材質やサイズ、汚染物質等に合わせた各種洗浄方式による洗浄装置。発生する有害物質から、作業者や室内を保護するための局所排気装置(ドラフトチャンバー)。必要とされる研磨(ラップ・ポリッシュ)装置。加工対象物の材質やサイズ、処理個数などに合わせてご提案させていただきます。前後工程で必要になってくる洗浄。洗浄対象物の材質やサイズ、汚染物質などに合わせてご提案させて頂きます。様々な洗浄方式がございます。横置きタイプスピン+スクラブ+薬液・洗浄タイプ洗浄→乾燥まで行えます。~Φ12インチまで対応が可能です。実験機や研究用途の場合はコンパクトに納まる横置きタイプがおすすめです。こちらの横置きタイプのスクラブは表面(片面)のみが通常仕様ですが、ロボットアーム機構追加による洗浄対象物反転も可能としており、両面スクラブも可能です。横置きスピン洗浄+縦置き両面スクラブを併せた装置もあり、省スペースでもクリーン度の向上を狙えます。純水+界面活性剤の簡易薬液洗浄からRCA洗浄、SC1洗浄、SC2洗浄等ノズルカスタムにより様々な洗浄方法へと発展させることも可能です。縦置きタイプスクラブ+薬液+MSシャワー・洗浄タイプ横置きに比べスペースを多くとってしまう装置になりますが、枚様式では無く、カセット枚数へと対応は可能です。1プロセスごとに洗浄対象物が入ることで、枚様式タイプの洗浄装置より、1カセット(25枚分)の洗浄時間の削減が可能です。グレー写真のものはウェットアウトの装置になりますが、ブラックの写真の機構<縦置きスピン乾燥機を取り付けることにより縦型で一連の洗浄プロセスを終え、乾燥まで行うことが可能です。される薬品や処理内容などに合わせて設計、製作、設置まで対応致します。製)やサイズなど、細かい点までご要望に沿った形状でご提案致します。半導体製造工程や研究機関におけるシリコンウエハーやガラス基盤などへのレジスト等の薬剤を効率よく回転塗布する為に欠かせないスピンコーターです。安価タイプから高性能タイプなど、細かい点までご要望に沿った仕様でご提案致します。AC100Vオプション御指定サイズや形状の試料台ロック式蓋、真空ポンプなど高性能タイプ高性能タイプの仕様は、安価タイプ仕様に以下の内容が追加された仕様となっております。開始/終了時での試料位置決め終了時逆圧による試料取り外し安易その他、細かい点までご要望に沿った仕様でご提案いたします。