光洋サーモシステムは、ジェイテクトグループの一員として、持続可能な社会の実現を目指し、行動計画を策定し、継続的な活動に取り組んでいます。その活動には様々な取り組みがありますが、その一例として「環境に配慮した縦型炉の取り組み」を紹介します。ある縦型炉は、主に鉄鋼、ステンレス、アルミ等の金属材料を使って、装置の基本構造を構成していますが、機構部品においてはアルミ加工品を使用することが、一般的になっています。変化により、環境負荷影響も変化します。その時代に合った最適な使用部材を選定することが環境に配慮したモノづくりと考え、縦型炉に使用するアルミ材料の低減に取り組みました。VF-5100には、ウェハカセットをストックするためのターンテーブルを装備しています。ターンテーブルの形状及び材質見直し等の徹底的な最適化を実施、精度及び剛性を確保した状態でアルミ部材使用量の削減を実現しました。VF-5100商品に関するお問い合わせは、こちらまでお問合せください。当社製LGOヒータ(モルダサーム)を搭載した縦型炉は、低温(200°C)から高温(1150°C)まで、幅広く高品質な熱処理が可能です。断熱材の熱容量と放散熱量バランスを使用する温度域で最適化。ヒータの試作と検証テストを実施。パイロット生産用装置までの紹介です。ヒートエレメント省エネ・高効率・組立の容易さを実現するモルダサームヒータと半導体用カートリッジヒータの紹介です。