回路構成を複雑にすることなく、生成イオン量の監視及びイオンバランスの監視が可能な除電装置を提供する。回路構成を複雑にすることなく、生成イオン量の監視及びイオンバランスの監視が可能な除電装置を提供する。被照射物に対するクリーンなイオン照射と、イオンビームの厳重なモニタとを両立させることができるイオン照射装置を提供する。本発明は、イオン源(イオン銃)から試料の裏面にイオンビームを照射して試料を加工するものであり、加工の状態を監視するための監視手段(例えば、カメラ、イオン電流検出器)を備える。参加元一覧にて確認できます。Reserved.ピン留めアイコンをクリックすると単語とその意味を画面の右側に残しておくことができます。単語の閲覧履歴を確認できます。さんログインWeblio会員(無料)になると検索履歴を保存できる!語彙力診断の実施回数増加!weblio会員になると無料で単語帳や語彙力診断テストの機能を利用することができます。monitoring。