Lを使って、fは次式で表される。1}.【0023】本実施態様例によるレーザ装置用レンズは、上式のfで表される焦点距離のレンズとして作用する。2において、レンズ流体10をレンズ容器1内に入れた方が焦点距離が短くなっている。shorter.【0024】図6に、レーザの種類と、適用可能なレンズ流体10の種類を分類されている。レーザの発振波長における各レンズ流体10の吸収率や透過率や屈折率等を考慮して選択されている。laser.【0025】以上説明したように、本実施形態例の構成によれば、レンズ容器1内をレンズ流体10が循環するようにしたので、レーザビーム31の吸収によって発生する熱を除去することができ、光学レンズに熱歪みを生じないようにすることができる。lens.【0026】また、レンズ流体10は冷却されて循環されるようにしたので、レーザビーム31の吸収によって発生する熱を効率的に除去することができる。efficiently.【0027】また、流入口5と流出口6とはレンズ容器1の側部の対向する位置に設けられているので、冷却されたレンズ流体10とレーザビーム31の吸収により加熱されたレンズ流体10との循環を確実に行うことができる。with.【0028】次に、図2を参照して他の実施形態例を示す。本実施形態例では、下側レンズ面部3は凸面形状を有し、円筒状の金属フレーム20の底部近傍に取り付けられている。66が取り付けられている。上側レンズ面部2は円筒状の金属フレーム21に取り付けられている。221が上下に移動自在に配設されている。22は、レンズ容器1内のレンズ流体10が漏れることを防止するとともに、上側レンズ面部2の上下方向の移動を可能にするものである。金属フレーム22を上下することによって、上側レンズ面部2と下側レンズ面部3との間の間隔を変えることができる。3.【0029】本実施形態例では、両凸型の焦点距離可変型のレーザ装置用光学レンズを提供でき、この光学レンズの可変焦点距離は以下のように表せる。Sは、次式で表わされる。ここで、Tは、上側レンズ面部2と下側レンズ面部3との間隔に関係する量でありレンズ容器1内のレンズ流体10の厚みである。Sを代入して、fが求められる。obtained.【0033】本実施形態例による両凸型の焦点距離可変型のレーザ装置用光学レンズは、上式のfで表わされる焦点距離のレンズとして作用する。10の厚みTによる焦点距離fの変化の様子を、図5に示す。レンズ流体10の厚みTを10mm変化させる間に、焦点距離fは0.2mmの微調整が可能である。mm.【0034】以上説明したように、本実施態様例の構成によれば、上側レンズ面部2と下側レンズ面部3との間隔を可変に調整できるので、所望の焦点距離の光学レンズを容易に構成することができる。do.【0035】次に、図3を参照して上述した光学レンズを使用したレーザ装置について説明する。30は反射ミラー32により光路を変更され本発明による光学レンズ33に入射し、レーザビーム31は光学レンズ33より集光されて被加工物34に照射され、レーザ加工が実施される。performed.【0036】ここで、光学レンズ33には、レンズ流体10が流入流出されるようになっている。10は冷却器36によって冷却される。冷却されたレンズ流体10は循環ポンプ35によって流入用チューブ7を介してレンズ容器1へ流入される。レーザビーム31を吸収し加熱されたレンズ流体10は流出用チューブ8を介してレンズ容器1から流出され、冷却器36において再び冷却され、循環される。337が接続されている。2と下側レンズ面部3との間隔を所定の大きさに自動的に調整するようになっている。and.【0038】以上説明したように、レーザ装置の本実施形態例の構成によれば、冷却されたレンズ流体10をレンズ容器1内を循環させ光学レンズ33を冷却させながら使用することにより、レーザビーム31の吸収による熱歪みを回避でき安定した条件でレーザビーム31の集光または拡散を行うことができ、この結果、高精度のレーザ加工を行うことが可能になる。accuracy.【0039】また、光学レンズ33に接続されたレンズ間隔調整手段37が制御部からの制御信号を受けて上側レンズ面部2と下側レンズ面部3との間隔を所定の大きさに自動的に調整することにより、被加工物34の加工前あるいは加工中に任意の焦点距離を変えることが可能になる。この結果、被加工物34に対する加工条件に迅速に対応することができるとともに、精度の高い安定した加工条件で連続したレーザビームによる加工を行うことができる。accuracy.【0040】なお、上述した実施形態例の説明において、レンズ容器1におけるレンズ流体10の流入口5と流出口6を各々1個づつ設けた例を示したが、これらは適当な配置で複数個あってもい。Attemoi.【0041】また、レンズ流体10は冷却器36によって冷却せずに、大気中を循環させることによって冷却してもよい。構成によれば、レンズ容器内をレンズ流体を循環するようにしたので、レーザ装置用光学レンズがレーザビームの吸収によって熱歪みを生じないようにすることができる。DRAWINGS【図1】本発明によるレーザ装置用光学レンズの一実施形態例を示す平面図(a)と断面図(b)。(b).【図2】同他の形態例を示す平面図(a)と断面図(b)。(b).【図3】本発明による光学レンズを利用したレーザ加工装置の概略構成を示すブロック図。焦点距離の関係を示すグラフ。surface.【図5】図2に示した光学レンズにおいて、上側レンズ面部と下側レンズ面部との間隔を変えた場合の焦点距離の値を示す図。surface.【図6】レーザの種類と、それに適用可能なレンズ流体を分類して示す表。thereto.【図7】従来のレーザ装置用光学レンズを示す平面図(a)と断面図(b)。claims]【請求項1】所定レンズ面を有する中空のレンズ容器と、このレンズ容器内へ流入するとともに流出する液体状のレンズ流体とを備えることを特徴とするレーザ装置用光学レンズ。container.【請求項2】前記レンズ流体は、前記レンズ容器へ流入される前に冷却手段により冷却されていることを特徴とする請求項1に記載のレーザ装置用光学レンズ。bisected,前記上側レンズ面部と前記下側レンズ面部との間隔は可変であることを特徴とする請求項1に記載のレーザ装置用光学レンズ。variable.【請求項4】前記レンズ流体を前記レンズ容器に流入させる流入口と前記レンズ容器から前記レンズ流体を流出させる流出口とが、前記レンズ容器の側部の対向する位置に形成されていることを特徴とする請求項1に記載のレーザ装置用光学レンズ。前記上側レンズ面部と前記下側レンズ面部との間隔をレンズ間隔調整手段とを備えることを特徴とするレーザ装置。