[0001]【発明の属する技術分野】本発明は全般に液滴イジェクタに関し、より詳細には流動性材料の液滴を吐出するためのフレックステンショナル・トランスデューサのアレイを含むフレックステンショナル・トランスデューサアセンブリに関する。[0002]【従来の技術】流動性材料の液滴を制御しながら吐出するために液滴イジェクタが開発されている。液滴イジェクタの一例には、フレックステンショナル・トランスデューサが含まれる。図15および図16に示されるように、従来のフレックステンショナル・トランスデューサ90は、円柱体92と、オリフィス96を画定する円形の可撓性膜94と、環状アクチュエータ98とを含む。98.円柱体は、流動性材料の供給源を保持するための収容部を画定し、円形の可撓性膜は、円柱体に固定される外周縁部を有する。環状アクチュエータは、電圧が印加される際に変形する圧電性材料を含む。その場合に、圧電性材料が変形すると、円形の可撓性膜が撓み、ある量の流動性材料が収容部からオリフィスを通して吐出されるようになる。unit.【0003】フレックステンショナル・トランスデューサの1つの応用形態は、インクジェットプリンティングシステムへの適用である。その場合に、インクジェットプリンティングシステムは、印刷媒体上に画像を形成するために、オリフィスあるいはノズルを通してインク滴を吐出する複数のフレックステンショナル・トランスデューサを含むプリントヘッドを備える。画質を改善するための1つの方法は、画像の解像度を高めることである。(dots-per-inch)で測定される。それゆえ、解像度を改善するためには、1インチ当たりのドットの数を増加しなければならない。したがって、1インチ当たりのインク滴の数を増加しなければならない。[0004]【発明が解決しようとする課題】1インチ当たりのインク滴の数を増加するための1つの方法は、プリントヘッドの単位面積当たりのオリフィスあるいはノズルの数を増加することである。それゆえ、インク滴を吐出するフレックステンショナル・トランスデューサの密度を高めなければならない。そのために、固定されたインク滴サイズの場合、フレックステンショナル・トランスデューサ間の間隔、より具体的には、オリフィスあるいはノズル間の間隔を減少しなければならない。従来のフレックステンショナル・トランスデューサは円柱形であるため、フレックステンショナル・トランスデューサの配列、および/またはその間の間隔は円柱形の形状によって制限される。したがって、複数の従来のフレックステンショナル・トランスデューサの密度を高めることは制限される。limited.【0005】したがって、本発明の目的は、個々のフレックステンショナル・トランスデューサの設計、および複数のフレックステンショナル・トランスデューサの配列の柔軟性を高めることができるフレックステンショナル・トランスデューサを提供することである。詳細には、本発明の目的は、コンパクトなアレイを可能にし、それゆえ、複数のフレックステンショナル・トランスデューサのオリフィスの密度を高めることができるフレックステンショナル・トランスデューサを提供することである。[0006]【課題を解決するための手段】本発明の一態様はフレックステンショナル・トランスデューサアセンブリを提供する。フレックステンショナル・トランスデューサアセンブリは、その中に複数の流体キャビティを形成された支持体と、支持体によってそれぞれ支持される複数の可撓性膜部と、可撓性膜部のうちの1つとそれぞれ関連する複数のアクチュエータとを備える。portion,一対の間隔を置いて配置された縁部と、その中に画定され、流体キャビティの1つと流通するオリフィスとを有する。その場合に、各可撓性膜部は、アクチュエータのうちの関連する1つのアクチュエータに電気信号を加えるのに応じて撓むように構成される。actuator.【0007】一実施形態では、各流体キャビティは、可撓性膜部のうちの関連する1つの可撓性膜部のオリフィスと流通する流体の供給源を保持するように構成される。一実施形態では、各可撓性膜部のオリフィスは、可撓性膜部のうちの関連する1つの可撓性膜部が撓むのに応じて、ある量の流体を吐出するように構成されるノズルを画定する。for.【0008】一実施形態では、支持体は、流体キャビティの相対する側面を画定する複数の相対する側壁を含む。一実施形態では、各可撓性膜部の一対の間隔を置いて配置された縁部は、支持体の側壁のうちの関連する側壁内に配置される。一実施形態では、各可撓性膜部の一対の間隔を置いて配置された縁部は、一対の間隔を置いて配置されたスリットによって形成される。一実施形態では、各アクチュエータは圧電性材料を含む。material.【0009】一実施形態では、複数の可撓性膜部はそれぞれ、その両側にある端部間に延在する軸を有する。一実施形態では、可撓性膜部のうちの1つの軸は、可撓性膜部のうちの隣接する可撓性膜部の軸と概ね平行に向けられる。別の実施形態では、可撓性膜部のうちの1つの軸は、可撓性膜部のうちの隣接する可撓性膜部の軸とある角度をなして向けられる。portion.【0010】一実施形態では、各可撓性膜部のオリフィスは、可撓性膜部のうちの関連する可撓性膜部の軸に概ね垂直に延在する軸を有する。一実施形態では、可撓性膜部のうちの1つのオリフィスの軸は、可撓性膜部のうちの別の可撓性膜部のオリフィスの軸と位置合わせされる。別の実施形態では、可撓性膜部のうちの1つのオリフィスの軸は、可撓性膜部のうちの別の可撓性膜部のオリフィスの軸に対してオフセットされる。portion.【0011】一実施形態では、可撓性膜部のうちの1つのオリフィスの軸は、可撓性膜部のうちの隣接する可撓性膜部のオリフィスの軸と位置合わせされる。別の実施形態では、可撓性膜部のうちの1つのオリフィスの軸は、可撓性膜部のうちの隣接する可撓性膜部のオリフィスの軸に対してオフセットされる。portion.【0012】一実施形態では、各可撓性膜部のオリフィスは、共通の点から所定の距離だけ径方向に間隔を置いて配置される。point.【0013】本発明の別の態様は、インクジェットプリンティングシステムを提供する。