主控制系统220连接于前述之LAN110。system接下来,关于对准系统AS的构成参考图3加以说明。Y轴用第二中继透镜358Y、以2维CCD构成的Y轴用摄影组件360Y。342、分束器344、镜346以及物镜348而照射到晶片W上的对准标记MA附近。后,来自对准标记MA的反射光,透过物镜348、反射镜346、分束器344、以及聚光透镜350照射到指标板352上,而于指标板352上形成对准标记MA的像。透过分束器356的光通过X用第2中继透镜358X集束在X轴用摄影組件360X的摄影面上,而在分束器356上所反射的光,通过Y轴用第2中继透镜集束在358Y在Y轴用摄影组件360Y的摄影面上。MA的像和指针板352上的指针标记像。