PolysiliconLTPS低温ポリシリコン(LTPS)トランジスタの製造は、アモルファスシリコン(a-Si)および酸化物半導体トランジスタの製造より複雑であり、追加の工程やプロセスを必要とします。AKT-PXファミリーは、1.6~5.7m2(第5世代~第8.5世代)のガラス基板に、均一性の高い低温ポリシリコン(LTPS)膜を成膜します。TFTアレイ検査装置は、高い信頼性、短いダウンタイム、低いランニングコストを実現します。電子ビームアレイ検査装置は、複数の平行な電子ビームを使い、高速で広範囲のビーム位置決めを行い、高いスループットを達成します。Reserved.[+]。