インクジェットプリンティングシステムは、その中に複数の流体キャビティを形成された支持体と、支持体によってそれぞれ支持される複数の可撓性膜部と、可撓性膜部のうちの1つにそれぞれ関連する複数のアクチュエータとを備える。各可撓性膜部は、一対の間隔を置いて配置された縁部と、その中に画定され、流体キャビティのうちの1つと流通するオリフィスとを有する。portion,アクチュエータのうちの関連するアクチュエータに電気信号を加えるのに応じて撓むように構成される。actuator.【0014】本発明の別の態様は、フレックステンショナル・トランスデューサアセンブリを提供する。フレックステンショナル・トランスデューサアセンブリは、その中に複数の流体キャビティを形成された支持体と、支持体によってそれぞれ支持され、その中に流体キャビティのうちの1つと流通するオリフィスをそれぞれ画定する複数の可撓性膜部と、可撓性膜部のうちの1つにそれぞれ関連する複数のアクチュエータと、アクチュエータにそれぞれ隣接するコンプライアント機構とを備える。actuator.各可撓性膜部は、アクチュエータのうちの関連する1つのアクチュエータに電気信号を加えるのに応じて撓むように構成される。その場合に、コンプライアント機構は、可撓性膜部のうちの関連する1つの可撓性膜部を撓ませるのを容易にする。portion.【0015】本発明は、流体の液滴を制御しながら吐出するように構成されるフレックステンショナル・トランスデューサを提供する。フレックステンショナル・トランスデューサは、電気信号に応答して可撓性膜部を撓ませるアクチュエータを備える。可撓性膜部は、間隔を置いて配置される縁部と、その中に画定され、可撓性膜部を撓ませることにより、流体キャビティからオリフィスを通り流体を吐出できるようにするオリフィスとを有する。本発明は、アレイに配列された複数のフレックステンショナル・トランスデューサを含むフレックステンショナル・トランスデューサアセンブリを提供する。[0016]【発明の実施の形態】以下に記載される好ましい実施形態の詳細な説明において、好ましい実施形態の一部を構成し、本発明が実施される場合がある特定の実施形態を例示によって示す添付の図面が参照される。方向に関する用語は、説明される図面の向きに関連して用いられる。本発明の構成要素は多数の異なる向きに配置されることができるため、方向に関する用語は例示の目的で用いられ、限定するものではない。本発明の範囲から逸脱することなく、他の実施形態が用いられる場合があり、構成的および論理的な変更がなされる場合があることは理解されたい。それゆえ、以下の詳細な説明は制限する意味に取られるべきではなく、本発明の範囲は添付の特許請求の範囲によって画定される。claims.【0017】図1〜図5はフレックステンショナル・トランスデューサ10の一実施形態を示す。フレックステンショナル・トランスデューサ10は、流動性材料の液滴を吐出する液滴吐出装置である。フレックステンショナル・トランスデューサ10は、ドロップ・オン・デマンド、および/または連続動作モードを含む場合がある。以下に記載されるように、一実施形態では、複数のフレックステンショナル・トランスデューサ10が、フレックステンショナル・トランスデューサのアレイを形成するように配列される。理解しやすくするために、以下の説明では、フレックステンショナル・トランスデューサ10からの流体の吐出が参照される。ここで用いられる「流体」は、水、インク、血液あるいはフォトレジストのような液体、あるいはタルカムパウダーのような固体の流動性粒子を含む、任意の流動性材料を含むものと定義される。20と、可撓性膜部30と、アクチュエータ40とを備える。支持体20は、その中に形成され、フレックステンショナル・トランスデューサ10のための流体の供給源と流通する流体キャビティ21を有する。20は、流体キャビティ21の相対する側面23を画定する、相対する側壁22を含む。一実施形態では、流体キャビティ21は概ね長方形である。その場合に、支持体20の相対する側壁22は、概ね直線状の側壁である。21の概ね平行な、相対する側面を画定する。side.【0019】可撓性膜部30は、流体キャビティ21および可撓性膜部30が流体収容部24を画定するように、流体キャビティ21上に延在する。その場合に、流体収容部24は、フレックステンショナル・トランスデューサ10のための流体を保持あるいは収容する。以下に記載されるように、可撓性膜部30が撓むことにより、流体収容部24から流体を吐出することができる。24.したがって、流体収容部24は、フレックステンショナル・トランスデューサ10の動作によって加圧される必要はない。フレックステンショナル・トランスデューサ10の動作のために、流体収容部24を完全に封止する必要もない。24.【0020】可撓性膜部30は、その中に画定され、流体キャビティ21と流通するオリフィス31を有する。21.その場合に、流体キャビティ21が流体を供給されるとき、流体がオリフィス31と流通する。spacedとを含む。30の軸に概ね垂直に向けられた軸34を有する。オリフィス31は、以下に記載されるように、可撓性膜部30が撓むのに応じて、流体キャビティ21からある量の流体を吐出するためのノズルを画定する。21.【0021】可撓性膜部30は、たとえば、可撓性を有する薄いシリコンの層、あるいは可撓性の窒化シリコンまたはシリコンカーバイドの薄膜のような可撓性材料から形成される。一実施形態では、支持体20および可撓性膜部30は、たとえば、シリコンのような同種の材料から形成される。その場合に、可撓性膜部30は、流体キャビティ21にわたって延在する可撓性を有する薄いシリコンの層によって形成される。embodiment,可撓性膜部30の間隔を置いて配置される縁部33は概ね直線をなす。具体的には、間隔を置いて配置される縁部33は概ね平行であり、軸32に概ね平行に向けられる。その場合に、可撓性膜部30は概ね長方形である。流体キャビティ21の相対する側面23は概ね直線をなす。それゆえ、可撓性膜部30の間隔を置いて配置される縁部33は、流体キャビティ21の相対する側面23の外形に従う。