其中,Bi含量例如为大于0原子%,并且3原子%以下、优选为2原子%以下、更优选为1原子%以下。在溅射靶中的Bi含量越大越好。Bi含量例如为0.1原子%以上,优选为0.5原子%以上。这时,Bi含量也可以为1.0原子%以上(例如1.5原子%以上)。(以下称为“第3辅助元素”)。上述第1辅助元素例如有:Mg、Pd、Pt、Au、Zn、Al、Ga、In、Sn、Sb、Li、Cd、Hg、As等。第1辅助元素优选为Mg、Pd、Pt、Au、Zn、Al、Ga、In、Sn、Sb,更优选为Pd、Pt、Au。上述第2辅助元素例如有:Be、Ru、Rh、Os、Ir、Cu、Ge、V、Nb、Ta、Cr、Mo、W、Mn、Re、Fe、Co、Ni、Si、Tl、Pb等。第2辅助元素优选为Be、Ru、Rh、Os、Ir、Cu、Ge,更优选为Rb、Cu。上述第3辅助元素例如有:Y、La、Ce、Nd、Sm、Gd、Tb、Dy、Ti、Zr、Hf、Na、Ca、Sr、Ba、Sc、Pr、Eu、Ho、Er、Tm、Yb、Lu、S、Se、Te等。第3辅助元素优选为Y、La、Ce、Nd、Sm、Gd、Tb、Dy、Ti、Zr、Hf,更优选为Y、Nd。5原子%以下,优选为约3原子%以下,更优选为约2原子%以下。Bi固溶,由此可以抑制Bi的偏析。350°C以上,优选为约400°C以上,更优选为约500°C以上,特别优选为约600°C以上。0.3小时以上,优选为约0.5小时以上,更优选为约2小时以上,特别优选为约4小时以上。以防止均匀固溶的Bi再偏析。3°C/分钟以上,优选为约5°C/分钟以上,更优选为约10°C/分钟以上,进一步优选为约20°C/分钟以上。830°C以下,优选为800°C以下,更优选为750°C以下。13小时以下,优选为10小时以下,更优选为8小时以下,特别优选为6小时以下。