AerisTM-Gシステムはプリポンプによるプラズマ除去ソリューションで、ポストポンプの除去ユニットよりも、実際のプロセスガスを少量かつ濃縮して使用することで、消費電力を低減します。除去処理中のAeris-Gチャンバ内で、プラズマ分離と少量の窒素を組み合わせることにより、NOxの排出をゼロに近づけることができます。「オンデマンド」で稼働するAeris-Gユニットでは、常に稼働している消費電力の高いポストポンプ除去装置よりも、大幅に運用コストが削減されます。Aeris-G装置は、各チャンバの占有面積内で設置することができます。既存ツールへの設置に最適な同装置は、現行の排気ラインに簡単に適合し、必要なのは電力と超純水への接続だけです。新しいツールへの設置では、Aeris-Gはユーティリティと排気接続を削減することでサブファブスペースを節約し、除去効率を改善しつつ設置コストを最小限に抑えます。可動部品のないソリッドステート・マッチネットワーク独自インターフェースで制御されたAeris-Gは、チャンバプロセスと同時に稼働します。Reserved.[+]。