:JEM-2010(日本電子データム)この装置は200kVで加速した電子線を試料に照射し、透過した電子を磁界型レンズで拡大させ、数100万倍ほど拡大した像を観察する装置である。:SU-8010(日立)この装置は試料の表面形状を、照射電圧1.0kVで1.3nmの高分解能(約30万倍)観察が可能。試料に電子線を照射することで元素に固有のエネルギーを持つX線が発生するので、付属のEDX(ホリバ製)によって特定の場所を1μmの分解能で短時間に多元素同時に定性定量分析ができる。X線回折装置:RINT-Ultima�V(リガク)この装置はX線の回折現象を利用して結晶構造の解析(物質の同定、格子定数の精密化等)を行う装置である。検出器にはシンチレーションカウンターと半導体検出器“D-TEX”を装備し、高いSN比をもつ回折パターンを短時間で得ることができる。励起Arをぶつけ、試料表面を削りながら測定することにより、深さ方向の組成の変化を観察できる。PMMA等の電子線感光材料上に、ミクロンオーダの微細な回路パターンを作成することが可能である。光波路等の作成に利用される。従来型の装置に比べCCDを用いた二次元検出器により、短時間で測定することが可能である。:NewView7300(Zygo)この装置は走査型白色干渉計をベースにした表面形状測定機である。測定することが可能である。PrimusIV(リガク)この装置は試料の上面からX線を照射し、発生する蛍光X線から試料中の成分の特定と定量を行う走査型分析装置である。Guidance”、デジタル計数システムや高速駆動のゴニオメータ、最適化された制御システムにより、高速・高精度で簡単に分析結果を得ることができる。軽元素の場合は含有量にもよるが、B〜Uまでの多元素について、多試料のルーチン測定が可能である。CG(リガク)この装置はNa〜Uまでの多元素を高精度・高感度で分析できる汎用エネルギー分散型蛍光X線分析装置である。大型試料室はA4サイズの大きな試料もそのままセットして分析できるだけでなく、サンプルチェンジャを取り付けることにより試料カップに入る程度の複数の小型試料(最大15個)を自動でルーチン分析することも可能である。Reserved.トップページサイトマップ。