MC/MCRシリーズ(標準タイプ)混合ガスを含め98種のガスに対応。F.S.)の正確度で100msの制御応答。積算オプションをつけることでバッチ制御も可能。※負圧および真空引きでご使用の場合は別途ご相談ください。MCS/MCRSシリーズ(腐食性ガス/冷媒ガス対応)標準タイプで可能なガスに加え、腐食性ガス/冷媒ガスを含め128種のガスに対応。材質は316Lステンレススチール、FFKM(Kalrez)を使用。標準タイプ同様の機能、オプションに対応します。※負圧および真空引きでご使用の場合は別途ご相談ください。MCW/MCRWシリーズ(低圧力損失タイプ)標準タイプに比べ、極めて小さな圧力損失。低圧のアプリケーションに対応。0.5SCCMから1000SLPMまでラインナップ。※負圧および真空引きでご使用の場合は別途ご相談ください。MCV/MCVSシリーズ(シャットオフバルブ搭載)流路に制御バルブを内蔵し、外部にシャットオフバルブを搭載。気密性が求められるアプリケーションに対応。MCVSシリーズは腐食性ガスに対応します。MCD/MCRDシリーズ(デュアルバルブ)バルブを2基搭載し、双方向制御が可能。加圧や負圧、真空引きでの制御が行えます。腐食性ガスおよび低圧力損失に対応したモデルもラインナップ。パルスコンバータ個人情報保護方針|会社概要|お問い合わせ。