カタログのダウンロードは「会員登録」が必要です。※カタログダウンロードをご希望の方は事前にユーザー登録が必要です。ログイン、または新規会員登録よりユーザー登録を行ってください。ダウンロードができます。TG-MUシリーズ■到達圧力を向上したTG-MUシリーズ・超高真空環境下では、残留ガスの多くは水素などの軽ガスです。軽ガスの排気性能を向上することにより、より良い真空環境が得やすくなります。・初期排気で良い真空環境を得ることができれば、残留ガスが少ない状況で製造加工プロセスが実施でき、製品の品質が向上します。※2:外観寸法図は標準形と同一です。詳しくは営業担当者までお問合せ下さい。詳しくは営業担当者までお問合せ下さい。コントローラ詳しくは営業担当者までお問合せ下さい。