30の間隔を置いて配置される縁部33は、流体キャビティ21の相対する側面23に概ね平行に向けられ、平面図においてその側面23内に配置される。view.【0023】一実施形態では、可撓性膜部30の間隔を置いて配置される縁部33は、可撓性膜部30内の間隔を置いて配置される一対のスリット35によって形成される。30の両側にある端部36と37との間に延在する、概ね平行に間隔を置いて配置されるスリットである。スリット35によって、可撓性膜部30は、支持体20に対して、それゆえ流体キャビティ21に対して撓むことができるようになる。embodiment,スリット35は、可撓性膜部30を貫通する、間隔を置いて配置される切込み35aによって形成されるスルースリット(through-slit)である。35aを通って流出するのを防ぐために、ポリマーのような可撓性材料あるいは薄膜で封止される場合がある。切込み35aは、流体キャビティ21内の流体の表面張力あるいは粒子サイズに基づいて、流体が切込み35aから流出するのを防ぐ幅で形成される場合もある。flow,オリフィス31の直径より著しく狭くすることができる。31.【0025】図3に示されるように、別の実施形態では、スリット35は、可撓性膜部30内に間隔を置いて配置される溝あるいはチャネル35bによって形成される非スルースリットである。35bは、可撓性膜部30のより薄い材料からなる弱い領域を形成する。チャネル35bは、たとえば、エッチングによって、可撓性膜部30の一部の厚みを低減することにより形成される場合がある。支持体20に対して、可撓性膜部30を所望のように撓ませるために、チャネル35bは、チャネル35bに沿ってさらに大きな可撓性が達成されるように、切込み35aより幅広く形成される場合がある。that.【0026】可撓性膜部30の間隔を置いて配置される縁部33が可撓性膜部30内のスリット35によって形成される場合、可撓性膜部30は、間隔を置いて配置される縁部33間に延在する部分と、間隔を置いて配置される縁部33から横方向に設けられる部分とを含む。スリット35の外側縁部は、間隔を置いて配置される縁部33から横方向に設けられる可撓性膜部30の部分が最小になるように、流体キャビティ21の相対する側面23と位置合わせされる場合がある。スリット35は、可撓性膜部30の間隔を置いて配置される縁部33に沿って設けられる隙間によって形成される場合もある。30.【0027】一実施形態では、可撓性膜部30の両側にある端部36および37はいずれも支持体20によって支持される。37,支持体20の側壁22に取り付けられる。Therefore,可撓性膜部30は、端部36および37において支持体20にクランプ、あるいは固定されるビームを形成する。30の支持および/または固定される端部を構成し、間隔を置いて配置される縁部33は、たとえばスリット35によって形成されるような、可撓性膜部30の支持されない縁部を構成する。したがって、間隔を置いて配置される縁部33は支持体20によって支持されない。それゆえ、可撓性膜部30は、全ての側面ではない側面上に支持される。20を撓ませることができる。30および37が支持体20によって支持される場合、可撓性膜部30の最大の撓みは、対称な撓みモード中にオリフィス31において生じる。mode.【0028】アクチュエータ40は、可撓性膜部30に関連し、可撓性膜部30を撓ませるようにする。一実施形態では、アクチュエータ40は、可撓性膜部30の流体キャビティ21とは反対側に設けられる。具体的には、アクチュエータ40は、可撓性膜部30の流体キャビティ21とは反対側に取り付けられるか、あるいは形成される。その場合に、アクチュエータ40は、流体キャビティ21内に収容される流体と直には接触しない。したがって、腐食あるいは電気的短絡のような、流体に接触することによりアクチュエータ40が受ける任意の潜在的な作用は回避される。40は、可撓性膜部30の流体キャビティ21とは反対側に設けられるように示されるが、アクチュエータ40が可撓性膜部30の流体キャビティ21に面する側に設けられる場合も、本発明の範囲内にある。第1のアクチュエータ41および第2のアクチュエータ42はいずれも、可撓性膜部30の流体キャビティ21とは反対側に取り付けられるか、あるいは形成される。オリフィス31は、第1のアクチュエータ41と第2のアクチュエータ42との間に配置される。その場合に、第1のアクチュエータ41および第2のアクチュエータ42は、オリフィス31の両側に配置される。具体的には、第1のアクチュエータ41および第2のアクチュエータ42は、軸32に沿って、可撓性膜部30の端部36とオリフィス31との間、およびオリフィス31と端部37との間にそれぞれ配置される。40,電気信号に応答して、形状が変化する、たとえば伸長および/または収縮する圧電性材料を含む。アクチュエータ40は、可撓性膜部30の軸32に沿った方向に伸長および/または収縮することが好ましい。Therefore,電気信号に応答して、アクチュエータ40は、可撓性膜部30に力を加え、可撓性膜部30が撓むことができるようにする。flexesの領域に配置される。(PLZT)のような圧電性セラミック材料がある。アクチュエータ40は、可撓性膜部30が動くか、あるいは撓むようにできる、静電、静磁および/または熱膨張アクチュエータを含む任意のタイプの素子を含む場合がある。actuator.【0031】フレックステンショナル・トランスデューサ10のコンプライアント(compliant)機構は、支持体20に対して可撓性膜部30を撓ませるのを容易にする。303、および可撓性膜部30内に間隔を置いて配置されるスリット35は、フレックステンショナル・トランスデューサ10のコンプライアント機構の例を構成する。30が撓むようになる。10,アクチュエータ40に隣接して設けられる。bent,あるいは曲がる可撓性膜部30の領域を含む場合がある。5b.【0033】図5に示されるように、可撓性膜部30が撓むとき、流体の液滴12が形成され、フレックステンショナル・トランスデューサ10のオリフィス31から吐出される。