高精度割出回転テーブル加工面積φ2700で、サブミクロンの回転精度。ナノ加工にも対応できるロータリーインデックステーブル(割出機能はφ1300まで)をご紹介。類のない精度とサイズの回転テーブル、割出テーブル。超精密ロータリーテーブルやインデックステーブルは1nm、10nm単位の表面粗さの追求が必要な光学素子の微細加工や半導体ウェハ製造に対応するために開発された要素技術ユニットです。回転テーブルはφ2700ものサイズでも面ブレはわずか0.5μm以下。割出テーブルでは1ナノ制御加工機でのsin曲線加工において0.1μm単位で狂いのない加工を達成。これらを用いて、従来にない超精度の大型ラップ盤や割出研削盤などの開発が数多く行われているのです。採用したロータリー回転テーブルです。・多面拘束構造であるため、大型ワーク加工においてもテーブル面の振れが極少です。非接触構造であるため、高い回転精度を長期間維持することができます。・従来、大型ロータリーテーブルの回転精度は数μmであったのに対して、φ2700サイズでラジアル方向0.5μm、スラスト方向0.2μmという驚異的な回転精度を実現。・振動の減衰性のある構造で、外部の擾乱に影響を受けにくく、加工品位の高い加工が可能です。・高い品位とともに、回転精度が高いため、大型ラップ盤では砥粒作用率が高く、能率の高い加工が可能。・X軸・Y軸などとの同期制御が可能で、従来にない大型サイズのロータリー平面研削や非球面レンズ研削盤にも活用されています。・ナガセ独自の構造により、ノンバックラッシ、ロストモーションを可能とした高精度なロータリーインデックステーブル。搭載によって縦軸または横軸の割出加工や連続回転加工が可能です。10min-1~200min-1も設定可能。・X軸、Y軸などの複数軸との同期制御を行っての割出加工に対応できます。・縦型だけでなく、横型の大型ロータリーインデックスの製作にも対応(このユニットは弊社のナノマシン超精密旋盤でも使用されています)。※ユニットを利用したマシンの改良や専用機の開発は弊社営業または営業技術までお問い合わせ下さい。■横型ロータリーインデックスを搭載した超精密旋盤お問合せ先ご相談内容に応じて、各地域の営業担当者より最適なご提案・ご対応をさせて頂きます。設備をご検討のお客様には、テスト加工や工場見学を行なっております。ご興味のある製品に関して、お気軽にお問合わせ下さい。FAX:0575-46-2325。