Series冷却測定方式の流量センサを搭載した高精度液体デジタルマスフローコントローラ&メータ。マイクロリッターからの微少流量制御が可能。Seriesノンキャリアタイプのコンパクト液体材料気化システム。TEOS気化システムのベストセラーモデル。OZ-96生産終了いたしました。後継機種は溶存オゾンモニタHZ-960をご参照ください。インライン・マルチモニタリング。マルチバス、ワンバス、枚葉各方式の洗浄装置に対応。CS-153CS-153は、半導体ウェットエッチングプロセスの厳しいニーズに対応するため開発された高精度な薬液濃度モニタです。酸化膜とともに金属不純物を除去するために使われるFPM溶液(HF/H2O2/H2O)の各成分濃度をリアルタイムで測定し、アラームで薬液交換や自動補給するタイミングを知らせます。これによりFPM溶液の濃度を許容範囲に保つとともに無駄な溶液交換をなくすことができます。分野において、幅広く活用されています。高周波方式グロー放電を採用しているため、非導電性試料でも表面分析が可能です。Efficiency)ラマンプロセスシステムはプロセスコントロールのためにハイスループットで安定したシステムとして開発されました。内部の光学部品が全て固定されており外観も頑丈でコンパクトに設計され、極力メンテナンスを少なくし操作も簡単にすることでプロセス現場からの要望に完全に応えています。CS-153NCS-153Nは、半導体ウェットエッチングプロセスの厳しいニーズに対応するため開発された高精度な薬液濃度モニタです。シリコン酸化膜のエッチングのために使われるHNO3/HF溶液(HNO3/HF/H2O)の各成分濃度をリアルタイムで測定し、アラームで薬液交換や自動補給するタイミングを知らせます。>価格は仕様により異なりますので、別途お見積もりいたします。「見積・資料・お問い合わせ」よりお申し込みください。カスタマーサポートセンターでは、お電話でも製品の技術的なご質問や仕様のご相談を承ります。アクセシビリティサイトマップ。