EnglishENGLISHPRODUCTS製品情報ウエハ搬送システム大気用搬送ロボット真空用搬送ロボットアライナロードポート真空プラットフォームEFEM/ソータストッカマスク・レチクル搬送システムライフサイエンス関連製品ソフトウェアソリューションシステムインテグレーションサービスパッケージサービス制御機器コントローラステッピングモータ&ドライバ450mmウエハ対応製品450mmウエハ対応製品RR493L230概要RR493/スカラアーム真空ロボット(シングル・アーム)は、駆動部にDDM(真空ダイレクトドライブモータ)を採用したことによって、高い位置再現性と信頼性の高い真空隔壁性能を実現しています。スチールベルトで駆動されるリンク・アーム機構により、小さな旋回エリアでありながらも長いエンドエフェクタの採用を実現しています。