[0001]【発明の属する技術分野】本発明は、レーザ加工におけるレーザ装置に使用するレーザ装置用光学レンズ及びそのレンズを用いたレーザ装置に関する。2ガスレーザやYAGレーザ)が広く用いられている。一般の加工方法に比べて、レーザ加工は、精密でかつ高速な加工が可能であるという特質を有する。加工能力を増すためには、レーザビームの大出力化が計られ、それに伴ない、使用される光学レンズの熱歪みが問題となってきた。従来の光学レンズは一体の固体材料で構成されており、レーザビームの吸収により、レンズ内部に熱がこもりやすく、熱膨脹して焦点がずれ、材料への照射エネルギー密度変動により加工精度の低下が発生している。doing.【0003】また大出力の加工に限らず、低出力の加工においても、長時間に渡る加工では、同様の問題が生じている。時には、レンズそのものにクラックが入ることがあり、加工が停止し、製品がだめになったり、製品精度が低下したりすることがある。lowered.【0004】図7に従来のレーザ装置用光学レンズを示す。図7において、光学レンズは、所定の材料で所定の形状に形成された中満のレンズ本体41が金属フレーム42によって支持されて構成されている。lens,レンズ外周部に冷却水を流すなどの対策を行ってはいるが、レンズ内部への熱の蓄積を防止するのに十分な対策はされていないのが現状である。[0006]【発明が解決しようとする課題】このような従来技術では、光学レンズの熱歪みによる変形やこれに伴うレンズ特性の変化を防止することができず、レーザビームエネルギー照射の微妙な制御ができなくなり、加工精度の低下が生じ、また、場合によっては、加工不良の発生により、材料やエネルギーの無駄が発生し、レンズそのものが破損したりしていた。このような状況では、レーザ加工の精度向上に限界が生じる。processing.【0007】そこで、本発明の目的は、上記従来技術の有する問題を解消し、熱歪みを受けず、レーザ加工精度を低下させることなく大出力で長時間の加工を可能にし、かつ、損傷が少なく耐久性を有する低コストのレーザ装置用光学レンズを提供することである。[0008]【課題を解決するための手段】上記目的を達成するために、本発明のレーザ装置用光学レンズは、所定レンズ面を有する中空のレンズ容器と、このレンズ容器内へ流入するとともに流出する液体状のレンズ流体とを備えることを特徴とする。fluid.【0009】また、好適には、前記レンズ流体は、前記レンズ容器へ流入される前に冷却手段により冷却されている。container.【0010】また、好適には、前記所定レンズ面は対向する二分された上側レンズ面部と下側レンズ面部とから形成されており、前記上側レンズ面部と前記下側レンズ面部との間隔は可変である。there.【0011】また、好適には、前記レンズ流体を前記レンズ容器に流入させる流入口と前記レンズ容器から前記レンズ流体を流出させる流出口とが、前記レンズ容器の側部の対向する位置に形成されている。ing.【0012】また、本発明のレーザ装置は、二分された対向する上側レンズ面部と下側レンズ面部とから形成された所定レンズ面を有する中空のレンズ容器と、このレンズ容器内へ流入するとともに流出する液体状のレンズ流体とを備える光学レンズと、前記レンズ容器内へ前記レンズ流体を流入流出させる循環ポンプと、前記レンズ流体を冷却する冷却手段と、前記上側レンズ面部と前記下側レンズ面部との間隔をレンズ間隔調整手段とを備えることを特徴とする。interval.【0013】上記のような構成を有する本願発明のレーザ装置用光学レンズにおいて、レンズ流体をレンズ容器中へ流入させるとともにレンズ容器中から流出させることにより、レンズ容器中にレンズ流体は局在しないので、例えばレーザ装置において頻繁に使用された場合においても、レンズ流体で吸収された熱を光学レンズの外部へ除去することが可能になる。lens.【0014】レンズ流体がレンズ容器へ流入される前に冷却しておくことにより、レーザ光の吸収によりレンズ中に歪み等の生じることを効率的に回避することができる。beam.【0015】上側レンズ面部と下側レンズ面部との間隔は可変であるので、所望の焦点距離の光学レンズを容易に構成することができる。lens.【0016】流入口と流出口とをレンズ容器の側部の対向する位置に形成したので、レンズ流体をレンズ容器内を循環し易くできる。[0017]【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明のレーザ装置用光学レンズの実施の形態例について説明する。10が収容される中空が形成されている。1,固体材料からなる所定のレンズ面に形成された凸面状の上側レンズ面部2と、上側レンズ面部2と対向する平面状の下側レンズ面部3と、円筒状の金属フレーム4とを有する。金属フレーム4の底部近傍には下側レンズ面部3が取り付けられ、また、金属フレーム4には下側レンズ面部3と所定の間隔をおいて上側レンズ面部2あ取り付けられている。5には流入用チューブ7が接続されており流出口6には流出用チューブ8が接続されている。to.【0019】レーザ流体10が流入用チューブ7を介して流入口5からレーザ容器1内へ流入し、流出口6から流出用チューブ8を介して流出し、レーザ容器1内はレーザ流体10で満たされている。is.【0020】また、レーザ流体10は図3に示すように、冷却器36によって冷却され循環ポンプ35によって所定の速度で循環するようになっている。ここで所定の速度とは、冷却器36による冷却の程度や、レーザビーム31の吸収によるレンズ流体1の温度上昇の程度や、レーザ容器1内に生じ得るレンズ流体10の流線の程度等を考慮して決められる。consideration.【0021】次に、この光学レンズの焦点距離について説明する。2中のレンズ流体10によるレンズとの合成レンズと考えることができ、この合成レンズの合成焦点距離fは、以下のように表すことができる。