15および図16に示されるような、全ての側面において支持あるいは固定される従来のフレックステンショナル・トランスデューサ90の相当する領域の円形可撓性膜94よりも大きく変位することができる。Therefore,可撓性膜部30がより大きく変位する結果として、オリフィス31を通過する液滴の吐出速度が速くなる。5に示される可撓性膜部30が撓む範囲は、本発明を理解しやすくするために誇張して表現されていることは理解されよう。understood.【0034】アクチュエータ40に周期的に電気信号を加えることにより、可撓性膜部30は振動するようになる。可撓性膜部30は、ある共振周波数を有し、その場合に、種々の共振振動モードで振動することができる。modes.可撓性膜部30は、最も低い次数、すなわちオリフィス31において最大の撓みが生じる対称な共振振動モードで振動することが好ましい。それゆえ、フレックステンショナル・トランスデューサ10は、所定の速度および/または所定の間隔で流体の液滴12を吐出する。intervals.【0035】可撓性膜部30が振動する周波数は、可撓性膜部30の材料およびサイズに依存する。(f)と、可撓性膜部30の厚さ(t)と、可撓性膜部30の長さ(l)との間の関係は、以下の式によって表される。mm)【0036】可撓性膜部30の厚さ(t)は可撓性膜部30の表面に垂直な方向で測定され、可撓性膜部30の長さ(l)は可撓性膜部30の軸32に沿って測定される。その場合に、その例示的な実施形態では、可撓性膜部30の振動周波数(f)は、可撓性膜部30の幅に依存しない。30の剛性を高め、それゆえ可撓性膜部30の変位を変更するように厚くされる場合があることは理解されよう。/または液滴速度に合致するように、種々の変位を設計することができる。displacement.【0037】図6はフレックステンショナル・トランスデューサ10の別の実施形態を示す。フレックステンショナル・トランスデューサ10'はフレックステンショナル・トランスデューサ10と類似であるが、フレックステンショナル・トランスデューサ10'の可撓性膜部30が、曲げられるか、あるいは曲線をなす、間隔を置いて配置される縁部33'を含む点が異なる。32および軸34に対して概ね対称になる。その場合に、可撓性膜部30は概ね楕円形になる。elliptical.【0038】さらに、フレックステンショナル・トランスデューサ10'の流体キャビティ21の相対する側面23は曲げられるか、あるいは曲面をなす。'は、流体キャビティ21の相対する側面23に従う。その場合に、可撓性膜部30の間隔を置いて配置される縁部33'は、平面図において、流体キャビティ21の相対する側面23内に配置される。spaced5'によって形成される。'.【0039】図7はフレックステンショナル・トランスデューサ10の別の実施形態を示す。フレックステンショナル・トランスデューサ10''はフレックステンショナル・トランスデューサ10と類似であるが、フレックステンショナル・トランスデューサ10''の可撓性膜部30は、その中に複数のオリフィス31を形成される点が異なる。したがって、アクチュエータ40によって可撓性膜部30を撓ませることにより、複数の液滴が同時に生成される。1つあるいは複数の行をなして配列されることが好ましい。その場合に、オリフィス31は、最大の撓みを達成する可撓性膜部30の領域に配置される。30内に形成されるオリフィス31の数、および/またはオリフィス31の行の数は変更される場合があることは理解されよう。changed.【0040】図8は、フレックステンショナル・トランスデューサアセンブリ14の一部の一実施形態を示す。14.フレックステンショナル・トランスデューサアセンブリ14は液滴吐出装置を形成し、流動性材料の液滴を吐出する複数のフレックステンショナル・トランスデューサ10を備える。Leトランスデューサアセンブリ14は、フレックステンショナル・トランスデューサ10のアレイを含む。したがって、一実施形態では、フレックステンショナル・トランスデューサアセンブリ14は、その中に複数の流体キャビティ21を画定する支持体20と、支持体20によってそれぞれ支持される複数の可撓性膜部30と、複数のアクチュエータ40とを備える。40は、上記のように、可撓性膜部30を撓ませ、流体の液滴を吐出するように、1つの可撓性膜部30と関連する。30.【0041】フレックステンショナル・トランスデューサ10のアレイを形成するために、個々のフレックステンショナル・トランスデューサ10が互いに集団を形成する場合も本発明の範囲内にある。その場合に、フレックステンショナル・トランスデューサ10は、共通の支持体20を共有しない。フレックステンショナル・トランスデューサ10のみがアレイとして配列されるように示されるが、フレックステンショナル・トランスデューサアセンブリ14はフレックステンショナル・トランスデューサ10'あるいは10''のアレイを含む場合があることは理解されよう。.【0042】一実施形態では、フレックステンショナル・トランスデューサアセンブリ14のフレックステンショナル・トランスデューサ10は、直線状のアレイに配列される。その場合に、1つのフレックステンショナル・トランスデューサ10のオリフィス31は、別のフレックステンショナル・トランスデューサ、より具体的には、隣接するフレックステンショナル・トランスデューサ10のオリフィス31と位置合わせされる。具体的には、1つのオリフィス31の軸34が、隣接するオリフィス31の軸34と位置合わせされる。したがって、隣接するフレックステンショナル・トランスデューサ10のオリフィス31は、オリフィスの行16を形成する。フレックステンショナル・トランスデューサアセンブリ14のフレックステンショナル・トランスデューサ10は、直線状のアレイに配列されるように示されるが、以下に記載されるように、フレックステンショナル・トランスデューサ10が他のアレイに配列される場合も本発明の範囲内にある。as.【0043】図9は、フレックステンショナル・トランスデューサアセンブリ14の別の実施形態を示す。