(60).(JA)マニピュレータ(30)と、基板把持ハンド(20)と、基板把持ハンド(20)をロール軸回りに回転させるアクチュエータ(40)と、基板(10)を基板把持ハンド(20)の第1係合部材(51)と第2係合部材(52)で保持するように、マニピュレータ(30)を動作させる(A)と、(A)の後、基板(10)の第1主面(10A)がベース部材(50)よりも上方に位置し、かつ、第1主面(10A)の法線が水平面(H)よりも下方を向くように、アクチュエータ(40)を動作させる(B)と、可動ガイド部材(60)がベース部材(50)の先端部側に移動して、第2係合部材(52)と第3係合部材(53)と可動ガイド部材(60)で基板(10)を把持させる(C)と、を実行するように構成されている、制御装置(110)と、を備える、基板搬送装置。