光通信或いは光情報処理などの分野で用いられる導波型光素子に関するものである。)において、そのクロストークを誘電体多層膜フィルタのバンドパス特性を利用して低減したことを特徴とする導波型光素子に関する。Circit)の研究が盛んに行われている。L100本程度のアーム導波路を伝搬した複数の光の干渉により光の波長合分波機能を実現している。ここでnは導波路の実効屈折率、ΔLは10〜100μm程度の値である。この回路の特徴は、複数の波長の光を一段の多光束干渉により実現していることである。stage.【0004】この結果として以下の2つの特長が生じる。一つは、回路挿入損失が波長チャンネル数に依存しない。一つは、分波される互いのチャンネル波長の間隔がフォトマスクの精度で定まり、0.1nm以下の精度で作製できる。1990.)【0006】図6にその回路構成を、図7に中心入力ポートから中心出力ポートヘの透過波長特性を示す。6に示すように、Si基板10上には、石英系光導波路よりなる複数の入力導波路1、出力導波路2、二つのスラブ導波路3,4及び互いに光路長がn×ΔLずつ異なるアレイ導波路5が形成され、入射光が何れかの入力導波路1に入射されると、スラブ導波路3、アレイ導波路5、スラブ導波路4を順に伝搬して出力導波路2から出射されることになる。become.【0007】ここで、アレイ導波路5における伝搬時に複数の光が干渉することにより、光の波長合分波機能が実現される。図7に示すように、中心入力ポートから中心出力ポートヘ特定の波長のみが透過し、それ以外の波長の光は阻止されていることが分かる。現在のところ、阻止波長の透過率と透過波長の透過率との比で表されるクロストークは30dB程度である。dB.【0008】このクロストークを低減することは、波長合分波機能として極めて重要な課題である。このクロストークが−30dB程度に制限されている原因は、導波路の作製誤差によるものであり、現状のプロセス技術においてクロストークを大幅に改善することは容易ではない。pp.242-243.)【0010】一般に誘電体多層膜フィルタを用いた波長合分波器では、分波する波長数と同じ数の誘電体多層膜フィルタが必要であり、かつ各々の入出力ファイバを調芯する必要がある。このため部品のコストが高くなるという問題がある。使用する複数の誘電体多層膜フィルタの透過中心波長をそれぞれ0.1nm以下の精度で合わせる必要があり、このことが部品歩留まりを制限している。クロストークを改善することを目的とする。クロストークを改善する手段として、バンドパス機能を有する誘電体多層膜フィルタを用いる。クロストークを改善する。誘電体多層膜フィルタの組み合わせは以下のような特長を有する。分波するチャンネル波長の数に依存せずほぼ一定の損失を有しており、かつ分波する各チャンネル波長の間隔は高精度に設定できている。実現できなかった極めて低いクロストークを実現する。クロストーク光を除去するためにのみ使われるため、その中心波長に対してかなり緩いスペックしか求められないため、歩留まりが高く安価なフィルタを使用することが可能である。multiplexer0GHzチャンネル間隔16波長)の光を分波し、その出力導波路2に挿入した誘電体多層膜フィルタ6によってクロストークを改善するものである。2.【0016】即ち、図1(a)に示すように、Si基板10上には、石英系光導波路よりなる複数の入力導波路1、出力導波路2、二つのスラブ導波路3,4及び互いに光路長がn×ΔLずつ異なるアレイ導波路5が形成され、入射光が何れかの入力導波路1に入射されると、スラブ導波路3、アレイ導波路5、スラブ導波路4を順に伝搬して出力導波路2から出射されるようになっている。後段、つまり、複数の出力導波路2にバンドパス機能を有する誘電体多層膜フィルタ6が配置されている。誘電体多層膜フィルタ6は16本の出力導波路に個別に配置するのではなく、複数の出力導波路2にまたがる(本実施例では8つの出力導波路にまたがる)構成になっている。10に溝7を形成し、この溝7に誘電体多層膜6を挿入し、接着剤8で固定することにより実現される。1(b)に図1(a)中のa−a'線の拡大断面図を示す。7の幅を55μm、溝7の深さを300μmとした。分波された各出力チャンネル波長に一致するよう設計されている。誘電体多層膜フィルタ6を直線導波路に挿入したときの透過波長特性は図3に示す通り特定の波長でピークを有するが、誘電体多層膜フィルタ6に対する直線導波路の入射角を変化させると、図4に示すように透過波長が変化する。分波された各出力チャンネル波長に一致するように設計することができる。入射角が大きくなると偏波による透過波長の変化が大きくなるため、入射角としては10°以下が好ましい。分波するチャンネル波長の数に依存せずほぼ一定の損失を有しており、かつ分波する各チャンネル波長の間隔は高精度に設定できる。実現できなかった極めて低いクロストークを実現することができる。1dB程度の過剰損失が生じているが、10dB以上の大幅なクロストークの改善が認められる。クロストーク光を除去するためにのみ使われるため、その中心波長に対してかなり緩いスペックしか求められないため、歩留まりが高く安価なフィルタを使用することが可能である。filter.【0024】尚、上述した実施例では、16本の出力導波路2を8本の出力導波路づつにまとめて誘電体多層膜フィルタ6を挿入したが、必要に応じて4本の出力導波路づつ、2本の出力導波路づつ、また16本の出力導波路2に対して各々別々に誘電体多層膜フィルタ6を挿入してもよい。交差角等を適宜設定すればよい。2,誘電体多層膜フィルタ6に交差する部分にパラボラ形状部分9を有している。6に入射する光を平行ビームに近づけるための手段である。比べて大幅にクロストークが改善される。invention,図1(b)は、図1(a)中のa−a'線の拡大断面図である。(a).【図2】誘電体多層膜フィルタが挿入されている部分の拡大上面図である。inserted.【図3】直線導波路に挿入した誘電体多層膜フィルタの透過波長特性を示すグラフである。filter.【図4】誘電体多層膜フィルタに交差する導波路の入射角と透過スペクトルの中心波長との関係を示すグラフである。透過波長特性を示すグラフである。中心入力ポートから中心出力ポートへの透過波長特性を示すグラフである。