フレックステンショナル・アセンブリ114は複数のフレックステンショナル・トランスデューサ110を含む。支持体120は、フレックステンショナル・トランスデューサ10の支持体20と類似する。10.その場合に、支持体120は、フレックステンショナル・トランスデューサ10に関して上記したものと類似の複数の流体キャビティ121を含む。10.【0044】可撓性膜部130は、可撓性膜部30のオリフィス31に類似のオリフィス131を含む。-トランスデューサ10に関して上記したものと同じように、可撓性膜部130が撓むのに応じて流体キャビティ121からある量の流体を吐出するためのノズルを形成する。可撓性膜部130は、可撓性膜部30の間隔を置いて配置される縁部33に類似の間隔を置いて配置される一対の縁部133も含む。その場合に、一実施形態では、間隔を置いて配置される縁部133は、スリット35に関して先に記載されたとの同じように、間隔を置いて配置されるスリット135によって形成される。spacedも有する。一実施形態では、縁部138は、可撓性膜部130内に間隔を置いて配置されるスリット135の端部間に延在するスリット139によって形成される。136でのみ支持される。110は、流体キャビティ121にわたって広がる、あるいは延在するように、流体キャビティ121の一端部から片持ちされる。130の遊端を構成する。130に関連し、可撓性膜部130を撓ませる。一実施形態では、アクチュエータ140は、可撓性膜部130の流体キャビティ121とは反対側に設けられ、より具体的には、そこに取り付けられるか、あるいは形成される。formed.さらに、オリフィス131は、可撓性膜部130の遊端137に隣接して設けられる。131と、支持端136との間に配置される。136.【0047】アクチュエータ140に電気信号が加えられるとき、アクチュエータ140は、その電気信号に応答して、可撓性膜部130に力を加える。case,可撓性膜部130は、端部137において最大の撓みが生じるように撓む。それゆえ、オリフィス131は、最大の撓みを達成する可撓性膜部130の領域に配置される。したがって、アクチュエータ140に周期的に電気信号を加えることにより、可撓性膜部130は、好ましくは共振状態まで振動し、オリフィス131から流体の液滴を吐出する。131.【0048】一実施形態では、フレックステンショナル・トランスデューサアセンブリ114のフレックステンショナル・トランスデューサ110は直線状のアレイに配列される。110,より具体的には、隣接するフレックステンショナル・トランスデューサ110のオリフィス131と位置合わせされる。具体的には、1つのオリフィス131の軸134は隣接するオリフィス131の軸134と位置合わせされる。隣接するフレックステンショナル・トランスデューサ110のオリフィス131は、オリフィスの行116を形成する。orifice.【0049】図10は、フレックステンショナル・トランスデューサアセンブリ114の別の実施形態を示す。114.フレックステンショナル・トランスデューサアセンブリ114'はフレックステンショナル・トランスデューサアセンブリ114に類似であるが、フレックステンショナル・トランスデューサ110が互い違いの直線状のアレイに配列される点が異なる。11031は、別のフレックステンショナル・トランスデューサ110、より具体的には、隣接するフレックステンショナル・トランスデューサ110のオリフィス131に対してオフセットされる。adjacentの軸134に対してオフセットされる。line.【0050】図11は、フレックステンショナル・トランスデューサアセンブリ114の別の実施形態を示す。114.フレックステンショナル・トランスデューサアセンブリ114''はフレックステンショナル・トランスデューサアセンブリ114と類似であるが、フレックステンショナル・トランスデューサ110が少なくとも2つのオフセットされた直線状のアレイに配列される点がことなる。その場合に、1つのフレックステンショナル・トランスデューサ110のオリフィス131は、別のフレックステンショナル・トランスデューサ110のオリフィス131に対してオフセットされる。array10の軸132に対してオフセットされる。1つのオリフィス131の軸134は、隣接するオリフィス131の軸134と位置合わせされる。offsetはオリフィスの第2の行116''を形成する。orifice.【0051】フレックステンショナル・トランスデューサ110の2つの直線状アレイは同じ方向に向けられるように示されるが、フレックステンショナル・トランスデューサ110が、他の形状に配列される場合も本発明の範囲内にある。''を形成するフレックステンショナル・トランスデューサ110が、180°だけ回転される場合がある。110は2つの反対側にある、オフセットされた直線状アレイを形成する。110によって形成される直線状アレイの数は変更される場合がある。vary.【0052】図12は、フレックステンショナル・トランスデューサアセンブリ114の別の実施形態を示す。-トランスデューサ110が放射状のアレイに配列される点が異なる。その場合に、1つのフレックステンショナル・トランスデューサ110のオリフィス131は、別のフレックステンショナル・トランスデューサ110のオリフィス131からオフセットされる。110のオリフィス131から放射状にオフセットされる。したがって、1つのフレックステンショナル・トランスデューサ110の軸132は、別のフレックステンショナル・トランスデューサ110の軸132と収束する。114'''の共通の点から所定の距離だけ径方向に間隔を置いて配置される。Leトランスデューサアセンブリ114'''の可撓性膜部130の遊端137は、支持端136の内側に向かって放射状に配置される。131が、多数の行、互い違いの行および/またはオフセットされた行を含む他の形状に配列される場合も本発明の範囲内にある。その場合に、オリフィス131は、オリフィスの「シャワー噴水口」状のアレイを形成する場合もある。orifices.