微細加工も可能な1ナノ分解能微細加工機NIC。自由曲面も、大面積も、超極小レンズも。微細加工(または高度・複雑な自由曲面の創成)■自由曲面上への微細溝加工(自由曲面sinカーブ加工)直線軸3軸(X,Y,Z)と回転軸3軸(B,C1,C2)を用いて、自由曲面上に工具面直にて多様な微細形状加工が可能。溝ピッチ精度は±0.15μm以内。700または1600×900mmまでのマシン開発実績。大型の導光板や反射板、偏光シートなどの光学フィルムから大型レンズ金型まで対応可能。おける精度は、前後、左右に加工した交点に現れます。1μmの四角錐加工でもシャープな交点を実現しています。被削材:NiPメッキ■光学シート金型サンプル(微細V溝加工)90°Vバイトにて、深さ2μmの溝をピッチ4μmで40125本創成。ワークへの工具転写の結果からX-Z軸の補間精度は20nm程度であることが分かる。■光学シート金型サンプル(微細V溝sinカーブ加工)90°Vバイトにて、深さ1μmの溝をピッチ2μmで10000本創成。ワークへの工具転写の結果からX-Y-C軸の補間精度は150nm程度となっている。独自の加工システムによりφ50μm~φ500μmまでの極小レンズ加工を達成。超高アスペクト比なレンズ加工も可能。■高面積への極小レンズ加工(A4サイズまでの実績)高面積へのマイクロレンズアレイ加工が可能。工具磨耗が極小で、超高品位な加工が可能。面粗さ:Ra2.1nm、Rz15.3nm。目指すは「転写誤差ゼロ」。マシン精度、繰り返し再現性を極限まで追求。ゼロ」を目指す究極のナノ加工機。長年のナノマシン開発によって徹底的に磨かれた非接触油静圧案内をX、Y、Z、C1軸に採用。ナノ単位での指令値に対して、究めて優れた追従性能、加工点での圧倒的な繰り返し再現性を実現。2.高速送りと高品位加工を両立。独自開発の超精密リニアモータ駆動方式。X、Y軸のアクチュエータ駆動方式には独自開発の超精密リニアモータを採用。各機でZ軸(上下)への搭載も実現としました(OP)。X,Y軸の送り速度は25m/min、Z軸は1m/min。各々の同期運動精度を向上させつつ、従来以上に高品位な加工を高速に実現できます。3.同時6軸制御で多彩な加工。新たに開発された工具旋回軸(B、C2)にて、同時6軸制御を可能にしました(OP)。従来機では不可能としていた自由曲面上の2方向に面直加工を実現。1ナノ分解能送りのX、Y、Z軸、ワーク回転軸C1軸との同期により、レンズや照明などの金型表面への多彩な加工が可能です。4.精緻な構造解析に基づいたマシン設計。ベッド、サドル、テーブル、コラム等は、高度に計算され、経験に裏打ちされた高剛性構造。可能な限り熱対称構造の設計原理を取り入れて、長時間の加工および周辺温度環境の変化に対しても考慮された設計となっています。0.001(標準仕様)または0.0001(OP)単位での超精密な油温管理を実現。温度変化による機械姿勢や軸の変化を徹底的に抑制。切削用加工液またはミスト状加工液温度を加工点近傍で±0.1°Cで安定制御(標準仕様)。ナノバック製品の中から、お客様の行われたい加工にあった加工液を選定し、ご提供することが可能です(OP)。7.10年経っても変わらぬ精度と価値。非接触の案内面を使用しているため、長期にわたる使用においても精度劣化が極小です。SUSを多用したカバーリングで、経年使用後も美しいままお使い頂くことができます。CAD/CAMなど貴社の微細加工をトータルにサポート。繰り返し再現性高く、高精度な微細加工を行うためには、機械単体ではなく加工全体を捉えた「加工システム」の設計と構築が必要です。ここからナガセでは微細加工に適した除振台、チャンバ、測定機器、CAD/CAMまでをセットにしてご提案しています。詳しくは下記オプション欄をご参照下さい。■直線軸(X、Y、Z軸)とワーク回転軸(C1軸)を用いた加工の様子。実現しているため、ZYGOなどの白色干渉計を取付けて、機上にて非接触に表面形状測定が可能です。■5軸制御タイプで可能な加工(※3軸、4軸制御仕様も有り)■6軸制御タイプで可能な加工(※旋回軸は、工具軸にも、テーブル軸にも設定可能)オプション唯一無二の加工システムの構築のために必要な技術、数多くのアイデアがあります。加工機自身の変形や工作物の熱変形を抑えるために、1/100°Cまたは1/1000°C単位で温度を制御。回転中の工具をサブミクロンの分解能で測定。ツール先端位置や径の自動測定、各種の工具振れ測定が可能です。測定したデータは数値出力・ビジュアル出力にて確認できます(OP)。作業者の技術スキルの依存度を最小化させるための加工支援の数値演算ソフトを充実。非球面等の関数曲面にも対応でき、関数式入力でCAD/CAMプログラムへの変換も容易に可能(OP)。34■内容・仕様等は、予告無く変更することがあります。説明の内容や写真はオプション仕様を含んでおりますので、御発注の際には、製作仕様書にて確認下さい。測定条件や加工条件に依って異なる場合があります。■製品を転売、又は、輸出される場合がありましたら、弊社までご連絡ください。製品を輸出等される場合は、外為法の定めるところに従い、必要な手続きをお取り下さい。■本製品を国際的平和及び安全の妨げとなる使用目的を有するものに再提供したり、また、そのような目的に自ら使用したり、第三者に使用させたりしないようにお願いします。関連項目へのリンク・微細加工(自由曲面・シェイパ・ミーリング・レンズ)のワーク・微細加工(ロールのシェイパ加工)のワークお問合せ先ご相談内容に応じて、各地域の営業担当者より最適なご提案・ご対応をさせて頂きます。設備をご検討のお客様には、テスト加工や工場見学を行なっております。ご興味のある製品に関して、お気軽にお問合わせ下さい。FAX:0575-46-2325。