ステンレス真空業界ではオーステナイト系ステンレスの『SUS304』が主に使われている。優れ、他のステンレス系と違い磁性がない。膨張係数が大きく、熱伝導率が低い。応力腐食割れに感受性があるため、特に溶接部の応力集中に注意する必要がある。溶接性は、マルテンサイト系、フェライト系、二相系に比べ良い。うちSUS304系は溶接性が良好。溶接割れ性として、ニッケル、モリブデンの量が高い材料は、高温割れに敏感。クレーターが割れやすく、クレーター処理など溶接作業を工夫する必要あり。低温強度、靭性に強い。真空装置部品では、磁性があると問題になるケースもあるため、特段の理由がない限りこの材料を使用する。広く使用されているステンレスである。熱膨張率が大きく、耐熱温度が700°C-800°C程度なので、真空チャンバー内で1000°C以上の高温にする場合は、必ず水冷パイプ又は水冷ジャケット等の冷却が必要。熱膨張率はSS400(鉄)と比較し1.5倍程度になる。広く使用されているステンレスである。熱膨張率が大きく、耐熱温度が700°C-800°C程度なので、真空チャンバー内で1000°C以上の高温にする場合は、必ず水冷パイプ又は水冷ジャケット等の冷却が必要。熱膨張率はSS400(鉄)と比較し1.5倍程度になる。SUS310S耐酸化性がSUS304以上のSUS309Sより優れ、耐熱鋼として使われる。耐熱温度は1000°C程度と言われている。耐熱性は、SUS304<SUS316<SUS309S<SUS310Sになる。SUS304と比較し4倍ほど高価な材料になる。チャンバー内部の部品やターゲット受けなどに使用される事が多い。Moは非常に高価な元素なので材料もその分高価になる。SUS304と比較し6割高な材料になる。SUS316L316の極低炭素鋼、316の性質に耐粒界腐食性をもたせたもの。SUS304に比べ7割ほど高価な材料になる。