累計出荷台数約500台以上のベストセラー機の後継機種です。従来のシリーズに加えオートフォーカス機能が標準装備となりました。FPT-8000シリーズ・fast-FINEシリーズの置き換えに最適です。500x500において)FPT8000シリーズの約3倍fast-FINEシリーズの約1.5倍さらに今まで弊社検査装置をご利用いただいているお客様に限り、既存装置の無料引取りまたは、当社規定による無料メンテナンスを行います。詳しくは弊社営業担当または、代理店までお気軽にお尋ねください。カスタマイズもお気軽にご相談ください。ガラスマスク・フィルムマスク検査装置SIMPLEタイプに加え、データ比較、Die比較検査が可能となるタイプです。ガラスマスク・メタルマスク検査装置BASICよりさらに比較検査分解能を向上しました。高分解能の検査を行います。データ比較(GDS�U)・Die比較検査・DRC検査を行います。ワークサイズ350x350以内XET-SPECIALカスタマイズ品お客様のご要望に応じて画像処理〜メカ設計までカスタマイズ致します。