細く絞った電界放出型(FE)電子ビームを試料の微小領域に照射し、そこから発生するX線などを検出することによって、数μm以上の極小部を元素分析することができる装置です。金属分野をはじめとして、主に無機分野で利用されており、試料中元素の定性・定量分析はもとより、試料表面の元素分布状態についての情報を得ることが可能です。samples.WDSとEDSの組み合わせで効率的なデータ収集が可能。・広領域のステージスキャンマップにも対応。・EDSはアクティブマップ(全スペクトル同時取り込み)利用可能。EDSWDSとEDSの組み合わせで効率的なデータ収集が可能。・広領域のステージスキャンマップにも対応。・EDSはアクティブマップ(全スペクトル同時取り込み)利用可能。下段:EDS反射電子組成像とEDS/WDSコンバインカラーマップ近畿大学共同利用センターに関するお問い合わせは、以下のメールアドレスにお気軽にお問い合わせください。