【0054】一実施形態では、フレックステンショナル・トランスデューサアセンブリ114'''のフレックステンショナル・トランスデューサ110の可撓性膜体130は、遊端137が支持端136より狭くなるように先細にされる。したがって、可撓性膜部130の間隔を置いて配置される縁部133、それゆえ間隔を置いて配置されるスリット135は、フレックステンショナル・トランスデューサアセンブリ114'''の共通の点に向けて収束する。流体キャビティ121の相対する側面123が先細にされる。それゆえ、可撓性膜部130の間隔を置いて配置される縁部133は、流体キャビティ121の相対する側面123に従う。121.【0055】図13は、フレックステンショナル・トランスデューサ110の別の実施形態を示す。220と、可撓性膜部230と、アクチュエータ240とを備える。支持体220、可撓性膜部230およびアクチュエータ240は、フレックステンショナル・トランスデューサ110の支持体120、可撓性膜部130およびアクチュエータ140とそれぞれ類似であるが、可撓性膜部230は、その中に複数のオリフィス231を形成される点が異なる。240によって可撓性膜部230を撓ませることにより、複数の液滴が同時に生成される。time.【0056】一実施形態では、オリフィス231は、可撓性膜部230の間隔を置いて配置される縁部233に概ね垂直に向けられる軸234に沿って位置合わせされる。その場合に、オリフィス231は、最大の撓みを達成する可撓性膜部230の領域に配置されるオリフィスの行216を形成する。オリフィス231は軸234に沿って位置合わせされるように示されるが、オリフィス231が多数の行、互い違いの行および/またはオフセットされた行を含む他の形状に配列される場合も本発明の範囲内にある。可撓性膜部230内に形成されるオリフィス231の数は変更される場合があることは理解されよう。understood.【0057】図14は、本発明によるインクジェットプリンティングシステム50の一実施形態を示す。インクジェットプリンティングシステム50は、インクジェットプリントヘッドアセンブリ52と、インク供給アセンブリ54と、取付けアセンブリ56と、媒体移送アセンブリ58と、電子コントローラ60とを備える。インクジェットプリントヘッドアセンブリ52は、インク滴を印刷媒体59上に吐出する複数のフレックステンショナル・トランスデューサ10、110あるいは210をそれぞれ含む、1つあるいは複数のプリントヘッドを備える。ような任意のタイプの適当なシート材料である。paper.【0058】典型的には、フレックステンショナル・トランスデューサ10、110あるいは210は、1つあるいは複数の列あるいはアレイに配列される。other,印刷媒体59上に文字、記号および/または他のグラフィクスあるいは画像が印刷されるようになる。一実施形態では、種々の色のインクのような種々の特性を有する流体を吐出するために、個別のフレックステンショナル・トランスデューサ10、110あるいは210が設けられる場合がある。52,インクを収容するための収容部55を備える。210の流体収容部24に流れる。一実施形態では、インクジェットプリントヘッドアセンブリ52およびインク供給アセンブリ54は、インクジェットカートリッジあるいはペン内に一緒に収容される。52,供給管のような境界接続部を通して、インクをインクジェットプリントヘッドアセンブリ52に供給する。いずれの実施形態でも、インク供給アセンブリ54の収容部55は、取り外され、交換され、かつ/または詰め替えられる場合がある。refilled.【0060】インクジェットプリントヘッドアセンブリ52およびインク供給アセンブリ54がインクジェットカートリッジ内に一緒に収容される一実施形態では、収容部55は、カートリッジ内に配置される内部収容部と、カートリッジとは個別に配置される、より大きな収容部とを備える。その場合に、個別の、より大きな収容部は内部収容部を詰め替えるための役割を果たす。したがって、個別の、より大きな収容部および/または内部収容部が、取り外され、交換され、かつ/または詰め替えられる場合がある。refilled.【0061】取付けアセンブリ56は、媒体移送アセンブリ58に対してインクジェットプリントヘッドアセンブリ52を位置決めし、媒体移送アセンブリ58は、インクジェットプリントヘッドアセンブリ52に対して印刷媒体59を位置決めする。一実施形態では、インクジェットプリントヘッドアセンブリ52は、走査型プリントヘッドアセンブリである。その場合に、取付けアセンブリ56は、印刷媒体59を走査するために、媒体移送アセンブリ58に対してインクジェットプリントヘッドアセンブリ52を移動させるためのキャリッジを備える。別の実施形態では、インクジェットプリントヘッドアセンブリ52は、非走査型のプリントヘッドアセンブリである。その場合に、取付けアセンブリ56は、媒体移送アセンブリ58に対して所定の位置にインクジェットプリントヘッドアセンブリ52を固定する。したがって、媒体移送アセンブリ58は、インクジェットプリントヘッドアセンブリ52に対して印刷媒体59を位置決めする。56と、媒体移送アセンブリ58と通信を行う。電子コントローラ60は、コンピュータのようなホストシステムからデータ61を受信し、データ61を一時的に格納するためのメモリを備える。61,電子、赤外線、光あるいは他の情報転送経路に沿ってインクジェットプリンティングシステム50に送信される。データ61はたとえば、印刷すべきドキュメントおよび/またはファイルを表す。61は、インクジェットプリンティングシステム50のための印刷ジョブを形成し、1つあるいは複数の印刷ジョブコマンドおよび/またはコマンドパラメータを含む。10,110あるいは210からインク滴を吐出するためのタイミング制御を含む、インクジェットプリントヘッドアセンブリ52の制御を行う。その場合に、電子コントローラ60は、印刷媒体59上に文字、記号および/またはその他のグラフィックスあるいは画像を形成する、吐出されるインク滴のパターンを画定する。タイミング制御、それゆえ、吐出されるインク滴のパターンは、印刷ジョブコマンドおよび/またはコマンドパラメータによって決定される。