series発塵の少ないウォーキングビーム方式を採用!耐熱カセットの一括搬送で高効率化を実現。特長ウォーキングビーム方式を採用オーブン内搬送にはクリーン性能に優れるウォーキングビーム方式を採用しております。耐熱カセットによるガラス基板の一括搬送を行うことで、高い生産効率を実現しております。ウォーキングビーム方式の採用で発塵を抑えたクリーンな各種熱処理が行えるオーブンです。耐熱カセットによるガラス基板の一括搬送を行うことで、高い生産効率を実現しています。パイロット生産用装置までの紹介です。ヒートエレメント省エネ・高効率・組立の容易さを実現するモルダサームヒータと半導体用カートリッジヒータの紹介です。