湿式除害装置ドライエッチング装置~PFC燃焼除害装置の間に設置します。詳細については弊社営業部までお問い合わせ下さい。特長1:Panaceaでフッ素系ガス、後段のアルカリスクラバーで塩素系ガスを処理します。後段のアルカリスクラバーで塩素系ガスの処理を行います。特長2:燃焼除害装置で発生する発がん性物質の生成を抑制しています。塩素ガスをアルカリ処理し除去することで燃焼除害装置で発生する発がん性物質の生成を抑制しています。特長3:生産装置のダウンタイムの大幅な削減と燃焼除害装置のメンテナンスサイクルの向上を実現します。メンテナンスサイクルの向上がPanaceaの導入により実現可能となり、ユーザーから高く評価されています。参考データはこちらからどうぞ。お電話にてお伺いさせて頂きます。9:00~18:00(土日祝・年末年始は休み)メール弊社下記専用フォームよりお問い合わせください。担当者よりご連絡をさせて頂きます。お問い合わせ採用情報More。