EnglishENGLISHPRODUCTS製品情報ウエハ搬送システム大気用搬送ロボット真空用搬送ロボットアライナロードポート真空プラットフォームEFEM/ソータストッカマスク・レチクル搬送システムライフサイエンス関連製品ソフトウェアソリューションシステムインテグレーションサービスパッケージサービス制御機器コントローラステッピングモータ&ドライバ450mmウエハ対応製品ウエハ搬送システム:真空用搬送ロボットRR481L230概要R481ブーメランアーム真空ロボット(ダブル・アーム)は、駆動部にDDM(ダイレクトドライブモータ)を採用したことによって、高い位置再現性と信頼性の高い真空隔壁性能を実現しています。スチールベルトで駆動されるアーム機構により、小さな旋回エリアでありながらも長いエンドエフェクタの採用を実現しています。