検索ディスプレイ製品サービスAKT®電子ビームレビューディスプレイ技術の進歩により、プロセスステップの数が増え、それによってゴミの数が増え、小型化し、新しいタイプの欠陥が発生しています。(SEM)分析ほど有効ではなく、ディスプレイに関してSEM分析を行うには、ガラス基板を破砕し、顕微鏡で各断片を別々に検査する必要がありました。これでは、コストが高く時間がかかるだけでなく、動作の不具合を最終デバイスのパフォーマンスに結び付けることも、ほとんど不可能になります。アプライドの電子ビームレビュー(EBR)装置の導入により、パネルを壊すことなく、業界最高の解像度とスループットでインラインSEMレビューが可能となり、これらの問題を解決することができます。Reserved.[+]。