加速した電子線を対象試料に照射すると、いくつかの反応が現れます。それらのうち特性X線のスペクトルについて、電子線が照射されている微小領域における構成元素の検出・同定と、各構成元素の比率(濃度)の分析を行います。特性X線の波長は元素固有の波長を示すことから、その物質がどのような元素で構成されているのかを知ることができます。数mm領域から100mm角領域の元素分布分析(面分析)。mmの線上の元素分布分析(線分析)。