調整することにより、前記第1ポートから排出される前記排気の排気時間を調整すること、が好ましい。【0012】(4)(2)に記載する給排気調整装置において、前記第1排気状態及び前記第2排気状態を有することにより多段階的に排気することができること、が好ましい。【0013】(5)(1)乃至(4)のいずれか一つに記載する給排気調整装置において、ウォータハンマを抑制することができること、が好ましい。【0014】(6)(1)乃至(5)のいずれか一つに記載する給排気調整装置において、ノーマルオープンタイプ又はノーマルクローズタイプであること、が好ましい。【0015】(7)(1)乃至(6)のいずれか一つに記載する給排気調整装置において、エアオペレイトバルブが一体であること、が好ましい。【0016】(8)(1)乃至(6)のいずれか一つに記載する給排気調整装置において、ソレノイドバルブが一体であること、が好ましい。複数個備えられていること、前記複数の給排気調整装置が直列的又は並列的に配置されていること、が好ましい。び給排気調整システムの作用及び効果について説明する。(1)主流路を流れる排気を調整するニードル弁と、主流路に対して形成されたバイパス流路を流れる排気を調整可能にするリリーフ弁とを有する。ニードル弁とリリーフ弁はともに排気を調整することができるため、ピストンを有する機器に対する排気を使用状況に応じて調整することができる。排気を使用状況に応じて調整することができるため、エアオペレイトバルブ等の弁閉時間を短くすることができる。弁閉時間を短くすることで、半導体製造装置において半導体を従来よりも多く生産することができ生産性を向上させることができる。弁閉時間を短くすることにより、正確な薬液等の供給ができるため半導体の品質を向上させることもできる。リリーフ弁及びニードル弁を有するため、エアオペレイトバルブ等の大きさが異なる場合や、現場によって複数の空気圧を用いるような条件が異なる場合においても、エアオペレイトバルブ等の弁閉時間を調整し短くすることができる。そのため、エアオペレイトバルブ等について専用品を用意する必要がないためコストダウンをすることができる。排気を使用状況に応じて調整することができるため、エアシリンダの動作時間を短くすることができる。【0019】(2)上記(1)に記載する作用効果のほか、リリーフ弁及びニードル弁を用いて第1排気状態で排気することにより、排気エアを多量とすることができる。そのため、エアオペレイトバルブ等に本給排気調整装置を用いた場合には、主弁体を主弁座方向に素早く移動させることができる。リリーフ弁を弁閉し、ニードル弁を用いて第2排気状態で排気することにより、排気エアを少量とすることができる。そのため、エアオペレイトバルブ等の主弁体と主弁座が当接する手前から主弁体の移動速度が遅くなり、主弁体を主弁座に対してゆっくり弁閉させることができる。主弁体を速く閉じたい部分では第1排気状態となり排気エアを多量とすることができ、主弁体をゆっくり閉じたい部分では第2排気状態なり排気エアを少量とすることができる。第1排気状態において排気エアを多量としたい場合には、リリーフ弁を調整し、排気量が多い時間を長くすることができる。リリーフ弁を調整し排気量が多い時間を長くすることにより、主弁体を主弁座方向に素早く移動させることができる。【0020】(3)(1)又は(2)に記載する作用効果のほか、リリーフ弁及びニードル弁の弁開度を調整することができることにより、第1ポートから排出される排気の排気時間を調整することができる。リリーフ弁及びニードル弁の弁開度を調整し排気を調整できるため、主弁体と主弁座の当接するために必要とされる排気の排気時間を調整することができる。排気の排気時間を調整することができることにより、エアオペレイトバルブの主弁体が主弁座に当接する時間を調整することができるため、エアオペレイトバルブをウォータハンマが起きることなく素早く弁閉させることができる。排気の排気時間を調整することができるため、エアシリンダ等を用いた場合には、動作時間を調整することができる。【0021】(4)(2)に記載する作用効果のほか、第1排気状態及び第2排気状態を有することにより多段階的に排気することができる。第1排気状態と第2排気状態で排気の流量が異なる。そのため、第1排気状態と第2排気状態とではエアオペレイトバルブの開閉速度を多段階的に変更することができる。エアシリンダの動作速度を多段階的に変更することができる。【0022】(5)(1)乃至(4)に記載する作用効果のほか、ウォータハンマを抑制することができる。多段階的に排気することができるため、第1排気状態では排気を多量に行い、第2排気状態では排気を少量行うことにより、弁閉時の弁体の速度をゆっくりすることができる。それにより、ウォータハンマを抑制することができる。【0023】(6)(1)乃至(5)に記載する作用効果のほか、給排気調整装置をノーマルオープンタイプ又はノーマルクローズタイプとして使用することができるため、作業現場において臨機応変に使用することができる。【0024】(7)(1)乃至(6)に記載する作用効果のほか、エアオペレイトバルブが一体であることにより、エアオペレイトバルブの第1排気状態及び第2排気状態における弁閉時間を調整することができる。エアオペレイトバルブと給排気調整装置を結ぶ配管が必要なくなるため省スペース化を図ることができる。【0025】(8)(1)乃至(6)に記載する作用効果のほか、ソレノイドバルブが一体であることにより、ソレノイドバルブと給排気調整装置を結ぶ配管が必要なくなるため省スペース化を図ることができる。【0026】(9)(1)乃至(8)に記載する作用効果のほか、給排気調整装置が複数個備えられていること、複数の給排気調整装置が直列的又は並列的に配置されていることにより、エアオペレイトバルブ等を多段階的に動作可変することができる。第1給排気調整装置が第2給排気調整装置への流体の供給量を調整することができ、さらに第2給排気調整装置がエアオペレイトバルブ等への流体の供給量を調整することができるため、多段階的に動作可変することができる。【図1】本発明に係る給排気調整装置のエア給気時の断面図である。【図2】本発明に係る給排気調整装置のエア排気時(第1排気状態)の断面図である。【図3】本発明に係る給排気調整装置のエア排気時(第2排気状態)の断面図である。【図4】本発明に係る給排気調整システムの全体構成図である。【図5】本発明に係る給排気調整装置を用いた場合のエアオペレイトバルブの操作圧力(排気圧力)と時間との関係を表した図である。【図6】従来技術に係るスピードコントローラを用いた場合のエアオペレイトバルブの操作圧力(排気圧力)と時間との関係を表した図である。【図7】本発明に係る給排気調整システムの変形例1の全体構成図である。収集に関しては慎重に行っておりますが、もし掲載内容に関し異議がございましたらお問い合わせください、速やかに情報を削除させていただきます。