parameters.【0064】上記の説明は、インクジェットプリンティングシステム50においてフレックステンショナル・トランスデューサ10を含む場合を参照しているが、フレックステンショナル・トランスデューサ10が、医療用噴霧器のような印刷以外のアプリケーションあるいはシステムを含む他の流体吐出システムに組み込まれることができることは理解されよう。description,フレックステンショナル・トランスデューサ10から流体あるいはインクを吐出することを参照しているが、フォトレジストのような液体、あるいはタルカムパウダーのような流動性粒子を含む、任意の流動性材料がフレックステンショナル・トランスデューサ10から吐出される場合があることは理解されよう。understood.【0065】間隔を置いて配置される縁部33を有するフレックステンショナル・トランスデューサ10の可撓性膜部30を形成することにより、フレックステンショナル・トランスデューサ10は、コンパクトなアレイに配列することができる。具体的には、フレックステンショナル・トランスデューサ10、それゆえ、オリフィス31は、従来のフレックステンショナル・トランスデューサ90より近接して配列することができる。したがって、複数のフレックステンショナル・トランスデューサ10のオリフィス31の密度は、同じ液滴体積および液滴速度を保持しながら高めることができる。その場合に、フレックステンショナル・トランスデューサアセンブリ14を用いて、吐出される流体の全体積を増加させることができる。30は、全ての側面ではない側面上で支持あるいは固定される。その場合に、可撓性膜部30は、従来のフレックステンショナル・トランスデューサ90の円形の可撓性膜94より撓みやすくなる。therefore,可撓性膜部30のオリフィス31を通る液滴の吐出速度をより速くすることができる。アクチュエータ20によって加えられる力の総和が同じである場合、可撓性膜部30は、従来のフレックステンショナル・トランスデューサ90の円形の可撓性膜94より小さく形成することができる。10、それゆえ、フレックステンショナル・トランスデューサアセンブリ14を小さく形成することができる。31を設けることができる。provided.【0067】従来のフレックステンショナル・トランスデューサ90の円形の可撓性膜94によって必要とされるように、全外周縁部に沿ってではなく、端部36および/または37においてのみ可撓性膜部30を支持あるいは固定することにより、フレックステンショナル・トランスデューサ10はより大きな設計の柔軟性を提供する。フレックステンショナル・トランスデューサ10は、より大きな自由度を提供する。具体的には、円形の可撓性膜94が径方向のみに自由度を有するのに対して、可撓性膜部30は、xおよびy方向に自由度を有する。Leトランスデューサ10によって被ることになる設計上の制約は小さくなる。サイズ、液滴速度等のような設計基準をより管理しやすくする。velocity.【0068】好ましい実施形態を説明するために、本明細書において特定の実施形態が図示および記載されてきたが、本発明の範囲から逸脱せずに同じ目的を達成することを意図した多種多様な代替および/または等価な実施形態が、図示および記載された特定の実施形態の代わりに用いられる場合があることは当業者には理解されよう。コンピュータ技術の専門家には、本発明が多種多様な実施形態において実施される場合があることは容易に理解されよう。本特許出願は、本明細書で説明された好ましい実施形態の任意の適用形態および変更形態を網羅することを意図している。それゆえ、本発明は、特許請求の範囲およびその均等物によって制限されることを明らかに意図している。140)トランスデューサアセンブリ。(22)内に配置される(1)に記載のフレックステンショナル・トランスデューサアセンブリ。前記各可撓性膜部(30、130)の前記間隔を置いて配置される一対の縁部は、間隔を置いて配置される一対のスリット(35、135)によって形成される(1)に記載のフレックステンショナル・トランスデューサアセンブリ。前記アクチュエータ(40、140)はそれぞれ圧電性材料を含む(1)に記載のフレックステンショナル・トランスデューサアセンブリ。(32,132)を含み、前記可撓性膜部(30、130)のうちの1つの可撓性膜部(30、130)の前記軸は、前記可撓性膜部(30、130)のうちの隣接する可撓性膜部(30、130)の前記軸に概ね平行に向けられる(1)に記載のフレックステンショナル・トランスデューサアセンブリ。(32,132)を含み、前記可撓性膜部(30、130)のうちの1つの可撓性膜部(30、130)の前記軸は、前記可撓性膜部(30、130)のうちの隣接する可撓性膜部(30、130)の前記軸とある角度をなして向けられる(1)に記載のフレックステンショナル・トランスデューサアセンブリ。(30,130)のうちの関連する可撓性膜部(30、130)の前記軸に概ね垂直に延在する軸(34、134)を有する(5)に記載のフレックステンショナル・トランスデューサアセンブリ。(31,131)の前記軸と位置合わせされる(7)に記載のフレックステンショナル・トランスデューサアセンブリ。(30,130)のうちの別の可撓性膜部(30、130)の前記オリフィス(31、131)の前記軸に対してオフセットされる(7)に記載のフレックステンショナル・トランスデューサアセンブリ。(30,130)のうちの隣接する可撓性膜部(30、130)の前記オリフィス(31、131)の前記軸と位置合わせされる(7)に記載のフレックステンショナル・トランスデューサアセンブリ。130)つの可撓性膜部(30、130)の前記オリフィスの前記軸は、前記可撓性膜部(30、130)のうちの隣接する可撓性膜部(30、130)の前記オリフィスの前記軸に対してオフセットされる請求項7に記載のフレックステンショナル・トランスデューサアセンブリ。前記各可撓性膜部(30、130)の前記オリフィス(31、131)は、共通の点から所定の距離だけ径方向に間隔を置いて配置される(1)に記載のフレックステンショナル・トランスデューサアセンブリ。