HG200EHG200EはEtherCATインタフェースを採用したPI(プレッシャーインセンシティブ)マスフローコントローラ(質量流量制御器)です。PI制御により上流・下流圧の変動に対しても変動の無い優れた流量特性を実現しています。:本体に蓄積した履歴情報との照合により装置の健全性をチェック。ファームウエア・プリセットガスの(FoE転送による)リモート更新に対応。校正タイプ:MGMR(マルチガス・マルチレンジ)。5ガス分の設定(ガス種、流量等)を保持可。ETG-SEMIプロファイル準拠。