TTMモジュールTTMモジュール(環境対応レンズ)保護包装、環境チャンバー、その他の分散性材料を通して高分解能測定が実現デモンストレーションまたはお見積りをご希望の方は、ブルカーにお問い合わせください。100アワードを受賞したTTMモジュールは、3つの対物レンズ(2X、10X、20X)により1Xから40Xまでの倍率に対応できる。スライドガラスを手動で簡単に交換できるため、幅広い厚さの材料に柔軟に対応可能。アプリケーションなどに対応3mmカバーガラスを用いた20umのステップハイト標準サンプルイメージAは、標準的な対物レンズを用いて、3mmのカバーガラスをのせて、20umのステップハイト標準サンプルをイメージングしたものです。イメージBは、TTMモジュールを用いて、同じ3mmのガラスを通してイメージングしたものです。TTMモジュールの仕組み透明フィルムや包装材料に起因する干渉縞を補正するために、同じ材質および厚さのガラスをビームスプリッターと参照鏡(水色のボックス)のあいだに挿入します。これにより、デバイスの包装材に起因する干渉が効果的に除去されます。200umガラスを用いたMEMSデバイス左のイメージAは、TTMモジュールを使用しない3Dイメージを示しています。右のイメージBは、TTMモジュールを用いた10Xイメージです。優れたコントラストと高品質の分解能が得られています。TTMモジュールを用いたインタクトMEMSデバイスの3Dデータセットです。