い生産性オーブン内ラックピッチを狭小化し、処理用途別にラック構造を専用設計(特許取得済)。収納効率が高くスペース効率、エネルギー効率に優れております。生産量に応じて使用するオーブン数を制限するなどフレキシブルな対応が可能です。当社独自のシャッター構造(特許取得済)によりオーブン内での基板の移動がありません。そのため移動に伴う基板のダメージやパーティクルの発生が一切ありません。高い稼働率シンプルな装置構造のため、トラブルによる装置停止の心配が少なく、安心してご使用いただけます。省エネルギーオーブン内負圧制御と高断熱構造により放熱量を低減しました。新開発の廃熱回収装置(特許出願中)によりエネルギーの有効利用を図ることが可能です。枚葉式オーブン、冷却ラックなどの機能ユニットを自由にレイアウトでき、クリーンルームの限られたスペースを有効に活用出来ます。あらゆる基板運用に対応可能ベーク後取り抜きや、ベークスルーなどあらゆる基板運用に対応が可能です。自動化ライン構築をサポートいたします。昇華物に対応済み長年にわたる昇華物対策への取り組みにより、独自のノウハウでフォトレジストのポストベークなど昇華物が発生する処理にも問題なくご使用いただけます。枚葉式クリーンオーブンCCBSシリーズは長年にわたり安定稼働を続ける液晶(LCD)、有機EL(OLED)用クリーン加熱オーブンのベストセラーモデルです。第10世代までのガラスサイズに対応し、高い生産性、ハイクリーン&基板ダメージのゼロ化を実現しています。ポストベーク時の昇華物にも対応しています。パイロット生産用装置までの紹介です。ヒートエレメント省エネ・高効率・組立の容易さを実現するモルダサームヒータと半導体用カートリッジヒータの紹介です。