3(j,以及偏差的最大值(MAX)、最小值(MIN)、范围(Range)和分布型(变形度、尖度)。bar)的操作来进行。3o、偏差的最大值(MAX)、最小值(MIN)、范围(Range)小者较佳。此外,变形度近于0(左右对称性好)、尖度大(分布集中)者较佳。根据此为r显示单位-各单一晶片j的指定,而显示于l晶片上。,,ShotData,,按钮来执行。3d、偏差的最大值(MAX)、最小值(MIN)、范围(Range)以及分布型(变形度、尖度)以数值显示。