(30、130)のうちの1つとそれぞれ関連する複数のアクチュエータ(40、140)とを備え、前記可撓性膜部(30、130)はそれぞれ、前記アクチュエータのうちの関連するアクチュエータに電気信号を加えるのに応じて撓むように構成されるインクジェットプリンティングシステム。(30,130)が撓むのに応じて、ある量の前記流体を吐出するように構成されるノズルを画定する(13)に記載のインクジェットプリンティングシステム。(30,130)を撓ませるのを容易にする、該コンプライアント機構(33、133;35、135;138;139)とを備えるフレックステンショナル・トランスデューサアセンブリ。[0070]【発明の効果】上記のように、本発明によれば、個々のフレックステンショナル・トランスデューサの構造、および複数のフレックステンショナル・トランスデューサの配列の柔軟性を高めることができるフレックステンショナル・トランスデューサを、具体的には、コンパクトなアレイを構成できるようにし、それゆえ、複数のフレックステンショナル・トランスデューサのオリフィスの密度を高めることができるフレックステンショナル・トランスデューサを実現することができる。DRAWINGS【図1】本発明によるフレックステンショナル・トランスデューサの一部の一実施形態の斜視図である。FIG.【図2】フレックステンショナル・トランスデューサの一実施形態を示す、図1の線3−3に沿って見た断面図である。FIG.【図3】フレックステンショナル・トランスデューサの別の実施形態を示す、図2に類似の断面図である。FIG.【図4】フレックステンショナル・トランスデューサの一実施形態を示す、図1の線4−4に沿って見た断面図である。FIG.【図5】フレックステンショナル・トランスデューサからの流体の吐出を示す、図4に類似の断面図である。FIG.【図6】図1のフレックステンショナル・トランスデューサの別の実施形態を示す斜視図である。FIG.【図7】図1のフレックステンショナル・トランスデューサの別の実施形態を示す斜視図である。inventionトランスデューサアセンブリの一部の一実施形態の斜視図である。inventionトランスデューサアセンブリの一部の別の実施形態の斜視図である。assembly.【図10】図9のフレックステンショナル・トランスデューサアセンブリの別の実施形態の斜視図である。FIG.【図11】図9のフレックステンショナル・トランスデューサアセンブリの別の実施形態の斜視図である。FIG.【図12】図9のフレックステンショナル・トランスデューサアセンブリの別の実施形態の斜視図である。FIG.【図13】本発明によるフレックステンショナル・トランスデューサの一部の別の実施形態の斜視図である。invention.【図14】本発明による複数のフレックステンショナル・トランスデューサを含むインクジェットプリンティングシステムの一実施形態を示すブロック図である。invention.【図15】従来技術のフレックステンショナル・トランスデューサの斜視図である。art.【図16】図15の線1−1に沿って見た断面図である。portion,前記アクチュエータのうちの関連するアクチュエータに電気信号を加えるのに応じて撓むように構成されるフレックステンショナル・トランスデューサアセンブリ。前記間隔を置いて配置される一対の縁部は、前記支持体の前記側壁のうちの関連する側壁内に配置される請求項1に記載のフレックステンショナル・トランスデューサアセンブリ。前記各可撓性膜部の前記間隔を置いて配置される一対の縁部は、間隔を置いて配置される一対のスリットによって形成される請求項1に記載のフレックステンショナル・トランスデューサアセンブリ。前記アクチュエータはそれぞれ圧電性材料を含む請求項1に記載のフレックステンショナル・トランスデューサアセンブリ。前記複数の可撓性膜部はそれぞれ、その相対する端部間に延在する軸を含み、前記可撓性膜部のうちの1つの可撓性膜部の前記軸は、前記可撓性膜部のうちの隣接する可撓性膜部の前記軸に概ね平行に向けられる請求項1に記載のフレックステンショナル・トランスデューサアセンブリ。portion,トランスデューサアセンブリ。portion,前記可撓性膜部のうちの関連する可撓性膜部の前記軸に概ね垂直に延在する軸を有する請求項5に記載のフレックステンショナル・トランスデューサアセンブリ。前記可撓性膜部のうちの1つの可撓性膜部の前記オリフィスの前記軸は、前記可撓性膜部のうちの別の可撓性膜部の前記オリフィスの前記軸と位置合わせされる請求項7に記載のフレックステンショナル・トランスデューサアセンブリ。前記可撓性膜部のうちの1つの可撓性膜部の前記オリフィスの前記軸は、前記可撓性膜部のうちの別の可撓性膜部の前記オリフィスの前記軸に対してオフセットされる請求項7に記載のフレックステンショナル・トランスデューサアセンブリ。前記可撓性膜部のうちの1つの可撓性膜部の前記オリフィスの前記軸は、前記可撓性膜部のうちの隣接する可撓性膜部の前記オリフィスの前記軸と位置合わせされる請求項7に記載のフレックステンショナル・トランスデューサアセンブリ。前記可撓性膜部のうちの1つの可撓性膜部の前記オリフィスの前記軸は、前記可撓性膜部のうちの隣接する可撓性膜部の前記オリフィスの前記軸に対してオフセットされる請求項7に記載のフレックステンショナル・トランスデューサアセンブリ。point,トランスデューサアセンブリ。portion,前記アクチュエータのうちの関連するアクチュエータに電気信号を加えるのに応じて撓むように構成されるインクジェットプリンティングシステム。portion,前記各可撓性膜部の前記オリフィスは、前記可撓性膜部のうちの前記関連する可撓性膜部が撓むのに応じて、ある量の前記流体を吐出するように構成されるノズルを画定する請求項13に記載のインクジェットプリンティングシステム。前記各アクチュエータに隣接するコンプライアント機構であって、前記コンプライアント機構は前記可撓性膜部のうちの関連する可撓性膜部を撓ませるのを容易にする、該コンプライアント機構とを備えるフレックステンショナル・トランスデューサアセンブリ。